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摘要 !RAyUfS PbCXcs 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 F?3a22Zg#
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 H+ t^eg88 FK0nQ{uB" 建模任务 ` O-$qT, _ d.sxB}_O  >$k_tC' " 光栅特性与参数的严格分析 p ^^E(<2 [Cvo^cC 不同光栅周期下的衍射效率 5) nm6sf (eFHMRMv~
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c[f 关于光栅周期选择的考虑 %\2
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−光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案 \]uD"Jqv#
−参数运行文档的使用[用例] o
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•通过参数优化找到最终设计 g?&_5)& j Gy%O3/ VirtualLab Fusion技术 cLhHGwX=x v<C Z.-r\j
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