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摘要 <-%OXEG dLnu\bSF 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )?D w)s5 tMnwY'
o*}--d?S cJQ& #u 建模任务 :Tu%0="ye ),#hBB`ZA g XThdNU4G 光栅特性与参数的严格分析 1p]Z9$Y $Afw]F$ 不同光栅周期下的衍射效率 DD(K@M kV$$GLD\
SGUu\yS&s Gi*GFv%xB 关于光栅周期选择的考虑 PRi3=3oF (}:n#|,{M
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) (bBr O74lR 偏振相关的衍射特性 Bx&F* a;5 (RtjD`e}
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48 | u{ +CF"Bm8@ 通过参数优化进行光栅设计 j^&{5s |Vq&IfP 固定周期的2D参数优化 h~zG*B5F 4X^{aIlshk
X8Ld\vZYn 2D参数优化–设计1 (K>=!&tlp= S7_^E
vxrRkOU1 IC:wof " 2D参数优化–设计2 LtDQgel" Edi`x5"l
Jfkdiyy" 5HAIKc 制造公差分析–设计2 vKCgtk 7:>VH>?D
Y3J;Kk#AH 5?()o}VjAO 变化光栅周期的3D参数优化 NX5A{ }CyS_Tc
on=I*?+R >.]'N:5 制造公差分析 w`?Rd D]UqM<0Rz
!^/Mn ,@b7N[h 走进VirtualLab Fusion V;V,G+0Re cx(W{O"Jb
Q4&|^RLLG O^AF+c\n VirtualLab Fusion中的工作流程 qXQ/M] 1p[Z`m*9
V>2mzc U=G^wL •构造光栅结构 .PhH|jrCW^ −通过使用界面来配置光栅结构 Lk-%I? [用例] eyiGe1^C •分析光栅衍射效率 /W,K% s] −光栅级次分析器[用例] >nnjLrI •使用参数运行搜索初始解决方案 P(Fd|).j$ −参数运行文档的使用[用例] u?>]C6$ •通过参数优化找到最终设计 )E2^G)J$W NQD*8PGfj VirtualLab Fusion技术 dK=<%)N y+PiH
c&o|I4|Y, N2~q\BqA 文件信息 1;4]
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