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摘要 H!NyM}jsr yHL5gz@k 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 j7M[]/| bkgJz+u
=1}Umn|ZLS L)LW5%.6 建模任务 eHjn<@ )KLsa`RV: !7O!)WJ 光栅特性与参数的严格分析 iS"( &
M wvj 不同光栅周期下的衍射效率 bf3Njma% k'K&GF1B
Z $? Ql@M %EooGHGF? 关于光栅周期选择的考虑 {G
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V~uH)IMkh7 =a<};X 偏振相关的衍射特性 %;E/{gO '>] 9efJA
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L]goHs w<hw>e^. 通过参数优化进行光栅设计 V2I"m rR4_=S<Mi: 固定周期的2D参数优化 WUM&Lq
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qn VxP& X|}yp| VirtualLab Fusion中的工作流程 "lcNjyU\O Jhclg0q
Fb&Xy{kt1 +/tNd2 •构造光栅结构 la7VeFT −通过使用界面来配置光栅结构 @ 5!Mr5; [用例] ]Q Y:t:- •分析光栅衍射效率 d{cd+An −光栅级次分析器[用例] *;QIAd •使用参数运行搜索初始解决方案 $TON`+lB −参数运行文档的使用[用例] 9 )1 8 •通过参数优化找到最终设计 &@tD/Jw3 V
_(L/6 VirtualLab Fusion技术 3;@/`Z_\lt G_GV
@6eM{3E. G%{J.J41F 文件信息 &b[.bf &vf9Gp+MK 'Vwsbm
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