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摘要 1'~Xn
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f ]auvtm- [ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `i.BB jx`
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 $}9jv3>) GX>8B:]o| 建模任务 nK>CPqB^( vqm|D&HU  f3K-X1`]'U 光栅特性与参数的严格分析 B qf(6\)F u{sHuVl 不同光栅周期下的衍射效率 1 d jZ5`+ 1oQw)X
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)bUnk +_ 关于光栅周期选择的考虑 ^O07GYF
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 )w7vE\n3 @8L5 UT 偏振相关的衍射特性 ]
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 5YY5t^T sxNf"C=-. 通过参数优化进行光栅设计 Y2`sL,'h _.5{vGyxr 固定周期的2D参数优化 KF%BX ~80C jPWONz(#
 %3z[;&*3O 2D参数优化–设计1 @ {/)k%U
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 JR l=j2z ]s\r3I] 2D参数优化–设计2 $$9H1)Ny
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 20c5U% "qmSwdM 制造公差分析–设计2 ;K<VT\
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 X ZE(& (s )OI}IWDl 变化光栅周期的3D参数优化 7-744wV}Z
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 h FU8iB`Q l.}PxZ 制造公差分析 +7.|1x;C
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 6n9/`D! 9g6$"',H 走进VirtualLab Fusion g[} L
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 <"3q5ic/Z ?_eLrz4>L^ VirtualLab Fusion中的工作流程 RY;V@\pRY+
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+SFFwjI •构造光栅结构 R27'00(Z0
−通过使用界面来配置光栅结构 Cy-p1s
[用例] =xk>yw!O)
•分析光栅衍射效率 c=v016r\
−光栅级次分析器[用例] 9v RLM*9|
•使用参数运行搜索初始解决方案 z^ 9oaoTl
−参数运行文档的使用[用例] ka_m
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•通过参数优化找到最终设计 ^G! cv /\1'.GR VirtualLab Fusion技术 _7!ZnJrR utck{]P
 }3lG'Y#Kpy Q>5f@aN 文件信息 u!X~!h-6~ ^Gk)a X ]xRR/S4  Y -it3q'Z m*
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QQ：2987619807 `l45T~`] $
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