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摘要 D1a4+AyI %qhaVM$] 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~Gza$ K
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 :KwYuwYS ;8UHPDnst 建模任务 uNjy&I: t!LvV.g+  UF
tTt`N2 光栅特性与参数的严格分析 Hl51R"8o h";sQ'us 不同光栅周期下的衍射效率 u/:@+rTV_ c3+vtP&
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,==lgM2V> 关于光栅周期选择的考虑 lK0coj1+
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 b~-9u5.L1 Wk?XlCj 偏振相关的衍射特性 ~rD* Y&#. Z3Y%VHB_F(
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 (5SI! 1N J?{uG8) 变化光栅周期的3D参数优化 OF)X(bi4j
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 cOIshT1 p!=/a)4X •构造光栅结构 /#blXI
−通过使用界面来配置光栅结构 <w[)T `4N
[用例] gZ 9<H q
•分析光栅衍射效率 'EXp[*
−光栅级次分析器[用例] $L(,q!DvH
•使用参数运行搜索初始解决方案 Bdf3@sbM]
−参数运行文档的使用[用例] 4 !D!.t~r
•通过参数优化找到最终设计 z`{x1*w_ 5'@}8W3b VirtualLab Fusion技术 { 2-w<t Hh,\>= ':
 (xMAo;s_ p=p,sJ/@ 文件信息 J-=&B5"O> ! @|" 84 w}+jfO9  .DHPKz`W0 *c. *e4uzF
gmt`_Dpm$ QQ：2987619807 :Z,zWk1|
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