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摘要 HTI1eLZ2 (5{ |']G 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8WV1OIL
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 oF.Fg<p ( &Xe r#6~ VirtualLab Fusion中的工作流程 N$pwTyk
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 ^K@r!)We rRcfZZ~` M •构造光栅结构 FvG9PPd
−通过使用界面来配置光栅结构 [2 2IF
[用例] *I Gxa
•分析光栅衍射效率 Ou2H~3^PL
−光栅级次分析器[用例] _I~TpH^1K
•使用参数运行搜索初始解决方案 sl6p/\_w
−参数运行文档的使用[用例] Lj *F KP\{
•通过参数优化找到最终设计
a[";K, \q3H #1A VirtualLab Fusion技术 J }jK_ H !F'I)1
 edGV[=]F _QvyFKAM 文件信息 /T#<g: C>v a47Btd'm  @kvp2P+O OOl{
vR,HCI QQ：2987619807 t)cG_+rJ
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