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摘要 fT. GYvt` p2/Pj) 2 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (L3Etan4RE
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 Oe/\@f0bLT e(~9JP9 建模任务 (q]_&% yW _vV3A3|Ec,  34gC[ G= 光栅特性与参数的严格分析 Fb0r(vQ^ y9xvGr[l 不同光栅周期下的衍射效率 0mMoDJRy 4 ru-qF
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(rfR:[JkC2 关于光栅周期选择的考虑 _P{f+HxU
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−光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案 ^B)f!HtU
−参数运行文档的使用[用例] AU1U?En
•通过参数优化找到最终设计 \$4 [qG= Obf RwZh?q VirtualLab Fusion技术 IIG9&F$G ,v%' 2[}
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