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摘要 nVk ]Qe }9?fb[] 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 EU() Nnm2
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bJ01  Ec['k&*7, 光栅特性与参数的严格分析 gR {.0 e Mp^U)S+ 不同光栅周期下的衍射效率 9'! I6;M !B&1{
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[oS.B\Vc 关于光栅周期选择的考虑 !n5s/"'H
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 MM%c 0Ie9T1D= •构造光栅结构 [b vI T ]Z
−通过使用界面来配置光栅结构 ` `R;x
[用例] O Vm
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•分析光栅衍射效率 eqze7EY
−光栅级次分析器[用例] 7) Rx-
•使用参数运行搜索初始解决方案 jE{2rw$ZJ?
−参数运行文档的使用[用例] ]OOL4=b
•通过参数优化找到最终设计 VJeN
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 ( U |[ C* {^#62Y 文件信息 <j.bG 7 X |7Y|0o \}e1\ MiZ  O j*3'?<7= rE
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