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摘要 -
@ $bN%x/ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 k1]?d7g$w B^KC~W
/at#[Pw~01 D L$P 建模任务 `OBDx ^6F {gJOc,U4b ov?>ALRg 光栅特性与参数的严格分析 V{(ve#y7`{ bd%/dr 不同光栅周期下的衍射效率 ost~<4~ ;8UNM
zRu}lJ1#W$ p[W8XX 关于光栅周期选择的考虑 \n /_Px 'a4xi0**I
br0gB3r ~(FyGB} 偏振相关的衍射特性 398%16} }J:~}?^%n
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69y n|{x\@VeF 通过参数优化进行光栅设计 'os-+m@ "&7v.-Yk( 固定周期的2D参数优化 .O~)zMx ]2tX'=X
"bRck88V 2D参数优化–设计1 )=8X[<^i .(3B}}gB>
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wvsTP32] =]&R6P> •构造光栅结构 N%n#mV; −通过使用界面来配置光栅结构 `dMl5b [用例] $0NWX •分析光栅衍射效率 lB.P
−光栅级次分析器[用例] 7[^:[OEE •使用参数运行搜索初始解决方案 <HI5xB_ −参数运行文档的使用[用例] A\k@9w\Ll; •通过参数优化找到最终设计 tk2B\}6 KhYGiVA VirtualLab Fusion技术 ^=}~ &EV|knW
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