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摘要 / a\i ZiPeP 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6kAAdy}ck
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 UFj H8jSBx C^ZoYf8+"m 建模任务 G_+/ e]P cZVx4y%kz  pX &bX_F{ 光栅特性与参数的严格分析 z"f@iJX?2 riW9l6s' 不同光栅周期下的衍射效率 DO~
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 E !ndXz 59 &%rM| •构造光栅结构 hdDT'+
−通过使用界面来配置光栅结构 fJlNxdVr
[用例] t.8r~ 2(?
•分析光栅衍射效率 @Fc:9a@
−光栅级次分析器[用例] ":
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•使用参数运行搜索初始解决方案 O q$_ q
−参数运行文档的使用[用例] g4A{RI
•通过参数优化找到最终设计 b$klm6nMvm %)7t2D VirtualLab Fusion技术 #_.J kY 4 -.W~C'Q
 e' M&Eh cCZp6^/<x 文件信息 )'~Jsg- %g@?.YxjT v82wn P-~7  X8ulaa $A?9U}V#^
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