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摘要 y3@H/U{ V<GHpFi0 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 h`^jyoF"(
b,7k)ND1F
 T&6l$1J os=e| vkB* 建模任务 MTuV^0%jD CsGx@\jN  La`N PY_:> 光栅特性与参数的严格分析 ssfr}fzH > qnko9 V 不同光栅周期下的衍射效率 0X6YdW _2X ua3~iQj-
 LSL/ZvSP
o#3 ly-ht 关于光栅周期选择的考虑 "@V Y
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 E(>=rD /+ , Vc6Gwm 偏振相关的衍射特性 BC^ := 9ijfR qI=x
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b "H'B*vc- 通过参数优化进行光栅设计 luh$2 \5B G#ZH.24Y 固定周期的2D参数优化 #NEE7'&S "q3ZWNS'w
dm\F 2D参数优化–设计1 ha]VWt%}
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 ?1~` *LE Ri<u/ ]oR" 2D参数优化–设计2 ^UP`%egR
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 bV^ rsJm yb <fpM 变化光栅周期的3D参数优化
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 pC#E_*49 )8a~L8oN 制造公差分析 )3cAQ'w
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 ]% ;:7? 5l )v'WWwXY> VirtualLab Fusion中的工作流程 k
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U7? ;UCmX
 g_;\iqxL N DN7[ 7E •构造光栅结构 tj' \tW+s'
−通过使用界面来配置光栅结构 A @i
[用例] W_Jl Oc!y
•分析光栅衍射效率 ./\@Km?
−光栅级次分析器[用例] s
n8Qk=K
•使用参数运行搜索初始解决方案 akmkyrz '&
−参数运行文档的使用[用例] D(~U6 SR
•通过参数优化找到最终设计 xB@ T|EP bTI|F]^! VirtualLab Fusion技术 C"y(5U)d v&6-a* <Z
 W8G,=d}6 ,V7nzhA2 文件信息 ncaT?~u j 0 - B5`=yU T6'^EZZY  zrvF]|1UP !hm] fh_j
[C Y9^N QQ：2987619807 ~]sc^[
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