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摘要 r+2dBp3 jw)t"S/E 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Bd i~ B")
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 z#b6 aP i&#c+iTH 建模任务 M*Xzr .6 1?;s!6=  {^F_b% a4z 光栅特性与参数的严格分析 ]v#Q\Q8> r QF%; 不同光栅周期下的衍射效率 8oK30? *KNR",.
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 s: pmB\ qYF150 •构造光栅结构 !UD TNF?1
−通过使用界面来配置光栅结构 _ 5n Lrn,~
[用例] E:(DidSE@
•分析光栅衍射效率 f@rR2xZoQ
−光栅级次分析器[用例] 5LM Ay"
•使用参数运行搜索初始解决方案 wF[%+n (*
−参数运行文档的使用[用例] &?"E"GH
•通过参数优化找到最终设计 g:8 k,1y5 h&}z@ VirtualLab Fusion技术 9(eTCe-~6 =jz [}5
 > >%m,F[ NpI "XQ 文件信息 pV[S Y6/ E7 mB=bt>= = Zi'L48  '8Wu9 phT (_IP z)F
7G':h0i8 QQ：2987619807 PJ -g.0q
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