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摘要 NuZ2,<~9 *85N_+Wv! 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 U`v2Yw3E
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 m* ^) # <kB:`&X<\ 建模任务 ~yv7[`+Tgg Ai/X*y:[?  ljFq ;!I5 光栅特性与参数的严格分析 v l"8Oi*r^ ybaY+ & ALnE:F
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 k`5I"- e 8" %Es •构造光栅结构 DS?.'"n[u
−通过使用界面来配置光栅结构 $w(RJ/
[用例] NP;W=A F
•分析光栅衍射效率 ,rMDGZm?
−光栅级次分析器[用例] :k \#=u(
•使用参数运行搜索初始解决方案 "Z&.m..gc
−参数运行文档的使用[用例] eN])qw{
•通过参数优化找到最终设计 V'9.l6l gqS9 {K(f VirtualLab Fusion技术 L-+g` +/[M
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 QIi y\E % )Qb,zS6 文件信息 M\{n+r -m "3^tVX%$\[ [wQ48\^  u Z6krI 4&W?: =H2
Au,oX2$ QQ：2987619807 8>YF}\D V
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