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摘要 Mbxrj~ue XiyL563gh 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 "Qe2U(Un
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 t)l^$j !h@ kE{-h'xADD 建模任务 p xQh;w v<]$,V]  9+frxD&pO 光栅特性与参数的严格分析 v-}D>)M^W ztaSIMZ 不同光栅周期下的衍射效率 cq 1)b\ | 4AN(4"$N
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D^H4]7wG@ 关于光栅周期选择的考虑 R lmeZy4.
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 vS +E`[ s %S; 9 T VirtualLab Fusion中的工作流程 ~mu) Cw
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 [5s4Jp$+ Nd6 1ns(N •构造光栅结构 e:zuP.R
−通过使用界面来配置光栅结构 x _BnWFP
[用例] 8z'_dfP=5
•分析光栅衍射效率 j\@osjUu
−光栅级次分析器[用例] QB#rf='
•使用参数运行搜索初始解决方案 }Jk=ZBVjT7
−参数运行文档的使用[用例] K._*
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•通过参数优化找到最终设计 }C9 P-- iP+3) VirtualLab Fusion技术 ;\)N7SJ R7~#7qKQB
 J+=+0{} dI $M9; 文件信息 b f-V Q7 56^#x ?cD2EX%(  cuo'V*nWQ ])uhm )U@
kESnlmy@J QQ：2987619807 L&h90Az1W
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