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摘要 u$ts>Q;5
m+QS -woHn 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0'^M}&zCi
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 N$fP\h^AR 7B?Y.B 建模任务 wNB?3v{n |G j.E  P1#g{f 光栅特性与参数的严格分析 7e_4sxg'(3 ]U?nYppV 不同光栅周期下的衍射效率 D8A+`W? )g pN
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vNO&0 ~ 关于光栅周期选择的考虑 TWP@\ BQ
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 r=j?0k '}] ;qmnG3;Q 通过参数优化进行光栅设计 SSe;&Jk2d ^ AZ#tp%) 固定周期的2D参数优化 NlYuT+
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2, 制造公差分析–设计2 ju2H 0AQ
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-Z&/3T] VirtualLab Fusion中的工作流程 8P ]nO+
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 NXD - ;X}2S!7Ko •构造光栅结构 v hZ Xgp0X
−通过使用界面来配置光栅结构 c{^1`(#?
[用例] L I KuK#
•分析光栅衍射效率 :@(1~Hm
−光栅级次分析器[用例] %=z>kU1|
•使用参数运行搜索初始解决方案 a3 n
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−参数运行文档的使用[用例] iK q_s5|sW
•通过参数优化找到最终设计 WOPIF~1v (o{ Y;E@/y VirtualLab Fusion技术 Az8b_:= OcB&6!1u
 uV|F 3'jT *mV?_4!,f7 文件信息 ts=D 2fdN@iruB r'ilJ("  U_jW5mgsG !I |_vJ@<
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