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摘要 tvT8UW' 2BDan^:-Av 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *xg`Kwl5Kl
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 ^Opy6Bqb +'/}[1q1/T 建模任务 sD8 m< 'd #\7J>d  8a`+h# 光栅特性与参数的严格分析 ^2^|AXNES iv:/g|MBI& 不同光栅周期下的衍射效率 E eJqszmH
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- ~\. n 关于光栅周期选择的考虑 XD kS
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 B9e.-Xaf !ml_S) 偏振相关的衍射特性 )ojx_3j8 +z |UpI
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 hG3m7ht {jOzap| 通过参数优化进行光栅设计 "[*S?QO(L hIVI \U, 固定周期的2D参数优化 &_9YLXtMi; <E >7>ZL
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 6`acg'sk> D i:{er(p VirtualLab Fusion中的工作流程 7 0_} S*T
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 KyT uF gNqAj# m •构造光栅结构 4sTMgBz w
−通过使用界面来配置光栅结构 {@3z\wMK$
[用例] tZbFvk2
•分析光栅衍射效率 80C(H !^
−光栅级次分析器[用例] RT, :hH
•使用参数运行搜索初始解决方案 vm8$:W2 }
−参数运行文档的使用[用例] yO00I `5
•通过参数优化找到最终设计 ]%
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fXj$ (~JwLe@a VirtualLab Fusion技术 oB
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V^WU8x QQ：2987619807 /'ZKS T4
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