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摘要 7!F<Uf,V3 A s"%
u 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &1 t84p:^=
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 ` "Lk@ Z@(m.&ZRx 建模任务 7G':h0i8 v-(dh5e`
H  tqk^)c4FF( 光栅特性与参数的严格分析 6 H{G$[2 grVPu! B; 不同光栅周期下的衍射效率 0(qtn9;=2 o*_arzhA
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wNvq['P 关于光栅周期选择的考虑 Q{= DLm`
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制造公差分析–设计2 ^6@6BYf)
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 Pd+Wb3 ^tL]QE?| 走进VirtualLab Fusion '
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 af_b G; PG{"GiZz= VirtualLab Fusion中的工作流程 3Vk<hBw2
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•构造光栅结构 >P}6/L
−通过使用界面来配置光栅结构 wV q4DE
[用例] ?
@- t.N
•分析光栅衍射效率 ua!RwSo
−光栅级次分析器[用例] Va$JfWef
•使用参数运行搜索初始解决方案 Q"k #eEA
−参数运行文档的使用[用例] ob K6GG?ZE
•通过参数优化找到最终设计 NchEay;` 6$G@>QCBS VirtualLab Fusion技术 $-uMWJ)l 72 \o6{BiC
 ~>u u1[ / Ubv_ a 文件信息 snVeOe#'S 5XZ\7Z| `L
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vPsf{[ Kr QQ：2987619807 :@,UPc -+
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