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摘要 o6
[i0S t,; b*ZR 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 lc0Z fC
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 P^*gk P o=(>#iV M 建模任务 Bb/aeLv @i:_ JOl  i@d@~M 7/ 光栅特性与参数的严格分析 %K]nX#.B& FdJC@Y-#uA 不同光栅周期下的衍射效率 ?)5M3 lV3k ]0:R^dHE
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}Ye 关于光栅周期选择的考虑 ;
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 9~mi[l~ J0|}u1? l 通过参数优化进行光栅设计 ^ihXM]1{G i]L K ,' 固定周期的2D参数优化 "$8<\k$LGT osX23T~-
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 rw\4KI@ L }Rux<=cd| VirtualLab Fusion中的工作流程 wD,F=O
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 MM8)yCI wbS++cF< •构造光栅结构 YKc{P"'/ |
−通过使用界面来配置光栅结构 eu: _ V+
[用例] N~ozyIP,
•分析光栅衍射效率 !3&vgvr
−光栅级次分析器[用例] !yI)3;$*
•使用参数运行搜索初始解决方案 L2h+[f
−参数运行文档的使用[用例] z"O-d<U5
•通过参数优化找到最终设计 G\NCEE'A w9PY^U.Y3e VirtualLab Fusion技术 )w` Nkx XbOL/6V ^[
 j5)qF1W, r#}Sy \ 文件信息 z*[Z: 5UM [Iz N+V-V-PVk  D JW1kR vxt^rBA
|5/[0V-vy QQ：2987619807 :ZIcWIV-
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