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摘要 I9:G9 9z| >ro Ne 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )F%wwc^r
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 D<_, >{$gW ;G4HMtL 建模任务 gq/ePSa 0XQ".:+h  r3c\;Ra7 光栅特性与参数的严格分析 sO{0hZkc v'
9( et 不同光栅周期下的衍射效率 }GoOE=rhY VeN&rjc
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]d f9'\ 关于光栅周期选择的考虑 {x&jh|f`g
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 e&H<lT - ;@5Ua1uf 通过参数优化进行光栅设计 YzhN |!;!k W3 o }.|] 固定周期的2D参数优化 U3_yE vZ uG(~m_7Hx
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 { Jw<<<G d'AviW> 制造公差分析–设计2 g]iy -,e
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 <R~~yW:H AXU!-er$ VirtualLab Fusion中的工作流程 ^cmP
FvI0 J
 H yX4ob[X t!=~5YgKs •构造光栅结构 | 7'yk__m
−通过使用界面来配置光栅结构 oIL+@}u7
[用例] $Z7|t
•分析光栅衍射效率 +} ! F(c
−光栅级次分析器[用例] z Wmo
OnK
•使用参数运行搜索初始解决方案 l3 pW{p
−参数运行文档的使用[用例] q/2K=BOh
•通过参数优化找到最终设计 !K^kKP*l ;AL @<,8 VirtualLab Fusion技术 7si*%><X x+:,b~Skk
 |7Xpb K<7T}XzU$ 文件信息 VF!kr1 n! Lc: SqF %qjyk=z+Z  vkd<l& zD pffw5 Tc
5wFS.!xD QQ：2987619807 >*i8RqU
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