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摘要 z}z 6Vg d.3cd40Q 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M%(^GdI#Vf
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 W b{0UkApJ 4}xw&x 建模任务
bo|3sN+D iKM!>Fi  :}* 光栅特性与参数的严格分析 $s]vZ(H @ ^cR 不同光栅周期下的衍射效率 c$P68$FB OC=g 1
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,7h0y 关于光栅周期选择的考虑 bGtS! 'I
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 z3Zo64V~7 2D参数优化–设计1 g^:
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 UvR.?js(O ezb*tN! VirtualLab Fusion中的工作流程 3Fw7q"
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Rt>mAU$} •构造光栅结构 k+BY 3a
−通过使用界面来配置光栅结构 @jCMQYR
[用例] 4sq](! A
•分析光栅衍射效率 o3$dl`'
−光栅级次分析器[用例] {T -=&%||
•使用参数运行搜索初始解决方案 ,N1pw w?
−参数运行文档的使用[用例] !dq$qUl/
•通过参数优化找到最终设计 $0R5 ]]db) {)(Mkm +d VirtualLab Fusion技术 q P0UcG @ZRg9M:N
 Gz52^O : `S+n ,,l 文件信息 2@W`OW Njm EU7nS3K)O~ E W`3$J;  R"j<C13;% @/,0()* dL
~ mz X1[ QQ：2987619807 0V? 7 'Em
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