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摘要 3#c0p790 DYL \= ya1 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 A)o%\j
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2 光栅特性与参数的严格分析 0 [SrRpD N< 7 不同光栅周期下的衍射效率 14rX:z 17;qJ_T)
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 !`F^LXGA ;Q} H'Wg, •构造光栅结构
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−通过使用界面来配置光栅结构 `T;Y%"X!
[用例] esVZ2_eL
•分析光栅衍射效率 -6u#:pVpU
−光栅级次分析器[用例] bkfk9P
•使用参数运行搜索初始解决方案 SR\F2@u
−参数运行文档的使用[用例] 9K` uGu
•通过参数优化找到最终设计 ngHPOI16 Nt#a_ VirtualLab Fusion技术 nzK"eNDN. gELb(Y\ak
 'uOzC"_yF 86,$ I+ 文件信息 !%{s[eO\ 3V`.< Z w&_ Wt  pe1 _E
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1 9t' QQ：2987619807 qW6}^aa
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