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摘要 {gi"ktgk ]R ]X#jm 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~GY;{
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 +~/zCJ;F &c@I4RV|q 建模任务 aH$*Ue@Q /3Gv 51'  IweQB} d 光栅特性与参数的严格分析 q C|re!K %F/tbXy{ 不同光栅周期下的衍射效率 Y c5$915 AU$5" kBE
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a+BA~|u^ 关于光栅周期选择的考虑 9hp 0wi@W}
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 SoY&R= ta 4<d)nB 偏振相关的衍射特性 mg;AcAS.o, XAFTLNV>
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 mLYB6 lJ,s}l7 通过参数优化进行光栅设计 |Z/ySAFM -T(V6 &'Qi 固定周期的2D参数优化 6%xl}z]o Z,&ywMm /G
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 _ Owz% J5"*OH:f VirtualLab Fusion中的工作流程 S'e2~-p0F
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 V+q RDQ re*/JkDq3K •构造光栅结构 l]Sui_+ZU
−通过使用界面来配置光栅结构 hg~fFj3ST
[用例] gs3}rW
•分析光栅衍射效率 ;sf/tX
−光栅级次分析器[用例] 6M9rC[h\
•使用参数运行搜索初始解决方案 |"<
I\Vs:
−参数运行文档的使用[用例] gr=`_k4~1
•通过参数优化找到最终设计 )em.KbsPPF AQ5v`xE4 VirtualLab Fusion技术 wMoAvA_o S KPhqD5,
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 F8I <4S >>r:L3 <! 文件信息 `dZ| }4[1 ZJ(!jc$"*% :Mk}Suf&H  s$_#T G;;~xfE'
I'C , ' QQ：2987619807 (YOgQ)},
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