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摘要 W=EcbH9/.) e8f7*S8 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;;i419 n;.
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c.1gQy$}| V?*fl^f 建模任务 +JG05h%' nLAwo3 1H.;r(c 光栅特性与参数的严格分析 `+(n+QS _ N/WtQSl 不同光栅周期下的衍射效率 aC=2v7* e8):'Cb
Ff>X='{ `qd5+~c 关于光栅周期选择的考虑 <(TAA15Xol a!6r&<s=E
6'mZM=d rtJ@D2Hj^ 偏振相关的衍射特性 #O~pf[[L k>MXOUaW.
([a;id 82r{V:NCK)
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XY"Y% >Giw\|:f( 固定周期的2D参数优化 lMW6D0^ >cjxu9Vr1K
h8p{ 2D参数优化–设计1 ZTqt 4H H/[(T%]o
OAo03KW %#4;'\'5 2D参数优化–设计2 PDc4ok`) Q ijO%)
8KP g&B7Y|Es 制造公差分析–设计2 h$~$a;2cR z,C>Rh9Id
6,CK1j+tZ k-*k'S_ 变化光栅周期的3D参数优化 lr)MySsu#H :+^`VLIf
KVoi>?a M>RLS/r>d 制造公差分析 OB(~zUe.R kz#x6NXj
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n8N 9w •构造光栅结构 eBECY(QMQ −通过使用界面来配置光栅结构 +x:VIi [用例] aI\>=*HF •分析光栅衍射效率 H:1F=$0I9 −光栅级次分析器[用例] TlQ5'0&I •使用参数运行搜索初始解决方案 P/9|mYmsq −参数运行文档的使用[用例] #DTBdBh?I •通过参数优化找到最终设计 "0"8Rp&V| BxxqzN+ VirtualLab Fusion技术 5i3nz=~o qp1rP#
s.}:!fBk ~Oj-W6-+&, 文件信息 A56aOI= a<D]Gz^h ##NowO o648
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