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摘要 aI l}|n" uwcm%N;I" 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 "Vg1'd }f
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 5QjM,"`mp \Y0o~JD 建模任务 `H.~ # $ J7`fve  .BR2pf|R 光栅特性与参数的严格分析 Wz~=JvRHh ?W*{% my 不同光栅周期下的衍射效率 %)$^_4.g .m&JRzzV
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V kA$T8 关于光栅周期选择的考虑 Be=J*D!E=>
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 SM;*vkwz~ 3 %ppvvQ 通过参数优化进行光栅设计 o"te7nBI "B~c/%#PH 固定周期的2D参数优化 ADTx _tE Nq`@ > Ml
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 ($Cy-p )\ S 3Q 制造公差分析 TY."?` [FK
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 v qt#JdPp9 7U9*-9 VirtualLab Fusion中的工作流程 k? <.yr1
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 `fnU p- ;u+k! wn •构造光栅结构 ~.Wlv ;
−通过使用界面来配置光栅结构 ', WnT:
[用例] HT`k-}ho,
•分析光栅衍射效率 )j/2Z-Ev:W
−光栅级次分析器[用例] 3WVH8S b
•使用参数运行搜索初始解决方案 Bi.,@7| >
−参数运行文档的使用[用例] I P LKOT~
•通过参数优化找到最终设计 Qe[ejj1o: 0N|l1Sn VirtualLab Fusion技术 -wh?9 ?W Udi
 ,QeJ ;U :F |ll? 文件信息 ` !udU,|N Y>/T+ub =bBV
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g"Tb\ QQ：2987619807 +]3kcm7 B
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