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摘要 w5w,jD[ V}o`9R@tx} 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (-viP
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 ]1h W/ ! jT>G8}h 建模任务 d(9ZopJrQ 3oc p4x`[  AI0YK" c? 光栅特性与参数的严格分析 (3~h)va J }W^%5o87{ 不同光栅周期下的衍射效率 ],#Xa.r u0 myB/`
A[:0?Ez=
' c7C*6;a 关于光栅周期选择的考虑 ICA p
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 p5`iq~e9 yuIy?K 偏振相关的衍射特性 #t
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 )E9[=4+*C$ 'u@,,FFz[K 通过参数优化进行光栅设计 IAyyR l\ O|%03q( 固定周期的2D参数优化 wW &q)WOi : E A-L
 !r\u,l^ 2D参数优化–设计1 9o%k [n
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 Td,2.YMQ [B~*88T 制造公差分析–设计2 7v 'aw"~
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 y{>T['"@ } H#C<:A 走进VirtualLab Fusion 3+[;
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E VirtualLab Fusion中的工作流程 wjtFZGx&
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 Z.}Z2K ^%5 ;Sc1V •构造光栅结构 pTB1 I3=.u
−通过使用界面来配置光栅结构 -%fc)y&$
[用例] /,d]`N!
•分析光栅衍射效率 B,V:Qs6"
−光栅级次分析器[用例] d9iVuw0u<
•使用参数运行搜索初始解决方案 a``/x_EZMn
−参数运行文档的使用[用例] Y{K N:|i.!
•通过参数优化找到最终设计 B_DyH
C\< .R^R32ln VirtualLab Fusion技术 ` }:pUf D`'h8:\
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_M 文件信息 C>A} e6o *j~ObE_y DX0#q #  5Vc~yMz c( _R
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b{BiC &3 QQ：2987619807 \E
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