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摘要 =j!nt8]8 tJa*(%Z?f 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 d1>L&3HKx X
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*km!<L7Y +Y_]< 建模任务 +UX~TT: +=Y$v2BZA3 ,GYK3+}Z 光栅特性与参数的严格分析
(RBB0CE fAT+x1J\ 不同光栅周期下的衍射效率 r]B`\XWz Ge=|RAw3
XE`u WX&0;Kr 关于光栅周期选择的考虑 9&"wfN N d9.I83SS
^fEer wu;^fL 偏振相关的衍射特性 C>* 1f|< lhBu?q
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y(yBRR _X~xfmU 通过参数优化进行光栅设计 U1=]iG<% _ YcIGOL 固定周期的2D参数优化 M6lNdK ^5Ob(FvU
[N_)V kpr 2D参数优化–设计1 J l
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l~n=_R3 jJK@i\bU_ 2D参数优化–设计2 %g7B*AX] D"<>!]@(a
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q\d/-K 4v#A#5+O E 变化光栅周期的3D参数优化 a/gr1 "
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_{mG\*q 7D=gAMPvJ VirtualLab Fusion中的工作流程 POb2U1Sj s>a(#6Q
N3&n"w _d S*(ns<L •构造光栅结构 uE&2M>2 −通过使用界面来配置光栅结构 RsnFjfb' [用例] wiM-TFT~ •分析光栅衍射效率 43/!pW −光栅级次分析器[用例] DX<xkS[P •使用参数运行搜索初始解决方案 S!R:a>\ −参数运行文档的使用[用例] Rqun}v} •通过参数优化找到最终设计 ke5_lr( C''[[sw'K VirtualLab Fusion技术 &h?8yV4B ($s%B
!345 `E5vO1Pl 文件信息 {p7b\=WB- ; d :i fR,7l9<%Zp `l<pH<F m.>y(TI 3R[,,WAj$ QQ:2987619807 Ku;8Mx{
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