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摘要 o=?sM q1< m8H|cQ@Uu 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 y]9
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 >3s9vdUp4h r<c yxR~ •构造光栅结构 ZdeRLX
−通过使用界面来配置光栅结构 n^'ip{
[用例] rBa <s
•分析光栅衍射效率 p{xO+Nx1a
−光栅级次分析器[用例] ]Gm,sp.x
•使用参数运行搜索初始解决方案 [[P?T^KT
−参数运行文档的使用[用例] z"bgtlfb8
•通过参数优化找到最终设计 [tym~ZZ]_m j!GJ$yd=-6 VirtualLab Fusion技术 hc2[,Hju{O v' .:?9
 eG9t n{ Q]Q i 文件信息 Brr{iBz*" \NKf$"x} 5 :6^533]  R8P7JY[ h G<OC99;8
"{105&c\ QQ：2987619807 wX@&Qv
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