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摘要 oq<# E3KPJ`=!*" 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &c@I4RV|q
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:^,qC IweQB} d 建模任务 q C|re!K %F/tbXy{  Y c5$915 光栅特性与参数的严格分析 AU$5" kBE J<zg 'Jk^ 不同光栅周期下的衍射效率 a+BA~|u^ 9hp 0wi@W}
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SoY&R= 关于光栅周期选择的考虑 2Uk8{d
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 ]9:G3vq m}E$6E^~O VirtualLab Fusion中的工作流程 -wt2ydzos
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 cG'Wh@ 9+']`=a: •构造光栅结构 $} Myj'`r
−通过使用界面来配置光栅结构 \ 4[Ta,;t
[用例] hd B[H8Q
•分析光栅衍射效率 F*=RP$sj
−光栅级次分析器[用例] 2 ^aTW`>L
•使用参数运行搜索初始解决方案 one>vi`=
−参数运行文档的使用[用例] Y(f-e,
•通过参数优化找到最终设计 >vU
Hf`4T IY&a! VirtualLab Fusion技术 qr 9 F %ab79RS]C
 _<7FR:oBZ ihVQ,Ct h 文件信息 mI%/k7:sf -Me\nu8(RF p3 o?_ !Z  ._Xtb,p{ wW4S@m
qu%s 7+ QQ：2987619807 ?+\,a+46P_
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