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摘要 0{o 8-# cw~GH 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ]k1N-/ XM?c*,=fu
#&S<{75A JPT&!%~ 建模任务 }c4F}Cy F3Vvqt*2 n],cs 光栅特性与参数的严格分析 2%fkXH< aa!1w93?i 不同光栅周期下的衍射效率 l`0JL7 G~*R6x2g
;tD?a7 cY~lDLyB 关于光栅周期选择的考虑 >i61+uzEd+ FEa%wS{
+{)V%"{u: +'` ^ N 偏振相关的衍射特性 u6\W"LW .:;q8FL/
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j=>WWlZ W"xRf0\V 通过参数优化进行光栅设计 : NH'>' #?\|)y4i 固定周期的2D参数优化 cetlr uA%F0oM
)GC[xo4bg 2D参数优化–设计1 jJ_6_8# zq#gf
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VirtualLab Fusion中的工作流程 3+%L[fW`/ Bk1gE((
C?b_E Tq >?.bq9 •构造光栅结构 \6Hu&WHy −通过使用界面来配置光栅结构 %G~%:uJ5 [用例] gB#$"mq, •分析光栅衍射效率 ch}(v'xv( −光栅级次分析器[用例] .aR$ou,7 •使用参数运行搜索初始解决方案 D#&N?<} −参数运行文档的使用[用例] r|7 hm:F) •通过参数优化找到最终设计 RD p(Ci iW<B1'dp VirtualLab Fusion技术 Ibl==Irk `L}Irt}
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