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摘要 Cn{UzSKfs gT+/CVj R 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 gM= ~dBz
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 CRx:3u!: WW_X:N~~e\ 建模任务 N C sUC |0bSxPXn!  ]O \6.>H 光栅特性与参数的严格分析 +0 a',`yc MR~BWH?@ 1 不同光栅周期下的衍射效率 "vJADQ4F J7maG|S(DF
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0- #ct1- 关于光栅周期选择的考虑 v>e4a/
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 UnMDdJ\ vTP_vsdeG 偏振相关的衍射特性 \:#b9t{B- h ?O-13v
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 [Q*kom : ]#q dA(Kl 通过参数优化进行光栅设计 !hc7i=V ? aL`pvsnF 固定周期的2D参数优化 <)&yk cB {.2C>p
 `=>Bo p) 2D参数优化–设计1 PNG'"7O
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 C6Mb(& i a|F 2D参数优化–设计2 IW46-;l7
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 N;w1f"V} gsR"d@! 变化光栅周期的3D参数优化 F0yh7MItV
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 #eaey+~ J>'o,"D 制造公差分析 `?$R_u Fh:
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 &@Q3CC DS ooq>/OI0 走进VirtualLab Fusion V-
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 l^vq'<kI LY|h*a6Ym VirtualLab Fusion中的工作流程 Oo0$n]*;W
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 QL)UPf >Kp <ya3|ycnS •构造光栅结构 EmH{ G
−通过使用界面来配置光栅结构 S38D
cWIw
[用例] k`&mHSk-
•分析光栅衍射效率 $ey<8qzp
−光栅级次分析器[用例] igp4[Hj
•使用参数运行搜索初始解决方案 OUs2)H 61
−参数运行文档的使用[用例] NB eGmC|
•通过参数优化找到最终设计 >WpPYUbH *=I#VN*_<. VirtualLab Fusion技术 _
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 5|Y4GQVz $v^F>*I1 文件信息 ~E!"YkIr p 7k0pSt e88JT_zrO  h cBfau; r *L ^{p.K4
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