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摘要 4I[g{S
nF kdWk{ZT^ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 05<MsxB"w -9 AI@^q
y?|JBf *d,u)l :S 建模任务 FL5tIfV+ L;},1
\ }tIIA"dZ 光栅特性与参数的严格分析 d45JT?qg& O1nfz> L` 不同光栅周期下的衍射效率 ,UdTUw~F IEB|Y
d.7pc
P P2nb&lVdu 关于光栅周期选择的考虑 . <|7BHL 4g.y$
T/V 5pYl Xegg2.Kk 偏振相关的衍射特性 (wNL,<%~ F:8cd^d~u
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_fH.#C %#rH~E 通过参数优化进行光栅设计 =NH
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>07 固定周期的2D参数优化 i0($@6Lh S-"OfWg<
pI>i1f=W 2D参数优化–设计1 #:v e3gWl 0R,?$qM\
k,xY\r$ !\a'GO[ 2D参数优化–设计2 Cwxy~.mI F6gboo)SD
RZ!-,|"cwL ]@W.5!5H 制造公差分析–设计2 AepAlnI@ JDi|]JY
qV$\.T>x a _YE[6 变化光栅周期的3D参数优化 ~+{OSx<S .0:twj
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}vkrWy^ `}ak;^Me •构造光栅结构 Kc+;"4/#q −通过使用界面来配置光栅结构 <@9p|[! [用例] 3jIi$X06 •分析光栅衍射效率 "VxZnT −光栅级次分析器[用例] g&y'#,'Q~, •使用参数运行搜索初始解决方案 (MiEXU~v −参数运行文档的使用[用例] P SDzs\s •通过参数优化找到最终设计 KH)(xB= 7@u0;5p| VirtualLab Fusion技术 O1pBr=+j+{ pOlo_na}[
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