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摘要 "=h1gql' Kj4/fB 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 t<H"J__& K`4lL5oH
TKDG+`TyZ g) X3:=[' 建模任务 c!6D{(sfh .~]|gg~ 8w0~2-v.?V 光栅特性与参数的严格分析 +:MSY p ":!$Jnj, 不同光栅周期下的衍射效率 RZa/la* 1Viz`y)^
yM_/_V|G yJA~4 关于光栅周期选择的考虑 ].d2C J' +-izC%G
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S }k^uup*{ 通过参数优化进行光栅设计 wi2`5G6|z PxkV[nbS 固定周期的2D参数优化 dY1t3@E 3[m~-8
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GS;GJsAs 8Km&3nCv$Q VirtualLab Fusion中的工作流程 LU3pCM{ DV5hTw0
\u[x<-\/6 , ZsZzZ# •构造光栅结构 }">r0v!3 −通过使用界面来配置光栅结构 z'L0YqXG/ [用例] Wt.DL mO •分析光栅衍射效率 \0\ O/^W0 −光栅级次分析器[用例] ~Ztn(1N •使用参数运行搜索初始解决方案 UP](1lAf −参数运行文档的使用[用例] JVAyiNIH>M •通过参数优化找到最终设计 )*KMU? *i"9D: VirtualLab Fusion技术 t3L>@NWG /@LkH$
,np=m17 ;&d#)&O"e 文件信息 4D65VgVDM cy%M$O|hX5 O8;/oL4 U kowS| c# ]E9iaq6Z cU;Bm}U QQ:2987619807 I;4quFBlMu
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