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摘要 3Fxr= 7xQ:[P!G+ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 CUHT5J*sY
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 :`E p#[Wvo aj,o<J 建模任务 /[D_9 FE]UqB  ;TS%e[lFhQ 光栅特性与参数的严格分析 mU~&oU ?3 k_YN" 不同光栅周期下的衍射效率 ?Pa(e)8\ (KwC,0p
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x} nBU q: 关于光栅周期选择的考虑 TVx
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−通过使用界面来配置光栅结构 p|2GPrA]aL
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•分析光栅衍射效率 1x;@ BV
−光栅级次分析器[用例] \
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•使用参数运行搜索初始解决方案 R$hIgw+p[
−参数运行文档的使用[用例] (,#m +
•通过参数优化找到最终设计 jIT|Kk&] #f24a?n| VirtualLab Fusion技术 k}H7bZ ug Cm) TFh6
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cMZy~> QQ：2987619807 ;9mRumLG"
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