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摘要 abVz/R/o 0{Kb1Ut 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $g?`yE(K iA^GA8dn
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Psf'#4g 建模任务 `oxs;;P OC [ +t6 S$Cht6m 光栅特性与参数的严格分析 h zh%ML3L pErre2fS 不同光栅周期下的衍射效率 &4%j 5DHFxym'
BAq@ H8*B 22|a~"Z 关于光栅周期选择的考虑 FTihxC?.L `;@#yyj:_
YB}p`b42L Rw54`_kFEB 偏振相关的衍射特性 wuv2bd )+ RSNukg
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"v"w ER? bGl5=` 通过参数优化进行光栅设计 y8$TU; j&G*$/lTO6 固定周期的2D参数优化 oM=Ltxv} 6%K,3R-d
03iD(,@ 2D参数优化–设计1 0<{+M` G/ Kh!h_
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V70a3# [用例] dF$Fd{\4^ •分析光栅衍射效率 :V>M{vd −光栅级次分析器[用例] w6k\po= •使用参数运行搜索初始解决方案 {2`:7U~| −参数运行文档的使用[用例] MPINxS •通过参数优化找到最终设计 =?U"#a sv<U$M~)X VirtualLab Fusion技术 QRs!B!Fn0 C:77~f-+rQ
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