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摘要 m] W5+ >j{z> 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 XK"-' 4Td{;Y="yF
^0#;YOk $46{<4. 建模任务 1RKW2RCaW_ TyKWy0x-3 )I\=BPo|B 光栅特性与参数的严格分析 vm'5s]kdh m{7^EF 不同光栅周期下的衍射效率 )?2e (Z}>1WRju
ql GW.jY. z`6fotL 关于光栅周期选择的考虑 9
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O}[PJfvBHo v?c 0[+? 偏振相关的衍射特性 `+#G+Vu5 nr)c!8
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\ 通过参数优化进行光栅设计 WU4U Zpz n}mR~YqD 固定周期的2D参数优化 < pTTo Eh|.
=&dW(uyzY 2D参数优化–设计1 jEz+1Nl) .P$IJUYO
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f DgD@YC D :RxHw;! •构造光栅结构 2WvN2"f3 −通过使用界面来配置光栅结构 +~sd"v6 [用例] p3^jGj@ •分析光栅衍射效率 '[ P}&<ie, −光栅级次分析器[用例] !.5),2 •使用参数运行搜索初始解决方案 P5QQpY{<I −参数运行文档的使用[用例] O(H1 P[ •通过参数优化找到最终设计 % 0:p)Z0 tGcya0RL VirtualLab Fusion技术 FZpKFsPx io4A>>W==/
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