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摘要 REUWK#> j/`-x 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 pXf!8X&y ZqT?7 |i
e6f:@ O? 2A7g}V 建模任务 ^-?5=\`5 C` ?6`$Y dznHR6x 光栅特性与参数的严格分析 47>IT DG,CL8bv 不同光栅周期下的衍射效率 -\6nT'P \g<9_
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j@pKm 9v>BP`Mg 关于光栅周期选择的考虑 eYZ{mo7 '2mR;APz
35I y\ 2c`m8EaJ 偏振相关的衍射特性 VN`T:!& p?(w! O
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< 通过参数优化进行光栅设计 [SGt ~bRJ 9s\(yC8h 固定周期的2D参数优化 1-[~} #RAez:BI
09z%y[z 2D参数优化–设计1 *)0bifw$& -;pZC}Nd3
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%gj's-!! l%"[857 制造公差分析 b]S4\BBT 6J. [9#
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7U^pT VirtualLab Fusion中的工作流程 }#~@HM>6Z 0CXh|AU
jP'.a. ^o$ @k+Z?Hp •构造光栅结构 &_X6m0z −通过使用界面来配置光栅结构 T&Dt;CSF [用例] q~*3Bk~ •分析光栅衍射效率 9y=$|"<( −光栅级次分析器[用例] Mazjn?f •使用参数运行搜索初始解决方案 BLxtS −参数运行文档的使用[用例] Z9-HQ5> •通过参数优化找到最终设计 zTi%j$o W[S4s/)mg VirtualLab Fusion技术 tBEZ4 W>67 >XzCHtEP
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&aH b|U48j1A 文件信息 "0Xa?z8" gb
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