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摘要 vg(K$o{BT (q~0XE/ a 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?/d!R]3
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 W-D[z#)/Y e<5Y94YE 建模任务 o .^y1mH' y r{B5z,  xR908 +>5 光栅特性与参数的严格分析 a)9rs\Is{ ]a/'6GbR 不同光栅周期下的衍射效率 R2LK.bTVn F _ljx
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XP;x@I#l 关于光栅周期选择的考虑 ]US[5)EL-
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 A1A3~9HuK o~C('1Fd b 偏振相关的衍射特性 70Ka! E*|tOj9`1n
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 T=\!2gt j|K.i/ 通过参数优化进行光栅设计 *^h_z;{, HomN/wKh 固定周期的2D参数优化 >V!LitdJ &1Fply7(Ay
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 p`>d7S>" V5 MO} •构造光栅结构 [7\> "v6
−通过使用界面来配置光栅结构 f a5]a
[用例] oR %agvc^^
•分析光栅衍射效率 =nhzMU9c\y
−光栅级次分析器[用例] b5 Q NEi
•使用参数运行搜索初始解决方案 nj2gs,k
−参数运行文档的使用[用例] ULl_\5s2
•通过参数优化找到最终设计 iBvOJs I; j3*lV_ VirtualLab Fusion技术 gdi`x|0 - L~Uu^o
 Qpu3(`d< m6U8)!)T 文件信息 ~A >o O-0K frH)_ YJ% hC>wFC  dDlG!F_= )Au&kd-W@(
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