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摘要 1-G-p:| "(a}}q 9- 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $BOIa
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 n8&x=Z}Xs MR* % lZpB 建模任务 368H6 Jj od3b, Q  8ePzU c\# 光栅特性与参数的严格分析 NE@P8pQ> 7.
eiM!7g 不同光栅周期下的衍射效率 iz`ys. Fu l-'\E6grdH
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.R@euIva 关于光栅周期选择的考虑 Ygk QF0+
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 (=s%>lW| `u8=~]rblj 偏振相关的衍射特性 D._7)$d SsIN@
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 wV{VV?h} 0MOn>76$N 通过参数优化进行光栅设计 p"NuR4 uU 8L 93 固定周期的2D参数优化 gL wNHS #pMpGw$
 WQY\R!+ 2D参数优化–设计1 v/G^yZa
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2D参数优化–设计2 OKNGV,{`
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 '\LU 8VC U a>.k|>0 制造公差分析–设计2 1++ Fs
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 $/P\@|MqYQ D+Z,;XZ 变化光栅周期的3D参数优化
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 ! 9=Y(rb T;B/ Wm!x 制造公差分析 d/Fy0=0
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 `qr.@0whP wRE2rsXoU 走进VirtualLab Fusion
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 eLo p}*k 6Nz S < VirtualLab Fusion中的工作流程 &d[ %
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8B7,qxZ wEbO|S+K1 •构造光栅结构 ]4&B*]j
−通过使用界面来配置光栅结构 OMN|ea.O
[用例] ZvW&%*k=
•分析光栅衍射效率 {:BY
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−光栅级次分析器[用例] C<iOa)_@Q
•使用参数运行搜索初始解决方案 LfG$?<}hR
−参数运行文档的使用[用例] _jrkR
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•通过参数优化找到最终设计 ZY> u4v. q|R$A8)L. VirtualLab Fusion技术 (`K ~p Z 0Ewt
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 SrSm%Dv IHf#P5y_ 文件信息 o|c"W}W )]m_ L$9 m_>~e}2'A  ^]?Yd )v 05vu {>
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