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摘要 '{+hti,Lh ZU@V]+ww 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3{c&%F~!
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 ]':C~ -RV{ j xoEOEA 建模任务 ze ua`jQ -Kc-eU- &q  *o>E{ 光栅特性与参数的严格分析 h] =chz z^b\hR 不同光栅周期下的衍射效率 FE5R
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关于光栅周期选择的考虑 "u laF+
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 nph{ Wu}Co 偏振相关的衍射特性 iKK=A.g K)v(Z"
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 U-k;kmaj B8nXW i 通过参数优化进行光栅设计 f>'7~69 "2h#i nS 固定周期的2D参数优化 2KG j !w ZD<,h`
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 3 x'30 T/K.'92S •构造光栅结构 X=hgLK^3<,
−通过使用界面来配置光栅结构 !vB%Q$!x
[用例] BuYDw*.
•分析光栅衍射效率 Fv: %"P^
−光栅级次分析器[用例] d3$<|mG$
•使用参数运行搜索初始解决方案 yI%>
w4Z
−参数运行文档的使用[用例] \XN5))
•通过参数优化找到最终设计 Pjy?&;GvT [vi4,'wm VirtualLab Fusion技术 >R: +ml (w- u"1&
 K4y YNlY 5 Qe Gx3' 文件信息 Jv<)/Km` q+z\Y? </Id' ;|v  pd1m/: )eEvyU
{|gJC>f@ QQ：2987619807 . g#=~{A
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