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摘要 ?ZTA3mV?+ }qGd*k0F0 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `!X8Cn
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 _$A ? S9 *68l 建模任务 0 {d)f1 F +5
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*pO`sC> 光栅特性与参数的严格分析 86KK Y2 nIOSP :'> 不同光栅周期下的衍射效率 S^1ZsD. [#aJ- Uu
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8fQfu'LyjY 关于光栅周期选择的考虑 I<W<;A
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 U$@}!X nql{k/6 通过参数优化进行光栅设计 s{c|J#s mxH63$R 固定周期的2D参数优化 Rc93Fb-Zp #xR=U"
 mDt!b6N/ 2D参数优化–设计1 =^zGn+@z
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 h0 x'QiCc QX a2qxTc 制造公差分析–设计2 /Aw@2 6
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 ]l=C iG4!M ]:n9MFv 变化光栅周期的3D参数优化 jMX+uYx M
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 rNm_w>bq jW^]N$> VirtualLab Fusion中的工作流程 ww+, GnV
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 Z BH^0 m.gv? •构造光栅结构 5+b73R3r
−通过使用界面来配置光栅结构 0a!|*Z
[用例] BEAY}P(y3
•分析光栅衍射效率 T`u
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−光栅级次分析器[用例] |NTqJ j
•使用参数运行搜索初始解决方案 wZ`*C
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−参数运行文档的使用[用例] szqR1A
•通过参数优化找到最终设计 w}97`.Kt!n DHvZ:)aT } VirtualLab Fusion技术 ?oV|.LM:W 5]kv1nQ
 E2=vLI] +sq_fd ;'D 文件信息 qd'Z|'j (BK_A {5 #g2&x sU  O sy _C<O (b1e!gJpy
SoFl]^l QQ：2987619807 u{sb^cmy
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