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摘要 47 RY pd /'1y`j< 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 wI4;/w> /OP*ARoC21
yRYWx` G V!P3CNK 建模任务 [1*/lt|+p *p3P\ H^5 mQs$7t[>t 光栅特性与参数的严格分析 (*ng$zZ$ OGFKc# 不同光栅周期下的衍射效率 LC{hoq\ sV<4^n7
Fjzk;o FT;JYkO 关于光栅周期选择的考虑 k~#|8eLv :/NN=3e
3~Ln:4[6ID `k&K"jA7$ 偏振相关的衍射特性 qJA.+q.e$e 8:% R|b
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YZl%JX ^rwSbM$ 通过参数优化进行光栅设计 e_], O_Z
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?MM3LA! < Fz&ilB 制造公差分析–设计2 <UJJ],)^1A v4_OUA>z,
T''+zk wG5RN;`V 变化光栅周期的3D参数优化 k{jw%a<Sc c)MR+'d\WO
2nkj;x{H$ ~[TKVjyO 制造公差分析 VtiqAh}4 ;J-Ogt @d7
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@O}j:b 6bKO;^0 VirtualLab Fusion中的工作流程 Hu8atlpo *}ee"eHs
N5s|a5 IXvz&4VD •构造光栅结构 A;-z#R#V5 −通过使用界面来配置光栅结构 /lB0>Us [用例] )]>G,.9C} •分析光栅衍射效率 <ytKf<a%e −光栅级次分析器[用例] >Y-TwDaE •使用参数运行搜索初始解决方案 c48J!,jCd' −参数运行文档的使用[用例] Pgw%SMEp •通过参数优化找到最终设计 8V|jL?a~ BX(d"z b< VirtualLab Fusion技术 \1mM5r~ yC0f/O
{L4>2rF }
ndvV~*1 文件信息 GGc_9?h L\Fu']l Fy@#r+PgWp b^,Mw8KsO =HV-8C] _lPl)8k QQ:2987619807 8#]7`o
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