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摘要 =\?KC)F*e d?*=<w!A 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 zN {'@B
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 *K'(t Y|g8xkI}XB 建模任务 0S; H`w_S ; 7[5%xM  CbA! 光栅特性与参数的严格分析 {d(@o!;Fi &mKtW$K` q 不同光栅周期下的衍射效率 kc\ ^xq~ ;zI Ah[z
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:e`;["(, 关于光栅周期选择的考虑 P|_>M SO1'
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~*#wE •构造光栅结构 #@FMH*?xX6
−通过使用界面来配置光栅结构 OGW,[k= 2{
[用例] vy&'A$ H
•分析光栅衍射效率 @yp#k>
−光栅级次分析器[用例] #t
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•使用参数运行搜索初始解决方案 n@|5PI"bx
−参数运行文档的使用[用例] 0z &]imU
•通过参数优化找到最终设计 3,`I\>No O*0%AjT6 VirtualLab Fusion技术 pGz 5!d )E9[=4+*C$
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