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摘要 bW gRGJqt JIiS/]KQ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 F| jl=i
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 5OCt Q4u \RqH"HqD 建模任务 t6uYFxE Jmuyd\?,b  q|{ z9V< 光栅特性与参数的严格分析 BCfmnE4% n:[@#xs- 不同光栅周期下的衍射效率 $cW t^B ' _\.4ofK(
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jF-:e;- 关于光栅周期选择的考虑 efN scgi
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 o">~Ob R ' #yqw% VirtualLab Fusion中的工作流程 4Z>gK (
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 m I5J] hk \i/HHP[ % •构造光栅结构 4BUG\~eI3
−通过使用界面来配置光栅结构 }LC m_av
[用例] !qp$Xtf+
•分析光栅衍射效率 9t U"+
−光栅级次分析器[用例] :'B(DzUR
•使用参数运行搜索初始解决方案 _7\`xU
−参数运行文档的使用[用例] $cK}Tl q
•通过参数优化找到最终设计 P))BS M 9-Q VirtualLab Fusion技术 'iF%mnJ Pc*lHo VL
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CV\^gTPmx QQ：2987619807 AwXzI;F^
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