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摘要 _6hQ %hv8 7Q9 w?y~c 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 NwvC[4
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 B m<`n;m \?-<4B c@ 建模任务 V)k4:H o5PO =AN  Q&tG4f< 光栅特性与参数的严格分析 lrE 5^;/s1 l|[N42+ 不同光栅周期下的衍射效率 Of#u h7oo7AP
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`/+>a8 关于光栅周期选择的考虑 v ;{#Q&(
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 / U9"wvg (\x]Y MLH •构造光栅结构 y<Ot)fa$
−通过使用界面来配置光栅结构 YS0<qSN
[用例] sO@Tf\d
•分析光栅衍射效率 n: !_
−光栅级次分析器[用例] "chDg(jMZ
•使用参数运行搜索初始解决方案 {P_.~0pc*
−参数运行文档的使用[用例] ?e 4/p
•通过参数优化找到最终设计 ?Uo BV$ b \2
d s, VirtualLab Fusion技术 .Q 2V}D85 'H;*W |:-]
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OneY_<*a< QQ：2987619807 ~t~|"u"P
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