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摘要 43-Bx`6\ =:xX~,qmv 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 1]5k l J
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 4nP4F + 9 nY|S{L 建模任务 mqHH1} jDTG15_=  9<toDg_ 光栅特性与参数的严格分析 5c(g7N r<Z .J/a 不同光栅周期下的衍射效率 r@]`#PL at{p4Sl
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w 关于光栅周期选择的考虑 [Gv8Fn/aG
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 EK[J!~ Cd=$XJ-b •构造光栅结构 {~FPvmj&
−通过使用界面来配置光栅结构 Br}@Vv q@
[用例] 9$e$L~I#u
•分析光栅衍射效率 F vPWS! H
−光栅级次分析器[用例] X<C f y
•使用参数运行搜索初始解决方案 {D..(f1*u
−参数运行文档的使用[用例] :Z2997@Y
•通过参数优化找到最终设计 3Og}_ Z : xb8]y VirtualLab Fusion技术 Y Z8[h`z rb4; @&
 +y'2 h%>h[ /@1YlxKF 文件信息 un~`| Dqc
GzTz 5fiWo^s}  &k_*Y- l7] uF}dEDB|;
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