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摘要 q HaH=g % aS=-9 P;v 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 J2ad G+=
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 k<Qhw)M8 !K*(# [ 建模任务 hK+6S3-E z q=(%
]BK  :e /*5ix 光栅特性与参数的严格分析 fG9 ;7KG `Y O(C<r- 不同光栅周期下的衍射效率 i' V( " ,4:=n$e 0
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 <yl%q*gls R jp7H 偏振相关的衍射特性 M8nfbc^ ysapvQN_6
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 $vrkxn 5skxixG 通过参数优化进行光栅设计 0vETg'r 3xg9D.A 固定周期的2D参数优化 zD)/Q FILy :of(wZa3Q
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 d2V X\ sxsb)a VirtualLab Fusion中的工作流程 _ bGkJ=
=e4 r=I
 ];Z6=9n ; h\T7pwwb •构造光栅结构 =hkYQq`Q
−通过使用界面来配置光栅结构 $c 9-Q+pZ
[用例] "|h%Uy?XY
•分析光栅衍射效率 MfP)Pk5
−光栅级次分析器[用例] ZUHRATT-
•使用参数运行搜索初始解决方案 G@.MP|
2
−参数运行文档的使用[用例] $P=C7;
•通过参数优化找到最终设计 L.Qz29\ Lm
TFvZ VirtualLab Fusion技术 * :O"R gxN>q4z
 Zge(UhZ 9<6q(]U 文件信息 1Y|a:){G `
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C7 maXg(Lu  {%f{U"m /]_ t->
64<; 6* QQ：2987619807 <eoi e6@3
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