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摘要 "}\2zub9 O*z x{a6 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Q0gO1T bS&'oWy*B
(gNI6;P;} }kT;UdIu; 建模任务 @?aNvWeavH k!xi
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;A$ 光栅特性与参数的严格分析 }[!;c+ke .Y&_k 不同光栅周期下的衍射效率 .Ap[C? mV 7\"-<z;kK
l'W?X ' x~$P.X7(~ 关于光栅周期选择的考虑 $sU?VA'h ";`ddN3
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GL@s~_;T6 RL~\/# 通过参数优化进行光栅设计 (8GJLs 8 IQGIU3O 固定周期的2D参数优化 E5jK}1t4V jS5e"LMIq
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01H3@0Q6 *#N%3:@T 制造公差分析–设计2 ~SV;"e2N. S^I38gJd
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Jfo|/JQ hh+GW*'~ VirtualLab Fusion中的工作流程 %04>R'mN "N4c>2Q
nqgfAQsE) F:hJ^:BP •构造光栅结构
pm5Yc@D −通过使用界面来配置光栅结构 $T;3*D 90 [用例] 1?7QS\`)fB •分析光栅衍射效率 `'0opoQRe −光栅级次分析器[用例] @{+*ea7M(` •使用参数运行搜索初始解决方案 Y8\Ms^rz −参数运行文档的使用[用例] 0AR4/5. •通过参数优化找到最终设计 A
javV Cgq9~U ! VirtualLab Fusion技术 MAJvjgd.. p7.@ez ;
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