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摘要 +aj^Cs1$ ^aHh{BQ% 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Wy.";/C
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U^7]B gApz:K[l 建模任务 `36N
n+A :/i~y $t  @mNJ=mEV 光栅特性与参数的严格分析 JjQV zkE RG&6FRoq 不同光栅周期下的衍射效率 [%?y( q \lW_f{ X)
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'in@9XO 关于光栅周期选择的考虑 Zih ?Bm
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 ;'^, ,{ N Bz%(? \ 通过参数优化进行光栅设计 s7"i.A Ihqs%;V 固定周期的2D参数优化 0;<OYbm3< JGgxAd{L
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 K}K)`bifw vI|As+`$d 2D参数优化–设计2 nvH|Ngg Q
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'F7VM?HBfg 制造公差分析–设计2 e T-9
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 mf2Mx=oy 8W,*eke? •构造光栅结构 Noz&noq
−通过使用界面来配置光栅结构 L[]BzsIv
[用例] |^ iA6)Q
•分析光栅衍射效率 _l T0H u
−光栅级次分析器[用例] O^N P0E
•使用参数运行搜索初始解决方案 )E-E0Hl>7
−参数运行文档的使用[用例] ;($1Z7j+
•通过参数优化找到最终设计 wv^b _DR zt?H~0$LB VirtualLab Fusion技术 ?0z)E PQ| (Fqa][0
 G#lg|# -# I.a0[E/, 文件信息 Hg whe=P k%Eh{dA uP6-cs  F`srE6H
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