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摘要 ug]WIG7 S
iTTUyftHT 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 jK`b6:#(,
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 OW}ny a<%Ivqni 建模任务 OV<'v%_& M<h2+0(il  a 3t[Tk; 光栅特性与参数的严格分析 ;2Aqztp [D/q
不同光栅周期下的衍射效率 ;+ : C sfb)iH|sW
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A Hn XN%m 关于光栅周期选择的考虑 )1#J4
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 a=m4)tjk 44e:K5;]7 偏振相关的衍射特性 hnOo T? V b; kgP`%%
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K VirtualLab Fusion中的工作流程 UlNx 5l+k
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. •构造光栅结构 v#^ _ |
−通过使用界面来配置光栅结构 eeVz Oq(
[用例] i;l0)q
•分析光栅衍射效率 %(}%#-X
−光栅级次分析器[用例] O\X=vh/D
•使用参数运行搜索初始解决方案 F2)\%HR
−参数运行文档的使用[用例] )x& 4 Q=
•通过参数优化找到最终设计 (F+]h]KSi q9gk:Jt VirtualLab Fusion技术 ,DIr&5>p2 Z,_EhEm
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