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摘要 _Q:ot'(~0- 3 EAr=E] 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 s=$xnc}mf
E[hSL#0
 M_O$]^I3w l>jrY 1u 建模任务 padV|hF3(e mAH7; u<  9u ~C?w 光栅特性与参数的严格分析 4][VK/v+ M"mvP r 9 不同光栅周期下的衍射效率 6rS
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E.yFCaL 关于光栅周期选择的考虑 %B& O +~
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 nUY)Ln I H94_a e 偏振相关的衍射特性 4 JBfA, ~m R^j
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 AsS~TLG9p jKP75jm 通过参数优化进行光栅设计 WKr4S<B8mr yR F+ 固定周期的2D参数优化 @#"K 6 2+|r*2_glo
 ?,v@H$)3_ 2D参数优化–设计1 =M{&g
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 qvsfU*wo? D9(4%^HxV1 制造公差分析–设计2 u`L *
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 I%?M9y.u6 ^ ' )4RU 变化光栅周期的3D参数优化 Ux,dj8=o
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 2 }{[ J v&^N +>p 制造公差分析 TDtH R hq7
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 a(U/70j fQU_A VirtualLab Fusion中的工作流程 RvW>kATb_F
.bMU$ O1
 E;a9R V| @[(%b{TE; •构造光栅结构 |qk%UN<
−通过使用界面来配置光栅结构 |?fc]dl1]
[用例] %D^j7`Z
•分析光栅衍射效率 _*(:6,8
−光栅级次分析器[用例] w68VOymD/
•使用参数运行搜索初始解决方案 @0:mP
−参数运行文档的使用[用例] x(zW<J 5X"
•通过参数优化找到最终设计 *
8D(Lp1 P[cGC mM VirtualLab Fusion技术 d #- <=6 MU_
>+Wnf
 l5k]voG !P)7t`X 文件信息 LZ9IE>sj cW $~86u"C HPWjNwM  rNHV Z$@ XMq !
M7lMOG (\ QQ：2987619807 hmd, g>J:<
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