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摘要 H>.B99vp |6%.VY2b 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 i&A%"lOI9 Tw//!rpG
!qA8Zky_ X2gz6|WJ 建模任务 }~Q5Y3]#~ noC?k }M +yWR#[`n 光栅特性与参数的严格分析 o 7G> y#Y 8.?E[~ 不同光栅周期下的衍射效率 6^;^rUlm m"Qq{p|'
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-4flV D 关于光栅周期选择的考虑 nLy#|C [9V]On
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c.C 偏振相关的衍射特性 B,_`btJh .+E#q&=
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.0|=[| =x0No*#|' 通过参数优化进行光栅设计 sS!w}o2X \dq!q=b\ 固定周期的2D参数优化 5)'P'kVi7. 5+P@sD
Sdd9Dv?! 2D参数优化–设计1 XoR>H4xh 7byCc_,
hazq#J! Z0ReWrl;` 2D参数优化–设计2 ['[KR
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o>c^aRZ{ dTGA5c 制造公差分析–设计2 (9$"#o Ht[{ryTxu
Dag`>|my ;GsQR+en 变化光栅周期的3D参数优化 ALGgAX3t -2i\G .,J
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3fJ7 制造公差分析 b |7ja_ lIf(6nm@
<7n]Ai@Y 8)xt(~qF 走进VirtualLab Fusion otr>3a*' pCU*@c!
.Q>!B?) ]Kdet"+ VirtualLab Fusion中的工作流程 Vq ^]s$' :reTJQwr
vR>o}%` 9z ?7{2C •构造光栅结构 . L;@=Yg) −通过使用界面来配置光栅结构 ;sPzOS9 [用例] *'R#4@wmP •分析光栅衍射效率 M>l^%` −光栅级次分析器[用例] [!"XcFY:a •使用参数运行搜索初始解决方案 J]pa4C` −参数运行文档的使用[用例] }
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p •通过参数优化找到最终设计 SKXD^OH .q;ED`G VirtualLab Fusion技术 ^O6*e]C$ AQ{zx1^2>K
xxa} YIe8 Llz['"m 文件信息
=P^wh Xl%0/o cHD%{xlb M{N(~ql K7`YJp`i . (`3JQ2s QQ:2987619807 y79qwM.
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