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摘要 Ni4*V3VB v<qiu>sbz} 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >nL9%W}8M
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 k TLA["<m 6s"Erq5q 建模任务 'F6 65 ADa'(#+6  "T_OLegdK 光栅特性与参数的严格分析 CdN,R"V0$@ 8v)PDO~D}A 不同光栅周期下的衍射效率 cNd2XQB9= & sRjs
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 c FjC c7jft|4S •构造光栅结构 - v9V/LJ
−通过使用界面来配置光栅结构 '|e5 cW6z
[用例] &Jj^)GBU
•分析光栅衍射效率 x C'>W"pY
−光栅级次分析器[用例] Ed|7E_v
•使用参数运行搜索初始解决方案 /q %TjQ}F
−参数运行文档的使用[用例] $S$%a vRX
•通过参数优化找到最终设计 G! uQ|<( nTSGcMI VirtualLab Fusion技术 bQk5R._got AZ5c^c)
 @ :i>q$aF uU`zbh}]L. 文件信息 :L9\`&}FS u>(s .4]+ J#CF S G  8 zz-jk R d}b# "A
|pr~Oh z QQ：2987619807 nX>k}&^L
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