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摘要 }c;h:CE# 5c+7c@. 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 BGZvg MxLJ
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 [0-zJy|, i' NN 建模任务 cwK OE?! '<KzWxuC  #Cz6c%yK 光栅特性与参数的严格分析 -Drm4sTpDb (??|\
&DTi 不同光栅周期下的衍射效率 aShZdeC*f m[ !AOln)
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lITZ|u 关于光栅周期选择的考虑 $ [-{Mm
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 nWK"i\2#G TJB0O]@3 •构造光栅结构 (t9qwSS8z
−通过使用界面来配置光栅结构 B!le=V, @,
[用例] ZtEHP`Iin
•分析光栅衍射效率 *3<m<<>U
−光栅级次分析器[用例] _+8$=k2nM
•使用参数运行搜索初始解决方案 XY| -qd}A
−参数运行文档的使用[用例] 'eo2a&S2D
•通过参数优化找到最终设计 Hf
%;FaJ= " I@Z:[=2 VirtualLab Fusion技术 DZXv3gnX A?;/]m;
 qgca4VV|z d~| qx 文件信息 m`9)DsR
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?k_=?m QQ：2987619807 -lMC{~h\(S
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