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摘要 H!NyM}jsr y HL5gz@k 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 j7M []/|
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 =1}Umn|ZLS L)LW5%.6 建模任务 eHjn<@ )KLsa`RV:  !7O!)WJ 光栅特性与参数的严格分析 i S"( &
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 qn VxP& X|}yp| VirtualLab Fusion中的工作流程 "lcNjyU\O
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 Fb&Xy{kt1 +/tN d2 •构造光栅结构 la7V eFT
−通过使用界面来配置光栅结构 @ 5!Mr5;
[用例] ]Q Y:t:-
•分析光栅衍射效率 d {cd+An
−光栅级次分析器[用例] *;Q IAd
•使用参数运行搜索初始解决方案 $TON`+lB
−参数运行文档的使用[用例] 9 )1 8
•通过参数优化找到最终设计 &@tD/Jw3 V
_(L/6 VirtualLab Fusion技术 3;@/`Z_\lt G_GV
 @6eM{3E. G%{ J.J41F 文件信息 &b[ .bf &vf9Gp+MK 'Vwsbm
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