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摘要 9M)N2+hkZ uM8YY[b 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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# !?5^O }Om+,!_d 建模任务 Z7eD+4gD !cs +tm3  iB Ld*B|#K 光栅特性与参数的严格分析 QES[/i + S.9ki< 不同光栅周期下的衍射效率 ("t;
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 v;X'4/ M qG=9zp4y?Y •构造光栅结构 n83,MV?-
−通过使用界面来配置光栅结构 N^A&DrMF
[用例] ,~t{Q*#_h
•分析光栅衍射效率 8V%(SV
−光栅级次分析器[用例] @cNX\$J
•使用参数运行搜索初始解决方案 'v&k5`Q q
−参数运行文档的使用[用例] |s
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•通过参数优化找到最终设计 5QU7!jb I Wa%Z t*7 VirtualLab Fusion技术 }3cOZd_,t
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 L2 [|g~ 0jO]+B I1 文件信息 +] /_gz |D
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EoqUFa, QQ：2987619807 8
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