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摘要 |NuMDVd+s L[x`i'0B 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 w"v!+~/9 *%Rmdyn
!;eE7xn & $ln8Cpbca 建模任务 i"h\*B= J8qFdNK )2&3D"V 光栅特性与参数的严格分析 :C:6bDQ 8K,X3a9 不同光栅周期下的衍射效率 l=E86"m \N9=13W<lK
k =5k)}i {7o3wxsS 关于光栅周期选择的考虑 UxGu1a )9hqd
JOJ.79CT WXy8<?s 偏振相关的衍射特性 `HX:U3/ iXDG-_K
~CNB3r5R d4| )=
YnEyL2SuU #`VAw ) eV
]SQ+r*a ?()*"+N(ck 通过参数优化进行光栅设计 B[N]=V M~A#_%2U 固定周期的2D参数优化 q`9.@u@ a _4by3?<c
B!wN%>U 2D参数优化–设计1 $94lF~ B4y_{V
t<45[~[ 0~U#DTx0 2D参数优化–设计2 =-r"@2HBq Rw?w7?I
5i[O\@]5 LKM018H> 制造公差分析–设计2 |{#St-!-7 @Tu`0=8
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Nw"df=,{ sl$6Zv-l%0 VirtualLab Fusion中的工作流程 OeQ[-e N3u06
S)EF&S(TC jkk%zu •构造光栅结构 -b!?9T?} −通过使用界面来配置光栅结构 %Xc,l Y1? [用例] b$@I(.X: •分析光栅衍射效率 e)}E&D;${ −光栅级次分析器[用例] |>ztx}\ •使用参数运行搜索初始解决方案 rZgu`5<a −参数运行文档的使用[用例] -53c0g@X •通过参数优化找到最终设计 &b (* }1 O"?6 VirtualLab Fusion技术
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6w%n$tiX vAM1|,U 文件信息 LuZlGm !$NK7- 9wx]xg4l" &J/EBmY[ a<-aE4wdm ?l~qb]._ QQ:2987619807 >,,`7%Rv
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