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摘要 oqE
-q\!H -L[K1;Xv" 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 KGJB.<Be @bPJ}C
6R<%.-qr :G-1VtE n 建模任务 QZ`<+"a0 *be+x RY ]_Qc}pMF& 光栅特性与参数的严格分析 jPd<h{js dlU=k9N- 不同光栅周期下的衍射效率 X6;aF;"5 "~;jFB8
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`e(V 关于光栅周期选择的考虑 J]N}8 0 Q-0[l/A}a
@s/ qOq? b:JOR@O 偏振相关的衍射特性 HP8pEo0Y 4[#.N
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A~6 Cs LY>JE6zTt 通过参数优化进行光栅设计 UWnH2 aT0 y 固定周期的2D参数优化 qkEy$[D9 07#!b~N
~)Z`Q 2D参数优化–设计1 ERZ[t\g) 5|b/G
A gPg0(G c;e,)$)-| 2D参数优化–设计2 Z\ Q7#dl I|M*yObl6
w5;EnI 8 2qe|XD4p 制造公差分析–设计2 ]+Vcu zq/ `7j,njCX.
'71btd1 83h3C EQ 变化光栅周期的3D参数优化 $@xkKe" pxF!<nN1,
9D<HJ( {\e}43^9N 制造公差分析 G pd:k !d^`YEfE
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&td#m"wI O^GX Fz^ VirtualLab Fusion中的工作流程 <ZiO[dEV _H,RcpyJ
1K`A.J:Uy H1]\B: •构造光栅结构 fwEi//1 −通过使用界面来配置光栅结构 )\(pDn$W [用例] wnX6XyUH •分析光栅衍射效率 ,Tx8^|b#F −光栅级次分析器[用例] 2S;zze7) •使用参数运行搜索初始解决方案 w&{J9'~ −参数运行文档的使用[用例] D8ly8]H •通过参数优化找到最终设计 :-Pj )Y{I tu'M YY VirtualLab Fusion技术 liTr3T`,V \9p;md`
erqB/ C Ua]zTMI 文件信息 EkX6> mo K"1J1>CHQ -O5m@rwt< &<V~s/n=6? mAzW'Q4D (0+m&,
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