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摘要 l/NK.Jr vn0*KIrX 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ka{Zoi]
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 RVnYe=' h]P$L > 建模任务 T,> e\ sAlgp2-  RoRVu,1 光栅特性与参数的严格分析 bnQO}G ,cEcMaJ 不同光栅周期下的衍射效率 )v0vdAh'b gs >cx]>
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mo$*KNW%\ 关于光栅周期选择的考虑 zY-m ]7Yf
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9vra xd@DN;e 偏振相关的衍射特性 iN*@f8gf X9HI@M]h
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*4 XYu LAeX e!y 通过参数优化进行光栅设计 k_B^2 = 'CX
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 ,}0pK\Y>$ 2D参数优化–设计1 qf U3Cwy
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 aJ5R0Y , M&dtXG8<^ 2D参数优化–设计2 DV l: s
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 7@? b _ 2} t wt 制造公差分析–设计2 25L{bcng
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 xo$ZPnf(zv ?H&p zY~H 变化光栅周期的3D参数优化 F`u~Jx8.*
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 FcA0 \`0M V|)> 制造公差分析 d9(F wmE
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 x-<dJ}` hd \#Vh(H 走进VirtualLab Fusion u#\3T>o%@
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 LsXYvX :$j~; )2 VirtualLab Fusion中的工作流程 Gm. hBNgp
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 ]^y}}y /Q!F/HY3ZS •构造光栅结构 nC rNZ&P
−通过使用界面来配置光栅结构 ( nh!tC
[用例] <T wq{kt
•分析光栅衍射效率 zP9 !f A
−光栅级次分析器[用例] P(` IY +
•使用参数运行搜索初始解决方案 dY,'6 JzC
−参数运行文档的使用[用例] R|suBF3
•通过参数优化找到最终设计 'Khq!pC D1f=f88/} VirtualLab Fusion技术 61'7b`:(hi
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 jK =[ =T$E
lXwJ 文件信息 0\+Qi?& ",}VB8K ;VuIQ*@m"  URAipLvN 3{ci]h`:y8
ciTQH (G QQ：2987619807 .#n?^73
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