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摘要 9XSZD93L I? o)X! 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 x]%'^7#v)
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_ R x>>0%e. 建模任务 \vQjTM-7 }E%#g#  P&0o~@`cL 光栅特性与参数的严格分析 3Sb'){.MT+ FJl_2 不同光栅周期下的衍射效率 }g\1JSJ%H cXY;Tw45
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_K5R?"H0 关于光栅周期选择的考虑 IxQ(g#sj_k
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R Zg8y+jM 通过参数优化进行光栅设计 #uzp HpX ;:/I 固定周期的2D参数优化 =K ctAR; l9eCsVQ~V
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 DQ86(4e*g# !)1gGXRY VirtualLab Fusion中的工作流程 , Y\`n7Ww
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 Q/[g |" '=Z]mi/aw •构造光栅结构 UCz\SZ{za
−通过使用界面来配置光栅结构 a
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[用例] ZgzjRa++
•分析光栅衍射效率 iiw\
−光栅级次分析器[用例] *:+ &Sx L
•使用参数运行搜索初始解决方案 % tOGs80_{
−参数运行文档的使用[用例] '<JNS8h
•通过参数优化找到最终设计 0e P ] sT*D]J
2 VirtualLab Fusion技术 DT Cwf |}-bMQ|
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