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摘要 c{[WOrA~# e8Jd*AKjb 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 NeH^g0Q2,g
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 HU H=Y; }/=_ 建模任务 i{.!1i: j1)w1WY0@  Ktoxl+I? 光栅特性与参数的严格分析 %5b2vrg~* ^+88z> 不同光栅周期下的衍射效率 gO29:L[t cOSUe_S0w[
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]'Bz%[C) 关于光栅周期选择的考虑 &12.|
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 MOXDR 278
6tZF, 通过参数优化进行光栅设计 mU;TB%#) >354O6 固定周期的2D参数优化 K:m b$YJ& {=TD^>?
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 w[t!? (![> p "u5wJ_ •构造光栅结构 Z':}ZXy]
−通过使用界面来配置光栅结构 i!9yN: m0
[用例] lIz"mk
•分析光栅衍射效率 b k 30d
−光栅级次分析器[用例] ULj'DzlfH
•使用参数运行搜索初始解决方案 ex1b j M7
−参数运行文档的使用[用例] 1 %K^( J;
•通过参数优化找到最终设计 [;%qxAB/_ #)z_T M07P VirtualLab Fusion技术 lUbQ@7a<' <GT&q <4w
 ZBi|B D j' g': U 文件信息 %&0_0BU UoCFj2?C se2ay_<F+  Cwl#(; @ 6x7pqH M
'(4$h3-gv7 QQ：2987619807 /Ii a >XY
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