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摘要 S.zY0 ?NVX# t' "X(9.6$_ !b"2]Qv 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Gw$Y`]ipy #ZC9= 建模任务 ^, &' Akdx1h, `t>A~.f h+c9FN 由于组件倾斜引起的干涉条纹 z j F'CY 8U%y[2sT M?d (-en dw-o71(1d 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 S l`F` ~<Z7\yS) Z?<&@YQS O@>ZYA% 文件信息 to{7B7t>q ~c=F$M^"c v@d]*TG OJ1MV 7& gF2,Jm@"6 QQ:2987619807 U+Vb#U7;
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