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摘要 2R }9wDP P#e 1? 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )6K Q"*
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 i WCR 5c= ;F>$\"aG 建模任务 gz{~\0y #<_gY  UO3QwZ4j; 光栅特性与参数的严格分析 S"t6 *f Wr
D,cGW,2Nv 不同光栅周期下的衍射效率 LJ^n6 m|_ oW0A8_|9
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关于光栅周期选择的考虑 )8BGN'jyi
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F "J d!TLt\x 通过参数优化进行光栅设计 *t_"]v-w $!~R' N c 固定周期的2D参数优化 z ^e99dz +s N'Y/-
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 H@+1I?l kIC $ai6. VirtualLab Fusion中的工作流程 7P+qPcRaP
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 {;z{U;j >i6sJ)2?> •构造光栅结构 GnX+.uQL|
−通过使用界面来配置光栅结构 w^ AY= Fc
[用例] #8 Bs15aV
•分析光栅衍射效率 "aU)
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−光栅级次分析器[用例] 5Kadh2nz
•使用参数运行搜索初始解决方案 ,A$#gLyk<
−参数运行文档的使用[用例] G_vcuCHm
•通过参数优化找到最终设计 e_<'zH_1 PRdyc+bf VirtualLab Fusion技术 >,Z[IAU.x5 p)u?x)w=
 D(E3{\*R e9LP!"@EY 文件信息 P{bRRn4Z ^"\3dfzK M v>XAzA  H%nA"- As}e I!
*?JNh; QQ：2987619807 3R}O3#lj,
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