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摘要 k1tJ$} F6>K FU8 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8vQGpIa, CTawXHM
kc*zP= wEju`0#; 建模任务 (w4w *u
L Ooq V{!fag 光栅特性与参数的严格分析 +c)"p4m LX<arHz 不同光栅周期下的衍射效率 |-Rg]. xPBSJhla
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nW)-bAV< ]U[y3 偏振相关的衍射特性 W,sU5sjA s|er+-'
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cL+--$L v %?y5w 制造公差分析 cZ8lRVaWW 8PN/*Sa
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e]@r •构造光栅结构 =O~ J −通过使用界面来配置光栅结构 t=-t xnlr< [用例] 1/ZvcdYB •分析光栅衍射效率 Z.Otci> J −光栅级次分析器[用例] <5Ye')+ •使用参数运行搜索初始解决方案 Yg @&@S] −参数运行文档的使用[用例] .,-,@ZK •通过参数优化找到最终设计 gKp5* WO}l&Q VirtualLab Fusion技术 B #[URZ9S Y 6NoNc]h
Nu/D$m'PY ,H_b@$]n8 文件信息 p3m!Iota xgdS]Sz 0r4,27w knX*fp )+Nm@+B v jTs[eq> QQ:2987619807 /0S2Omh
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