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摘要 WA8Qt\Q `;*Wt9 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 G!8O*4 +A
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 Od>T a_ rV"<1y:g 建模任务 `w@fxv G! zV=p  2!-ZNd:(+ 光栅特性与参数的严格分析 c*1t <OAS~ W~POS'1 不同光栅周期下的衍射效率 8PDt 7
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Ua,Lg.z 关于光栅周期选择的考虑 ]V<[W,*(5
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[用例] R^iF^IB
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−光栅级次分析器[用例] t.t$6+"5We
•使用参数运行搜索初始解决方案 "diF$Lj
−参数运行文档的使用[用例] &{!FE`ZC_
•通过参数优化找到最终设计 j5Vy o> M`-#6 ,m3 VirtualLab Fusion技术 WNrgqyM {CG%$rh
 F-R4S^eV G%Hr c 文件信息 cgNK67"( \EuMzb"G9p |>5NH'agV  3BAls+<p o y))d[ 1E
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C' QQ：2987619807 TppR \[4]
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