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摘要 MPnMLUB$\ 8Ckd.HKpQ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 tH; 6 Mp;f
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 JtSw bdN ?`Z:vqp>Z 建模任务 Q*Jb0 f 0=
bXL!]  1E!.E=Y ?M 光栅特性与参数的严格分析 I-8I/RRkmP 'wFhfZB1!B 不同光栅周期下的衍射效率 sK W~+ ] 4xT /8>v2|
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whe% o 关于光栅周期选择的考虑 4E=QO!pVv
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 1F>8#+B/W ye(av&Hn 偏振相关的衍射特性 Iu0GOy*[ ;=@O.iF;H
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 4 5wqX h MV3K'<Y 通过参数优化进行光栅设计 kLF3s#k j0oto6z~b 固定周期的2D参数优化 3%Q<K=jy euV!U}Xr
 q;QasAQS`p 2D参数优化–设计1 J"h2"$v,
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 ]X7_ji(l, QT F1~A\ VirtualLab Fusion中的工作流程 ~ [/jk !G
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s| *+[ ]fh(b)8_, •构造光栅结构 bM_fuy55Op
−通过使用界面来配置光栅结构 5i{J0/'Xu)
[用例] c>c4IQ&d
•分析光栅衍射效率 zA|lbJz=GY
−光栅级次分析器[用例] YsiH=x
•使用参数运行搜索初始解决方案 ;InMgo,
−参数运行文档的使用[用例] pcOKC 0b.
•通过参数优化找到最终设计 ['>r tV A=ez,87 VirtualLab Fusion技术 1W0[|Hf2v* Yc)Dx3
 ?qHQ#0 @y] ;sUvY* Bcm 文件信息 %0vsm+XQ0E 41.xi 9V2 (?7}\B\  =SW <Vhtb jC >mDnX
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+d+^ QQ：2987619807 m,6u+Z ,
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