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摘要 K Z=5"a MP
)nQ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <P*7u\9&
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 rc`I l{~k <8h3 )$ 建模任务 zQGj,EAM} ;s4e8 hO$29_^" 光栅特性与参数的严格分析 6@d/k.3p hA`9 [58/ 不同光栅周期下的衍射效率 sAK&^ g hbx+*K M
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>RiU/L 关于光栅周期选择的考虑 d (5j#?
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 '81R wp 7 lq$Ps C 偏振相关的衍射特性 bDegIW/'w p@?(m/m$
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 pC&i!la{o} nX h<+7 通过参数优化进行光栅设计 u b@'(* / pGx ! 固定周期的2D参数优化 0 U2dNLc X`]>J5
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 0.wN&:I8t \qJ^ n % 2D参数优化–设计2 Lf Y[Z4
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 2%pe.s tQ S2= x,c$ 制造公差分析–设计2 $K 1)2WG
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 >k 2^A (Q|Y*yI 变化光栅周期的3D参数优化
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 (j}edRUnB d^|r#" o[ 走进VirtualLab Fusion XfwH1n/o#
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 tQ2S*]"f * x. gPG VirtualLab Fusion中的工作流程 sDy~<$l?
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 :*Z@UY 8w3Wy<}y •构造光栅结构 VmTgD96
−通过使用界面来配置光栅结构 e" p5hpl
[用例] @N\
Ht'f
•分析光栅衍射效率 2AjP2
−光栅级次分析器[用例] XP@&I[J3sI
•使用参数运行搜索初始解决方案 vLc OZ^iK
−参数运行文档的使用[用例] l{3ZN"`I
•通过参数优化找到最终设计 .1""U
'] /^ [K VirtualLab Fusion技术 rGSi
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 z vbz3 a }ev+WIERQV 文件信息 HK.Si]: G*^4 CJ 3T@`V FbE  UeSPwY V5]\| ?=
d|$-S z QQ：2987619807 5{M$m&$1
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