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摘要 n n7LL+h rl|'.~mc 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 DBAyc#&#
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 f24W*#IX q\EYsN </; 建模任务 Cn~VJ, l
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[2c 光栅特性与参数的严格分析 n
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 rI$NNk'A 2D参数优化–设计1 y0xBNhev
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W\[Y VirtualLab Fusion中的工作流程 _[[0rn$
ZxtO.U2
 F(VVb(\jd e|k]te •构造光栅结构 9 dNB _
−通过使用界面来配置光栅结构 *}]# E$
[用例] \c\~k 0u
•分析光栅衍射效率 f\R_a/Us
−光栅级次分析器[用例] !.UE} ^TV
•使用参数运行搜索初始解决方案 Z#.d7B"
−参数运行文档的使用[用例] utmJ>GWSI
•通过参数优化找到最终设计 p$,G`'l
}ktIG|GC VirtualLab Fusion技术 Mxl;Im]!`. ZLzc\> QX
 Vit-)o{zr I(M/ X/ 文件信息 kN/YnY*J< $ W7}Igx# 0`E G-Hw  LzL)qdL ChK-L6
T U 6s~ QQ：2987619807 zTc;-,
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