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摘要 <k1muSe !Usmm8!K 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 P2ySjgd x!S}Y"
fGj66rMGw H{E(=S 建模任务 p\~ a= D3g5#.$,}> .3+8Ip#z 光栅特性与参数的严格分析 2@_3V_ D{8B;+ 不同光栅周期下的衍射效率 3k6Dbz B;Z _'.i,d
yWc%z6dXC 7{"F%`7L 关于光栅周期选择的考虑 Z 5 .cfI[ \A!Iln
MftaT5 a]V#mF |{ 偏振相关的衍射特性 RigS1A\2l 7]5+%[Dg!
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D@{m DB jUHirK 通过参数优化进行光栅设计 dj,lbUL Pa; *%7 固定周期的2D参数优化 v+C D{Tc 2mx }bj8
I2z7}*<u 2D参数优化–设计1 )5<dmK@ BNJG-b|g^
"tK3h3/Xv 2<2a3'pG 2D参数优化–设计2 S[rfcL" ]?jmRk^.
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Z\$!: G~4|]^`g 制造公差分析 r2Q) Q %bnjK#o"Q
pq5bK0NQ 7aNoqS+ 走进VirtualLab Fusion yD ur9Qd6 _lk5\bu
,!^w 23UXOY0BW VirtualLab Fusion中的工作流程 3j$,x(ua9 xm<sH!,j
6HR*)*>z_ 7o M]qLF •构造光栅结构 nHF −通过使用界面来配置光栅结构 c6pGy%T- [用例] B.[5N;c •分析光栅衍射效率 a<V* ) −光栅级次分析器[用例] y/A<eHLy •使用参数运行搜索初始解决方案 ]G2%VKkr −参数运行文档的使用[用例] e?b<-rL
•通过参数优化找到最终设计 /B9jmvj` _^0)T@ VirtualLab Fusion技术 vR\[I V? SjOIln
Y~bGgd]T ma4r/8Q 文件信息 t]%!vXo
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