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摘要 k,6f
6I4\q.^qw 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <?6|.\& wk D^r(hiH
L#?Ek- LgU_LcoM* 建模任务 rQs)O<jl dr}`H,X"3 O,
wJR 光栅特性与参数的严格分析 .t-4o<7 3 Oc#syfO 不同光栅周期下的衍射效率 !u[9a;Sa# }O5i/#.lR
L(<*)No 'Cfl*iNb 关于光栅周期选择的考虑 P>C~
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qPK*%Q<; KnQ*vM*VM 偏振相关的衍射特性 jl$ece5v rig,mv
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5E;qM|Ns 2D参数优化–设计1 -t'jNR' x b~yM%*c
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yG: Oi'5ytsES 变化光栅周期的3D参数优化 @ $ ;q; { ]{/t-=
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K(4?gC xQ-<WF1i VirtualLab Fusion中的工作流程 %~H-)_d20 ?W?c1>
qpP=K $ @sW24J1q+ •构造光栅结构 9k'7832u −通过使用界面来配置光栅结构 &tLgG4pd [用例] d9fC<Tp •分析光栅衍射效率 }%ojw | −光栅级次分析器[用例] S]e|"n~@ •使用参数运行搜索初始解决方案 )Xz,j9GzJS −参数运行文档的使用[用例] eCDev} •通过参数优化找到最终设计 X1x#6
oi _ @NL;w:! VirtualLab Fusion技术 ArI2wM/v s^G.]%iU
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