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摘要 sl2@umR7%( pHoEa7: 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9} z0J
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 Z@Ae$ '9H t'm;:J1 建模任务 b,KcBQ.
xG;-bJu  N 25V ] 光栅特性与参数的严格分析 -gQCn>" fAB e 不同光栅周期下的衍射效率 b* ef); ""Q1|
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Y'e eA 2O 关于光栅周期选择的考虑 LL$_zK{
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 2 1PFR:lP7 M@W[Bz 偏振相关的衍射特性 jSc#+_y H~ u[3LQz
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 ^TB>.c@ `* PM":Vd/ •构造光栅结构 L!_ZY
−通过使用界面来配置光栅结构 P6,7]6bp
[用例] v +"rZ
•分析光栅衍射效率 ,&U4a1%i#c
−光栅级次分析器[用例] !se0F.K
•使用参数运行搜索初始解决方案 fA48 (0p
−参数运行文档的使用[用例] OdI\B
•通过参数优化找到最终设计 ) rLMIk BK,sc'b VirtualLab Fusion技术
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