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摘要 _mqU:?Q5 oLoc jj~T 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4!/QB6
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 1?.CXq K S( PV*e8 建模任务 NZ1B#PG,c E>_Rsw *  b\"F6TF: 光栅特性与参数的严格分析 (u 7Lh>6% O!"K'Bm 不同光栅周期下的衍射效率 ^Gd1 T LaJvPOQ
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@}q, ';H7 关于光栅周期选择的考虑 Pl B3"{}0Q
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 4#(/{6J D|5mNX %e 偏振相关的衍射特性 AZ!/{1 Az uj3`M9
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 4 ?BQ&d g"/n95k< 通过参数优化进行光栅设计 E{V?[HcWq 51ViJ dZ 固定周期的2D参数优化 bhUE!h< V=ll 9M
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 5%D` y| 3z0 Bg •构造光栅结构 \:h7,[e
−通过使用界面来配置光栅结构 %rB,Gl:)g
[用例] O$z"`' &j#
•分析光栅衍射效率 \X
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−光栅级次分析器[用例] ;ZB=@@l (
•使用参数运行搜索初始解决方案 D vhF CA}z
−参数运行文档的使用[用例] f IV"U
•通过参数优化找到最终设计 UZ/LR G!`%.tH VirtualLab Fusion技术 HCr}|DxyK n$ByTmKxv
 `/1rZ# Y AR$6& 文件信息 #_\**%,< 6MOwn*%5k h<3bv&oI .  |j"C52Q VXCB.C"
V@+sNM QQ：2987619807 oBmv^=cH
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