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摘要 ~xpU<Pd* ~mx me6"v 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 k!b\qS~Q
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/u v- J*PB.0p 建模任务 (m4`l_ g8
,V( ^  *fso6j#% 光栅特性与参数的严格分析 8i=J(5= 4<)%Esyb 不同光栅周期下的衍射效率 +^YXqOXU t&^9o $
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`Lb^!6 `) 关于光栅周期选择的考虑 *x2+sgSf_0
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 q3adhY9|)0 lcHw Kd 偏振相关的衍射特性 la>:%SD A&rk5y;
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 B> *zQb2: Vrz x;V% 通过参数优化进行光栅设计 j+"i$ln+s S:4'k^E 固定周期的2D参数优化 T_|%n F-+ wv>*g:El'
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 5SPhdpIg@[ l?Vm/YXb VirtualLab Fusion中的工作流程 (?R;u>
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 A/V"&H[ "~ - H]9 •构造光栅结构 &AM<H}>
−通过使用界面来配置光栅结构 afrU>#+"
[用例] @a-u_|3q
•分析光栅衍射效率 zj:=
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−光栅级次分析器[用例] z{XN1'/V
•使用参数运行搜索初始解决方案 "c5C0 pK0
−参数运行文档的使用[用例] -} avH
•通过参数优化找到最终设计 ETU.v*HT] x?s5vx AKf VirtualLab Fusion技术 n[DQ5l {6H%4n
 GZJIIP# -+MGs]), 文件信息 qYpuo
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