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摘要 R+,u^;\ w(TJ*::T 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 D+7Rz_= `%Al>u5
9lDhIqx0~ ?#YE`] 建模任务 3gj+%%!G\ g^ i&gNDx +V^;.P</ 光栅特性与参数的严格分析 M_w<m t\j*}# S 不同光栅周期下的衍射效率 VD]zz
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Y,e B| h@WhNk7"xa 关于光栅周期选择的考虑 Eue~Y+K*b ?vHU#
Y<ql49-X M6-&R=78K 偏振相关的衍射特性 fku<,SV$O4 ~Ti'FhN
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pK'V9fD5J o W Nh@C 通过参数优化进行光栅设计 ;<2G g5QZ0Qkj 固定周期的2D参数优化 _v=SH$O+ EJ:%}HhA
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MgrLSKLT d]6#m'U VirtualLab Fusion中的工作流程 aV|hCN~ 91g2A|
&wCg\j_c |O9O )o •构造光栅结构 j<@lX^ −通过使用界面来配置光栅结构 E:}r5S)4 [用例] A.F738Zp{Z •分析光栅衍射效率 sN2p76KN −光栅级次分析器[用例] ~h85BF5 •使用参数运行搜索初始解决方案 JYd 'Jp8bP −参数运行文档的使用[用例] gSUcx9f] •通过参数优化找到最终设计 Y
M\ K%rk K&70{r VirtualLab Fusion技术 ^ ALly2 A}N?/{y)G
HbAkZP \$e)*9) 文件信息 ]?
g@jRs z>Hgkp8D" iIa'2+ .=;3d~.] f@DYN!Z_m 8b-Q F
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