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摘要 QLxXp ||bA 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 vWZ>Hf]`L
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 ' h0\4eu jLpgWt`8)E 建模任务 OsDp88Bc 2*b# + b  [j]}$f Fe 光栅特性与参数的严格分析 \f ~u85 m(Pz7U.Q 不同光栅周期下的衍射效率 89 ?3,k YLr%vnO*NS
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`Nxo 0Q 关于光栅周期选择的考虑 50O7=
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 Vf#oKPP1 98<bF{#0WM 通过参数优化进行光栅设计 S :" z<O &eLQ;<qO*| 固定周期的2D参数优化 U[H+87zg wjw<@A9
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 `!>dbR&1 G \aL g VirtualLab Fusion中的工作流程 [?K\%]
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 V?L$ ys eL$U M •构造光栅结构 GJl@ag5h]!
−通过使用界面来配置光栅结构 \i;~~;D
[用例] "3K Smb
•分析光栅衍射效率 "8iyMP%8
−光栅级次分析器[用例] G:6$P%.
•使用参数运行搜索初始解决方案 r{N{! "G
−参数运行文档的使用[用例] N@du.d:
•通过参数优化找到最终设计 p9 ] 7g% i4n%EDQ VirtualLab Fusion技术 q MT.7n: [ E
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 la"A$Tbu~ ek .WuOs 文件信息 1j) !d$8 A>1 p]# UEYM;$_@4o  SAxa7B/U2 SAo \H
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