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摘要 n w_s : J *38GX+ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 T 2_iH=u
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 GFju:8P? TZGk[u^* 建模任务 p5% %k- sW B@'P:x  d]:G#<. 光栅特性与参数的严格分析 ,Xr`tQ< @ 9dm <(I} 不同光栅周期下的衍射效率 H_Xk;fM ^;F5ymb3U
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Bl^ BtE?-b 关于光栅周期选择的考虑 8I Ip,#%v
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 2H0BNr YM s;=C&N5g VirtualLab Fusion中的工作流程 D6l. x]K
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 F?05+ Kop(+]Q&n •构造光栅结构 uwr7 .\ 7
−通过使用界面来配置光栅结构 deVn Au =
[用例] 3fB]uq+eD%
•分析光栅衍射效率 >`SeX:
−光栅级次分析器[用例] 4#7*B yvf
•使用参数运行搜索初始解决方案 <Z<meB[g
−参数运行文档的使用[用例] h.F=Fhx/1
•通过参数优化找到最终设计 )7 .DF|A P\<:.8@$S VirtualLab Fusion技术 Ox&G
[ i%i />;DF
 M@<9/x PS vNrn]v=|}7 文件信息 R LMn&j|?e X-kOp9/. qP<D9k>  4oueLT(zc {\%I;2X
`>`b;A4 QQ：2987619807 ^V#,iO9.-
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