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摘要 o/{`\4 6e ?xu8| 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 rI$NNk'A P]Fb0X
|Hf|N$ :!aLa}`@ 建模任务 8jz>^.-o YiZk|K_ kY]"3a 光栅特性与参数的严格分析 H:DR?'yW ._rPM>B? 不同光栅周期下的衍射效率 ^%f8JoB EE"8s7ZF
p"0#G&- |=q~X}DA 关于光栅周期选择的考虑 };'@'
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s{^B98d+W 9Q9{>d#" 偏振相关的衍射特性 NJBSVCb }d.X2?
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`rn/H;r!Z R'gd/.[e 通过参数优化进行光栅设计 EDnNS Au2?f~#Fv 固定周期的2D参数优化 m7k }k) DdR0u0JH0
Z1fY' f 2D参数优化–设计1 V*n$$-5
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y VirtualLab Fusion中的工作流程 WVR/0l&bU (GF}c\=T7
{}s/p9F4 tMw65Xei6b •构造光栅结构 93*d:W8Vr −通过使用界面来配置光栅结构 g-K;J4 K% [用例] },d^y:m •分析光栅衍射效率 j4;^5
Dy^ −光栅级次分析器[用例] ?7fqWlB •使用参数运行搜索初始解决方案 ;U3:1hn −参数运行文档的使用[用例] C<_\{de|9 •通过参数优化找到最终设计 FO/cEu [~8U],?1 VirtualLab Fusion技术 (9`dLw5 Z}t;:yhR
[2,D] e H5 z1_O_+ 文件信息 S`vt\g$ dN fNLO%\G~2 |mKohV qr <( OHX3~ 7RDmvWd-'? x1Gx9z9 QQ:2987619807 -F?97&G$
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