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摘要 abVz/R/o 0{Kb1Ut 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $g?`yE(K
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22|a~"Z 关于光栅周期选择的考虑 FTihxC?.L
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 !BN7 B !$&3h-l[ •构造光栅结构 } ";\ 8
−通过使用界面来配置光栅结构 s
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[用例] dF$Fd{\4^
•分析光栅衍射效率 :V>M{vd
−光栅级次分析器[用例] w6k\po=
•使用参数运行搜索初始解决方案 {2`:7U ~|
−参数运行文档的使用[用例] MPINxS
•通过参数优化找到最终设计 =?U"#a sv<U$M~)X VirtualLab Fusion技术 QRs!B!Fn0 C:77~f-+rQ
 \vBpH'hR,' $z-zscco 文件信息 (UDR =7w) =='~ g~ <$WRc\}&g  5*=a*nD11 <lHelX=/
$a|DR QQ：2987619807 %KxL{ HY
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