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摘要 5UK}AkEe&x qM3(OvCt 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @q@I(%_` {S@,
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DM\pi9<m fmLDufx 建模任务 7[R`52pP ).Iifu|ks }y(cv}8Y 光栅特性与参数的严格分析 r9D
68*H 0dD.xuor 不同光栅周期下的衍射效率 fNyXDCl +OSSgY$
W~l.feW$i Go]y{9+(7 关于光栅周期选择的考虑 l6MBnvi .~^A!t
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IRv/[|"L 7kMO);pO 通过参数优化进行光栅设计 wjOJn] z'gJy 固定周期的2D参数优化 V9>$M= $HRl:KDdP~
T=g2gmo9 2D参数优化–设计1 5pff}Ru` dn_l#$ U
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,OMdLXr fK^;?4 VirtualLab Fusion中的工作流程 P_.AqEH hSj@<#b>F
S++jwP W*u$e8i7 •构造光栅结构 $+U6c~^^ −通过使用界面来配置光栅结构 +h1X-K:I [用例] -x!JTx[K •分析光栅衍射效率 {?}^HW9{ −光栅级次分析器[用例] z)u\(W*\iA •使用参数运行搜索初始解决方案 xd+aO=)Td −参数运行文档的使用[用例] *(Z\"o! •通过参数优化找到最终设计 AU8sU?= q{xF7}i VirtualLab Fusion技术 "9NWsy}<c {=MRJg!U
jK{qw M>{*PHze0 文件信息 D]WrPWL8v :8A@4vMS)? Uu9I;q!| qv<^%7gq DjvPeX ^SIA%S3 QQ:2987619807 (543`dqAmC
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