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摘要 RtG}h[k/X vpPl$ga5bY 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &rDM<pO #- $8l({:*q0
`[zQf $./bjV% 建模任务 iut`7 #k3t3az2{ !L5jj#0 光栅特性与参数的严格分析 vd`}/~o t>B^q3\q? 不同光栅周期下的衍射效率 B12$I:x` EkT."K
\.XLcz e&eW|E 关于光栅周期选择的考虑 7?OH,^ ]CU]pK?nq
@`FCiH M 3Rm#-T s 偏振相关的衍射特性 PNW \*;j 4`#F^2r!
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C1T_9}L-A !~_zm*CqbZ 通过参数优化进行光栅设计 }0,>2TTDN p8wyEHB 固定周期的2D参数优化 jQU"Ved X &2oPo
hzI*{ 2D参数优化–设计1 <lr*ZSNY P)dL?vkK
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L]a`"CH:a$ KCe13! 制造公差分析–设计2 bg|!'1bD`5 @|yeqy_:
:5GZ \Z8F Y}6n]n;uR 变化光栅周期的3D参数优化 =Nz0.: fIoIW&iy
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$ \EbbkN:D 制造公差分析 F2(q>#<_ ^s\3/z>b4!
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y0v]N lC97_T VirtualLab Fusion中的工作流程 *cWmS\h| a:SQ16_?
;%J5=f%z) j:5%ppIY •构造光栅结构 `n!viW|tB −通过使用界面来配置光栅结构 N132sN2 [用例] X
fz`^x>M •分析光栅衍射效率 9?+9UlJ7K −光栅级次分析器[用例] OH<?DcfeL •使用参数运行搜索初始解决方案 mxrG)n6Y −参数运行文档的使用[用例] L{g E'jCC •通过参数优化找到最终设计 :ZdUx ~E4"}n[3A# VirtualLab Fusion技术 T+"f]v =fc:6JR
H;<!TX.zD "cho }X 文件信息 ]kktoP|D x:K?\< Z+s%;f; B\j~)vg vnX Bt^K]F\ QQ:2987619807 (J:dK=O@Z
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