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摘要 M[@).4h =H3 JRRS 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 j+w*Absh D />REC^
bu,Z' Vv0dBFe 建模任务 &ZClv"6 |:L<Ko f[!N]* 光栅特性与参数的严格分析 %}x/fq W2qW`Ujo{ 不同光栅周期下的衍射效率 j'#W)dp( ]?/[& PP,
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RN 关于光栅周期选择的考虑 o_vK4%y( O>lF{yO0`
H&6lQ30/) z2A7:[ 偏振相关的衍射特性 w J/k\ n$F&gx'^
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]SFB_5Gb %j^[%&pT 通过参数优化进行光栅设计 #3f\,4K5 # G0jMQ 固定周期的2D参数优化 r>eOq[z 'dDd9
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\h~;n)FI N1jj\.nB VirtualLab Fusion中的工作流程 -5l74f!i ?_3K]i1IS
w&8gA[y*u 3ybEQp9 •构造光栅结构 =5a~xlBjD −通过使用界面来配置光栅结构 x>8=CiUE [用例] MM"{ehd{^a •分析光栅衍射效率 ExqI=k`Zs −光栅级次分析器[用例] zjs@7LN •使用参数运行搜索初始解决方案 H,9e<x#own −参数运行文档的使用[用例] Af pB=3 •通过参数优化找到最终设计 +e. bO5Y d nWh}! VirtualLab Fusion技术 @]":3 r3<yG"J86
~Aq;g$IJZ |d?0ZA:z 文件信息 8
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