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摘要 hTq JDP"&F Xp@OIn 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 q\G@Nn^
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 T~d';P ' 1IH^<b 建模任务 l$NEx0Dffz 3J{'|3x  n$K_KU v 光栅特性与参数的严格分析 \>Q,AyL _=p|" ~rN$ 不同光栅周期下的衍射效率 CK% W +"; R2{X? 2|$
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MDZb|1.AT 关于光栅周期选择的考虑 7KLq-u-8
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hZ jl@xcs]# •构造光栅结构 /W% {b:
−通过使用界面来配置光栅结构 n@ xU5Q
[用例] {epsiHK@tK
•分析光栅衍射效率 &BP%~
−光栅级次分析器[用例] 0-7xcF@s
•使用参数运行搜索初始解决方案 B>Mk "WjQ
−参数运行文档的使用[用例] +O o>V~
•通过参数优化找到最终设计 `6'fX[j5 i-$]Tg VirtualLab Fusion技术 dQt]r !pgk UzMW
 `Q,03W#GJ% 'z@(,5 文件信息 wTG6>l ]H :9 . ik :\>@yCD  \ 7jK6;R< 1O 8RGk4
kLK}N>v}X QQ：2987619807 oJEind>8O
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