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摘要 mZ sftby} KWIH5* AM 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -?gr3rV@
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 Fl\X &6k !\wdX7% 建模任务 w7NJ~iy \ } ,="  ZzET8?8 光栅特性与参数的严格分析 sr%tEKba) '3S S%W 不同光栅周期下的衍射效率 `WvNN>R '
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 |&Gm.[IX;q '5zolp%St •构造光栅结构 %rVC3}
−通过使用界面来配置光栅结构 UZsL0
[用例] \{
•分析光栅衍射效率 $p@V1"x
−光栅级次分析器[用例] F?Cx"JYix
•使用参数运行搜索初始解决方案 fT1 /@
−参数运行文档的使用[用例] Ft)7Wx"
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•通过参数优化找到最终设计 v-u53Fy [5Zs%!Z;8N VirtualLab Fusion技术 Hq'mv_}qG ~bU!4P}4j
 vd`;(4i#X x]o~ %h$ 文件信息 guJS;VC6U Dizc#!IGU `j+aAxJ=\  2LS03 27 gZbC[L
e<wA[" ^ QQ：2987619807 Q?df5{6
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