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摘要 kgF x Ymcc|u6 $" 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M ~6k[ew H#I%6k*\a
(=D^BXtH| JZrZDW>M 建模任务 d
a.6Z!a c~Z\|Y`#B rx(z:: 光栅特性与参数的严格分析 3)~z~p7 NK(; -~{P 不同光栅周期下的衍射效率 u*!/J R 6Y=MW{=F
uI&<H T? b0Fr]oGp 关于光栅周期选择的考虑 McQWZ< 5sF?0P;ln
kD4J{\ .l]w4Hf 偏振相关的衍射特性 D5fhOq+g %VzCeS9
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x3] !PY.FnZ 通过参数优化进行光栅设计 RVe UQ% 8G
p%Q 固定周期的2D参数优化 "0A !fRI~ hXsH9R
7S]akcT/ 2D参数优化–设计1 `Ot;KDz T,Zfz9{n
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GbF=1 #1` lJ 制造公差分析–设计2 ZzV%+n7<Vx \A9hYTC)
B<uUf)t xp"5L8:C 变化光栅周期的3D参数优化 f^[:w1X$sM `}9j vR5
4XL]~3 c By-A1|4Cp` 制造公差分析 d|(@#*{T] Qk.:b
1k! xG$g0 4{oS(Vl! 走进VirtualLab Fusion 8'X:}O/ A~UDtXN*4
h,C?%H+/0Q <[mvfw VirtualLab Fusion中的工作流程 9&uWj'%ia n9Xs sl0
v"dj%75O?e 92HxZ*t7km •构造光栅结构 b!Z-HL6 −通过使用界面来配置光栅结构 ;/phZ$l [用例] `CXAE0Fx •分析光栅衍射效率 tag~SG`ov −光栅级次分析器[用例] :.
ja~Q •使用参数运行搜索初始解决方案 +WP −参数运行文档的使用[用例] 4-: TQp( •通过参数优化找到最终设计 4uG:*0{Yx J3B]JttU VirtualLab Fusion技术 !(EJ. |LH h5?yrti
T] tG,W1>i dkRG4
)~g 文件信息 ^"!j m a:(.{z?nM !@x'?+
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