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摘要 +L"F] _? }cI-]|)|2 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 T [^&ZS]s
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 G~DHNO6 cWyf04-? 建模任务 x1Y/^ks@2 Z Qym8iV/  H;NAS/OhS 光栅特性与参数的严格分析 &>+5
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 YwZx{%f {(asy}a9K VirtualLab Fusion中的工作流程 =;Co0Q`
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 5&_")k3$* y] O&w{m$ •构造光栅结构 +R;LHRS%
−通过使用界面来配置光栅结构 o
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[用例] nUX3a'R
•分析光栅衍射效率 |)0 Ta 9~
−光栅级次分析器[用例] vpdPW %B
•使用参数运行搜索初始解决方案 tu{ paQ
−参数运行文档的使用[用例] 2~ETu&R:
•通过参数优化找到最终设计 1P 'L<z y@2"[fo3~ VirtualLab Fusion技术 xb9^Wv V dN:^RCFzS
 ,+C?UW ZZ :* c"b: 文件信息 q;f L@L@- ,VUOsNN4\ C{G=Y[?oc  $3ZQ|X[|+ 'Ce?!U O
[ z/G QQ：2987619807 RX^8`}N
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