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摘要 We,~P\g ?{I]!g I 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 awa $ o
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~=P> 建模任务 IT0*~WMZ tmI2BBv  (Dx]!FFz 光栅特性与参数的严格分析 1 ~#p3)B Qf]ACN 不同光栅周期下的衍射效率 Zcn,_b7 ,*@6NK,.
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?#917M 关于光栅周期选择的考虑 %L$P']%t@
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 vvLm9Tw hp}J_/+4n VirtualLab Fusion中的工作流程 '@u/] ra:
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 V$+xJ m })|+tZ •构造光栅结构 6v0^'}
−通过使用界面来配置光栅结构 $LZf&q:\]*
[用例] PqIGc
•分析光栅衍射效率 pAYH"Q6~)I
−光栅级次分析器[用例] $Tt@X u
•使用参数运行搜索初始解决方案 AyKaazm]9
−参数运行文档的使用[用例] @xW)&d\'
•通过参数优化找到最终设计 A:1O:LB=! Pn5@7~ VirtualLab Fusion技术 a4X J0Tm dfe 9)m>
 `/<KDd:_t })Rmu."\ 文件信息 z_eP 4em7PmT =8j;!7 p  h%(dT/jPL) S'HM|&
G. O0*E2V QQ：2987619807 Z bx d,|<|
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