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摘要 <k1muSe !Usmm8!K 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 P 2y Sjgd
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 fGj66rMGw H{E(=S 建模任务 p\~ a= D3g5#.$,}>  .3+ 8Ip#z 光栅特性与参数的严格分析 2@_3V_ D{8B;+ 不同光栅周期下的衍射效率 3k6Dbz B;Z _'.i,d
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7{"F%`7L 关于光栅周期选择的考虑 Z 5 .cfI[
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 D@{m DB jUHirK 通过参数优化进行光栅设计 dj,lbUL Pa; *%7 固定周期的2D参数优化 v+C D{Tc 2mx }bj8
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 ,!^ w 23UXOY0BW VirtualLab Fusion中的工作流程 3j$,x(ua9
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 6HR*)*>z_ 7o M]qLF •构造光栅结构 nHF
−通过使用界面来配置光栅结构 c6pGy%T-
[用例] B.[5 N;c
•分析光栅衍射效率 a<V* )
−光栅级次分析器[用例] y/A<eHLy
•使用参数运行搜索初始解决方案 ]G2%VKkr
−参数运行文档的使用[用例] e?b<-rL
•通过参数优化找到最终设计 /B9 jmvj` _^0)T@ VirtualLab Fusion技术 vR\[I V? SjO Iln
 Y~bGgd]T ma4r/8Q 文件信息 t]%! vXo
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V/-~L]G QQ：2987619807 P X<,/6g z
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