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摘要 Pn& !C *, W8bh49 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Q}/2\Q=)j
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 141G~@- |[ 3%^!f \ •构造光栅结构 p~evPTHnrX
−通过使用界面来配置光栅结构 JtbwY@R
[用例] ?c6`p3p3L
•分析光栅衍射效率 U;q GUqI
−光栅级次分析器[用例] ]Ju m(1Bo
•使用参数运行搜索初始解决方案 g K#G8V-,
−参数运行文档的使用[用例] UVUo Xv)N
•通过参数优化找到最终设计 X$0&tmum 4?c4GT9(6S VirtualLab Fusion技术 ;
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