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摘要 2a*1q#MpAt A` u04Lm7 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 AF
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 M0o=bYI (omdmT%D 建模任务 Rf 2/[ 'ntb.S)  q ,d]i/T 光栅特性与参数的严格分析 rBs7,h Tp~yn 不同光栅周期下的衍射效率 (]j*)~=V S6 }_Z
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s9'g'O5 关于光栅周期选择的考虑 fT._Os?i
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•构造光栅结构 DvOg|XUU0
−通过使用界面来配置光栅结构 G# @<bg3
[用例] T82=R@7
•分析光栅衍射效率 dJ24J+9}]j
−光栅级次分析器[用例] _IlL'c5
•使用参数运行搜索初始解决方案 {7/6~\'/@
−参数运行文档的使用[用例] ) ]~HjA;
•通过参数优化找到最终设计 ;prp6(c G$@X>)2N8 VirtualLab Fusion技术 T}!7LNE 3J,/bgL5
 # UWQ (+F |um)vlN;9 文件信息 ["L?t ^*G *;gi52tM Ue,"CQ6H  V;:A& HKxrBQr78
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