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摘要 Q:G4Z9Kt EReZkvseC 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M#4pE_G &tLgG4pd
2ozax)GY y|i,| 建模任务 nLZTK&7} _~l5u8{^ 6 f;o5=)Y 光栅特性与参数的严格分析 ~S"+S/z/k #4Rx]zW^% 不同光栅周期下的衍射效率 BDW^7[n X;
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y1eWpPJa r[`9uVT/ 关于光栅周期选择的考虑 )hn6sXo+ *e TqVG.
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Pe_W;q. 9X+V4xux 通过参数优化进行光栅设计 lHY+}v0 v!-/&}W)1 固定周期的2D参数优化 F3[T.sf TTX5EDCrC
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>W=,j)MA +/4A 走进VirtualLab Fusion 13$%,q) I;,77PxD
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n'k t9GR69v:? VirtualLab Fusion中的工作流程 xA2YG|RU=b kr^P6}'
B-Ll{k^ .O5Z8 p •构造光栅结构 *2>&"B09` −通过使用界面来配置光栅结构 7JD' ) [用例] WH#1zv •分析光栅衍射效率 8?B!2 −光栅级次分析器[用例] dK$XNi13.5 •使用参数运行搜索初始解决方案 &)#
ihK_ −参数运行文档的使用[用例] g>E LGG|Q •通过参数优化找到最终设计 ^
glri$m IEL%!RFG VirtualLab Fusion技术 <6%?OJhp nY[WRt w
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