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摘要 {?`rGJ {f xrg"/?84 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 FDl/7P`b(
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 4;YP\{u d~<$ J9% 建模任务 |Y!^E % * k{+cFG\C&  ?g ,s<{ 光栅特性与参数的严格分析 Z,)H f #f#6u2nF\ 不同光栅周期下的衍射效率 NMkP#s7.y *F( qg%1+
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?Om]:j w&IYCYK_ •构造光栅结构 t5 >ma:^j
−通过使用界面来配置光栅结构 9z4F/tUq
[用例] lfBCzxifC
•分析光栅衍射效率 [`tOhL
−光栅级次分析器[用例] >yc),]1~
•使用参数运行搜索初始解决方案 'R1C-U3w,
−参数运行文档的使用[用例] <
R"Y^]P=
•通过参数优化找到最终设计 D;JZ0." MY{Kq;FvRP VirtualLab Fusion技术 y
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 12i` 82>; <nJGJ5JJ 文件信息 ExS&fUn `C @mw1__? 2L^/\!V#  Rm3W&hQ $Ud9v 4
53/$8= QQ：2987619807 jA8Bmwt;w
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