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摘要 ')82a49eA Ty5}5)CRZ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (DTXc2)c
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 1R"?X'w C4.g}q 建模任务 6xT" j )h nN*:"F/^  RbN# dI' 光栅特性与参数的严格分析 6)# =@i`
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 ;:#g\|(<+ h&O8e;S# •构造光栅结构 SQ0t28N3h
−通过使用界面来配置光栅结构 pj/w9j G6
[用例] MzX4/*ba
•分析光栅衍射效率 a i@hQJ*
−光栅级次分析器[用例] j c-$l
•使用参数运行搜索初始解决方案 b@? pofZ`k
−参数运行文档的使用[用例] V+- ]txu|
•通过参数优化找到最终设计 y>jP]LR4 p"k[ac{ VirtualLab Fusion技术 #s]'2O *C"-$WU3o
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文件信息 +x_9IvaW&? Z&[_8Y5j w$%1j+%&  N "Mw1R4 DF`?D
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V<W$ h` QQ：2987619807 -FrNk>
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