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摘要 r")=Z1y o"QpV
>x 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 kc/h]B v%86JUlK.
1pO ;aG1O o.}^6.h" 建模任务 5\EHu8 bKG:_mWe w QF[9Zn 光栅特性与参数的严格分析 5
BcuLRId: YM+}Mmu 不同光栅周期下的衍射效率 ~iF*+\ gh i!4
%aL>n=$ #BlH)Cv 关于光栅周期选择的考虑 +<bq@.x .'D+De&y
sy/J+== [J-r*t"! 偏振相关的衍射特性 Yg2z=&p-{" vk;>#yoox
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a,&Kvh z?1GJ8 通过参数优化进行光栅设计 R%3H"FU9w .9nsW? 固定周期的2D参数优化 =p&6A^ 8a.
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gY*Cl1 Iz 2D参数优化–设计1 Ldir'FW e/@udau
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~R!(%j ] *;"^b\f5_ 制造公差分析–设计2 Hvor{o5|tB )m5<gp `
pklcRrx,a mn0QVkb}lc 变化光栅周期的3D参数优化 iP'}eQn]c #)cRD#0
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mn S$muV9z2= 制造公差分析 y7,~7f!N2 jGt'S{
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j 走进VirtualLab Fusion e$F7wto {"{J*QH
/xsa-F A=h`Z^8\B VirtualLab Fusion中的工作流程 B(^fM!_%-6 NG5H?hVN=
3P-#NL 2px5>4< •构造光栅结构
QW6k!ms$ −通过使用界面来配置光栅结构 unD8h=Z2 [用例] /hI#6k8o_ •分析光栅衍射效率 *jA%.F −光栅级次分析器[用例] ZMx_J •使用参数运行搜索初始解决方案 (W@
ypK@ −参数运行文档的使用[用例] =WDf [?ED •通过参数优化找到最终设计 ch :428 g`J? 2
_] VirtualLab Fusion技术 cpE&Fba}" }[i35f[w
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