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摘要
E+.%9EKU 1 iWe&I: 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?R ;K`f9<
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 :le"FFfk ~{O9dEI 建模任务 %N, P?
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 U#O 6l-xe] g Dw:Z/1X` •构造光栅结构 s_=/p5\
−通过使用界面来配置光栅结构 b[^=GF>e
[用例] LvJ')HG
•分析光栅衍射效率 :%dIX}F
−光栅级次分析器[用例] ~h~K"GbC?
•使用参数运行搜索初始解决方案 s<I[)FQVr
−参数运行文档的使用[用例] /` 3^?zlu"
•通过参数优化找到最终设计 qIwI]ub~ sOJH$G3O VirtualLab Fusion技术 O ?8^I< 8+&] q#W3
 No)v&P% g& y R - 文件信息 gc:qqJi)X
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