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摘要 x0+glQrNN }DIF%}UK\ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 r/r:oX K
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建模任务 \ V%_h l 8tc*.H{^+  /L~m#HxWU 光栅特性与参数的严格分析 4ke^*g
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−通过使用界面来配置光栅结构 hqW$k w
[用例] r)B3es&&
•分析光栅衍射效率 Vy;_GfT$
−光栅级次分析器[用例] e _.~n<=
•使用参数运行搜索初始解决方案 x[Q&k[xV
−参数运行文档的使用[用例] uUS)#qM |
•通过参数优化找到最终设计 </ZHa:=7 shK &2Noan VirtualLab Fusion技术 X;]3$\F aBlbg3 q
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