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摘要 9y'To JZ6 ajCe&+ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 A&N$=9 .N1
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 o,r K8x _U|rTil 建模任务 -!lSk?l
eC[G4  &8;Fi2}(L 光栅特性与参数的严格分析 uS<og P QsX`IYk 不同光栅周期下的衍射效率 : ]JMsa6 s
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Py `7)S 关于光栅周期选择的考虑 o\<JG?P
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 1@t8i?:h FK tG 偏振相关的衍射特性 nt%fJ k c!kz wc(
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 9ec>#Vxx B?db`/G9 通过参数优化进行光栅设计 )j QrD` #Vhr 1 ;j 固定周期的2D参数优化 $azK M,<q ;Kh[6{ W
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 Nx zAlu |kF"p~s 变化光栅周期的3D参数优化 2J Wp 5
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 Ax 4R$P.]u cp PS8V 制造公差分析 b)>l7nOc
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9L[M' VirtualLab Fusion中的工作流程 ('`mPD ,
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Jq •构造光栅结构 29W`L2L
−通过使用界面来配置光栅结构 x}f)P
[用例] vo s-[$
•分析光栅衍射效率 a ~k* Gd(
−光栅级次分析器[用例] { )4@rM
•使用参数运行搜索初始解决方案 rW)}$|-Z
−参数运行文档的使用[用例] F)50 6
•通过参数优化找到最终设计 CHdYY7\{ #UnGU,J VirtualLab Fusion技术 :2lM7|@/ QvzE:]pyi
 ZC &~InN SIz A0
文件信息 C@MJn)$4 }]pO R&o "VeNc,-nfQ  ZV!*ZpTe~ 0
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i;J*9B_U QQ：2987619807 cMfnc.P\K
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