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摘要 |`|b&Rhu s)C.e# xl 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +,%x&L&I
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 QW!'A`*x V}(%2W5X+ 建模任务 jJf|Ok:G{ ;9^B# aTM  CkP!4^J qQ 光栅特性与参数的严格分析 cz0tnF*& G6
GXC`^+ 不同光栅周期下的衍射效率 *8Lym,] cx0 2b-O
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.1}u 0IbJ 关于光栅周期选择的考虑 K)k!` du!6
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 0t9G $23 3w-0v"j U 偏振相关的衍射特性 LvR=uD _WkK%RYV
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 BKGwi2]Ry $u` ;{8 VirtualLab Fusion中的工作流程 8`im4.~#%
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G- •构造光栅结构 "=qdBG9
−通过使用界面来配置光栅结构 y(q1~73s
[用例] #$ A6s~`B
•分析光栅衍射效率 7%o\O{,U
−光栅级次分析器[用例] pa.W-qyu
•使用参数运行搜索初始解决方案 jdhhvoQ
−参数运行文档的使用[用例]
L Dbo
•通过参数优化找到最终设计 te:@F]A rMI:zFS VirtualLab Fusion技术 /at#[Pw~01 D L$P
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