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摘要 >_dx_<75& #`TgZKDg2 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 1"7Sy3 g]c[O*NTL
le +R16Z 5!YA o\S 建模任务 n<sd!xmqFx {rfF'@[ 2kAx>R 光栅特性与参数的严格分析 YJg,B\z} GZS1zTwBL 不同光栅周期下的衍射效率 h&.wo ! Pg9hW
d)cOhZy O%g$9-?F0 关于光栅周期选择的考虑 ^D^4
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b*a2,MiM S##1GOO 偏振相关的衍射特性 :@W.K5 *<N3_tx"
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Z b|Q)[ y] 通过参数优化进行光栅设计 o1&:ry CT0l!J~5m~ 固定周期的2D参数优化 0;S, tJg J q{7R
x!\ONF5$ 2D参数优化–设计1 o"wXIHUmV ReiB $y6
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@(P=Eh x21dku<6K[ 制造公差分析–设计2 %Qg+R26U 5es[Ph|K5
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n| GaV Ax !+P\\2~ VirtualLab Fusion中的工作流程 S+TOSjfis 4f(Kt,0
cYXM__ eZ"1gYqy •构造光栅结构 FU=w(< R; −通过使用界面来配置光栅结构 >0p$(>N] [用例] qfcYE= •分析光栅衍射效率 g$dsd^{O7 −光栅级次分析器[用例] 0]HYP;E"U •使用参数运行搜索初始解决方案 WyP W* −参数运行文档的使用[用例] [ sd;`xk •通过参数优化找到最终设计 {'16:dTJ }I`a`0/ VirtualLab Fusion技术 [r/k% < zhY+x<-
oD}uOC}FS{ ]Qm]I1P 文件信息 0Z{j>=$ czlFr|O; eT2*W$ s+:=I
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