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摘要 dt;R CCQ<.iCU 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 NcFHvK eX$u
6fQQKM@a| '6[0NuB 建模任务 JAc-5e4 >L5[dkg% ; v>2z!M 光栅特性与参数的严格分析 6|["!AUI ;/
WtO2 不同光栅周期下的衍射效率 [
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g$9Yfu 关于光栅周期选择的考虑 @
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,Cde5A{K |*jnJWH4: 偏振相关的衍射特性 B0nkHm.Sj AfFFu\
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N/4`afiV. M]vcW 制造公差分析 4'RyD<K\ XcAx@CY9c
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V VirtualLab Fusion中的工作流程 g+bc4eU >WVos 4
W]}y:_t4 }4Ef31X8q •构造光栅结构 N \1
EWi −通过使用界面来配置光栅结构 ( d#E16y [用例] AvfSR p •分析光栅衍射效率 Po~{Mpe −光栅级次分析器[用例] [AstD9 •使用参数运行搜索初始解决方案 2f2Vy:&O_ −参数运行文档的使用[用例] p2cwW/^V •通过参数优化找到最终设计 lyc
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