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摘要 JE!Xf}nEi %oQj^r!Xd 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $80/ub:R J>&GP#7}
;B@l0)7(x eZo%q,L 建模任务
WR%iUO40 w=5qth7 wVX0!y6 光栅特性与参数的严格分析 h<q``hn> AG%aH=TKp 不同光栅周期下的衍射效率 $'w l{D"
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P@ u%{ Vh&KfYY 关于光栅周期选择的考虑 \U8Vsx1tl 3._fbAN%e
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wXnt3)e Dc2eY. 通过参数优化进行光栅设计 oB@C-(M VdgPb ( 固定周期的2D参数优化 ycN_< OX2\H
X"sN~Q.0 2D参数优化–设计1 gf@Dy6< .[!
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{lA@I*_lj lHU$A; 制造公差分析–设计2
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B(5g&+{Lq~ iGIaZ!j aW 变化光栅周期的3D参数优化 QK\z-'&n KK}&4^q
l;ugrAo? gQ[4{+DSf 制造公差分析 "x)W3C%*S l)Hu.1~
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\[BnAgsF %AFy{l VirtualLab Fusion中的工作流程 a)e2WgVB/E sQkP@Y
U"Y$7~ Tr8+E;; •构造光栅结构 7?4>' −通过使用界面来配置光栅结构 2WoB ;= [用例] 8{RiaF8 •分析光栅衍射效率 KK?}`o −光栅级次分析器[用例] [":x •使用参数运行搜索初始解决方案 -;v:.
[o. −参数运行文档的使用[用例] o7 kGZ •通过参数优化找到最终设计 .IqS}Rh q/Q*1 VirtualLab Fusion技术 #S"=)BZ8L GM5::M]fS
Y<B| e91C l!b#v` 文件信息 1~+w7Ar=( ?^hC|IR$ ]T$~a8 <(v!Xj^yO {0|^F!1z mVxS[Gq QQ:2987619807 J-U}iU|
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