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摘要 I|RN/RVN FRF3V> 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 [T"oqO4%]
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 `=uCp^ +v z~4L=tA( 建模任务 }E]`ly<Z reM%G U  |O\(<n S 光栅特性与参数的严格分析 BT
98WR"\ uQ&&? j 不同光栅周期下的衍射效率 _E)xR = A DAMP
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ZgtW 关于光栅周期选择的考虑 yZxgUF&`
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 'gUHy1p TnL%_!V! 偏振相关的衍射特性 $MKx\qx} s.1(- "DU
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 ~IE:i-K z o|] xj' 通过参数优化进行光栅设计 aC]~
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 PwF}yx kI TQ=\l*R(A 变化光栅周期的3D参数优化 i`2Q;Az_P6
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 8x58sOR= Mu Z\<;W$ 制造公差分析 *sAoYx
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 GgA =EdJn CG=#rc]vz 走进VirtualLab Fusion +R2
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 vm8QKPy Esw&ScBOP VirtualLab Fusion中的工作流程 r}f -.Fo
rxP^L( q0*
 w/YKWv{_ S =C`v+NPM)| •构造光栅结构 bnD>/z]E
−通过使用界面来配置光栅结构 N:L<ySJ7
[用例] N _C\L2
•分析光栅衍射效率 O;H/15j:sK
−光栅级次分析器[用例] v#-%_V>ph
•使用参数运行搜索初始解决方案 l*nS gUg
−参数运行文档的使用[用例] Oo7n_ h1
•通过参数优化找到最终设计 @Z3b^G [ Yo7ctwzdH; VirtualLab Fusion技术 f$2lq4P{ ),M8W15
 H[-zQ #I9 Jb
;el*,K 文件信息 #7Q n\C2 $9W9* WQL "<!|am(  :+E>Uz T e#_xDR:
P Cw.NJd$ QQ：2987619807 *:YW@Gbm
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