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摘要 c@eQSy *Sd}cD CO% 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8i
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 }u3Q*oAGl I_?+;<n 建模任务 6]%SSq& Z<P?P`  m`;dFL7"E 光栅特性与参数的严格分析 c0 I;8z`b /nPNHO>U 不同光栅周期下的衍射效率 DGc5Lol~ MNuBZnO
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 1$S`> M%a ) JXlPU •构造光栅结构 ])9|j
−通过使用界面来配置光栅结构 Qn!KL0 w
[用例] Q`zW[Y&]
•分析光栅衍射效率 WNK)IC~c
−光栅级次分析器[用例] }Y&|v q
•使用参数运行搜索初始解决方案 Q3'L\_1L
−参数运行文档的使用[用例] OnND(YiX
•通过参数优化找到最终设计 jr2wK?LbB >mW*K _~ VirtualLab Fusion技术 G6XDPr:} 2]V&]s8Wi=
 MC~<jJ, ?m\?
# 文件信息 2DX V~> x>Gx yVE v/GZBy co>  z5 g4+y, yt {?+|tXU
>|rU*+I` QQ：2987619807 g kFw=Cd
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