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摘要 E 3I'3 Jh466;
E 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m]"YR_ uhc0,V;S
3lL:vD5( ]LSa(7>EU 建模任务 E0O{5YF^T TJ;v}HSo 5\4>H6 光栅特性与参数的严格分析 }7.q[ ^oF VsZ_So; 不同光栅周期下的衍射效率 rM=Hd/ki5 C>K/C!5?
rXm!3E6JL wd#AA#J;* 关于光栅周期选择的考虑 E?9_i
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&y(aByI y SD.ze(P 偏振相关的衍射特性 epG;=\f}m` NXmj<azED
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=VY4y]V 3\WES! 通过参数优化进行光栅设计 =0f8W=d:Vr AQV3ZVP 固定周期的2D参数优化 yv:NH|,/y BuvBSLC~
qt:->yiq+ 2D参数优化–设计1 EV(/@kN2 &qpA<F@7
KJ#c(yb9zR |n|2)hC 2D参数优化–设计2 VuBp$H(U 785iY865
-qEr-[z l2v}PALs 制造公差分析–设计2 C`#N
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iB,*X[}EqG ibAA:I,d 变化光栅周期的3D参数优化 tQ|I$5jNJ 5;Z~+$1
v6n(<0: X@G`AD'.M 制造公差分析 @t^2/H
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G`P+J Uy_=#&jg 走进VirtualLab Fusion {Eb6. ie,{C
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#mC4\<W8 VirtualLab Fusion中的工作流程 M@K[i*e (BGipX4
p~b$+8#+ Ii8jY_ •构造光栅结构 Zk[#BUA −通过使用界面来配置光栅结构 {h=Ai[|l4Q [用例] x V e! •分析光栅衍射效率 w&gHmi −光栅级次分析器[用例] KJ~pY<a? •使用参数运行搜索初始解决方案 dWUu3 −参数运行文档的使用[用例] 9e5UTJ •通过参数优化找到最终设计 3/e !7 d]^i1 VirtualLab Fusion技术 k$>T(smh
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)?WoLEjq ;$i'A&)OC 文件信息 IW#(ICeb x'qgpG}?] O?!"15 S!]}}fKEFm 9T1G/0k- |H4'*NP" QQ:2987619807 U&XoT-p$L
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