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摘要 {?`rGJ{f xrg"/?84 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 FDl/7P`b( {]dxFhe)
4;YP\{u d~<$J9% 建模任务 |Y!^E %* k{+cFG\C& ?g ,s<{ 光栅特性与参数的严格分析 Z,)H f #f#6u2nF\ 不同光栅周期下的衍射效率 NMkP#s7.y *F( qg%1+
LLgw1 @-D g4^-B 关于光栅周期选择的考虑 V48_aL }uIQ@f`
A"7YkOfwH 5ngs1ZF@ 偏振相关的衍射特性 A-r;5?S =aVvv+T
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4XAB_Q v\w*VCjoV 通过参数优化进行光栅设计 11l=zv ]|3hK/ 固定周期的2D参数优化 *<^C0:i( oZ2:%
Kl. *Q 2D参数优化–设计1 ^KbR@Ah 9Z-2MF
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[lIX&!T" g}`g>&l5 制造公差分析 UI=v|<'- V~PGmn[V
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?Om]:j w&IYCYK_ •构造光栅结构 t5 >ma:^j −通过使用界面来配置光栅结构 9z4F/tUq [用例] lfBCzxifC •分析光栅衍射效率 [`tOhL −光栅级次分析器[用例] >yc),]1~ •使用参数运行搜索初始解决方案 'R1C-U3w, −参数运行文档的使用[用例] <
R"Y^]P= •通过参数优化找到最终设计 D;JZ0." MY{Kq;FvRP VirtualLab Fusion技术 y
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