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摘要 ra[*E4P9L* c|,6(4j>$ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 t R(Nko u+
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v[UrOT: F4xXJ"vc 建模任务 $Z2Y% z6y y))) {X btZ9JZvMx 光栅特性与参数的严格分析 "{igrl8 }k K6"]Tj 不同光栅周期下的衍射效率 (aQNe{D# {0t-Q k
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E+{U 9\aR{e,1 制造公差分析 wP <) -ST[!W V
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k$u/6lw]IB VEuT!^0Z VirtualLab Fusion中的工作流程 Y@+e)p{ ,dG2[<?o
F_?aoP&5 :JEzfI1 •构造光栅结构 Jp0*Y-*Y −通过使用界面来配置光栅结构 _2wU(XYH [用例] -S ASn •分析光栅衍射效率 2[ #7YWs −光栅级次分析器[用例] |?tUUT!`t •使用参数运行搜索初始解决方案 "i}?jf
{a −参数运行文档的使用[用例] O7MFKAaD •通过参数优化找到最终设计 SR4cR)Iz Fk(+S:{yQ VirtualLab Fusion技术 _9^ lhyWlO
RkrZncBgV< {NS6y \, 文件信息 exnFy- bw@"MF{ L*rND15 /]mfI&l+9 p\7(`0?8VN aWG7k#nE QQ:2987619807 Gs2|#*6
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