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摘要 WI9.?(5q c%dy$mkqgK 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 %xruPWT:k
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pbl) 建模任务 :}z% N7T /%c^ i!=f"  QUDVsN# 光栅特性与参数的严格分析 00p 7sZU^ *X # e 不同光栅周期下的衍射效率 ._3NqE; MD)"r>k
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gV1*(< 关于光栅周期选择的考虑 1`t? 5|s>
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 lhl 0 :s '"u] •构造光栅结构 YO$b#
−通过使用界面来配置光栅结构 ?]D+H%3[$i
[用例] ]wpYxos
•分析光栅衍射效率 IQ=|Kj9h
−光栅级次分析器[用例] BJxm W's/
•使用参数运行搜索初始解决方案 G!Oq>7
−参数运行文档的使用[用例] AdOAh y2H
•通过参数优化找到最终设计 H)T# R? KH>sCEt VirtualLab Fusion技术 f^sb0nU Y~hd<8 ~
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)pt_"-XA k`mrRs 文件信息 B9)q v>m < VR&= YJ h;UdwmT  GdeR#% z N|d.!Q;V.y
u$,Wyi )L QQ：2987619807 ; :\,x
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