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摘要 ?8-Am[xH %zcA|SefP 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ''nOXl }^&S^N7
<F7a!$zQ \4N8-GwZQ 建模任务 h!w::cV UMGiJO\yH VhO%4[Jl 光栅特性与参数的严格分析 g+#awi7 MKBDWLCB 不同光栅周期下的衍射效率 yqx5_} +x2JC' -H
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#f\< D>7a0p784 关于光栅周期选择的考虑 @ZJL]TO `==l2AX
cwmS4^zt8 BP3Ha8/X 偏振相关的衍射特性 "8f4s|@3 aZmN(AJ8v
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RIMSXue*Ha ,\M77V 通过参数优化进行光栅设计 <X)\P}"L4 l)NkTZ<] 固定周期的2D参数优化 p\&O;48= hE&6;3">
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Tw-NIT) PBn7{( x VirtualLab Fusion中的工作流程 x9 > ho R%jOgZG
tW UI?\ s;vt2>;q+e •构造光栅结构 -qP)L;n −通过使用界面来配置光栅结构 &Gt{9# [用例] j.&dHtp •分析光栅衍射效率 nqy*>X` −光栅级次分析器[用例] Q4cCg7|0 •使用参数运行搜索初始解决方案 {xZY4b2 −参数运行文档的使用[用例] _pTcSp3 •通过参数优化找到最终设计 :Qge1/ )gdeFA V VirtualLab Fusion技术 A$@;Q5/2 cpOt?XYR~
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