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摘要 ox=7N{+`J ;`PkmAg 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 JJHvj=9'o
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 `w=H'"Zv `i)ePiE 建模任务 wh m tEY ,S0~:c:)  b`W'M :$ 光栅特性与参数的严格分析 'iISbOM CygV _q 不同光栅周期下的衍射效率 -J7 , Nw .SV3<)
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G5f57F VirtualLab Fusion中的工作流程 P2JRsZ.
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 >b ?)WNk P}QbxkS 8 •构造光栅结构 X3O$Sd(D
−通过使用界面来配置光栅结构 10IPq#Jj
[用例] []!r|R 3
•分析光栅衍射效率 y+af UJT
−光栅级次分析器[用例] i O|,,;_
•使用参数运行搜索初始解决方案 PSR `8z n
−参数运行文档的使用[用例] +M&S
•通过参数优化找到最终设计 oz-I/g3go O~'yP @&` VirtualLab Fusion技术 bu&y w~ 9,eR=M]+:
 !QS<;)N@ N4jLbnA 文件信息 m9c T}x&j mxA )r5sx 0w. _}C z  wu&7#
