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摘要 2-E71-J wpdE I( 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 vK.4JOlRF
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 w%o4MFK=! NdSxWrD`m 建模任务 O +o%C*`K WJSHLy<a  Z8dN0AqZ 光栅特性与参数的严格分析 /GSI.tO ihBl",l&Hq 不同光栅周期下的衍射效率 _T N$c 'TN{8~Gt*
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D_ZBx+/_? 关于光栅周期选择的考虑 muX4 Y1M_
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 yoY)6c n@ Mjvso0zj 偏振相关的衍射特性 [;#.D H] 4"X>_Nt6
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 /~rO2]rZ@ 0?Wf\7 通过参数优化进行光栅设计 i|,A1c"* 0o=)&%G 固定周期的2D参数优化 :lQjy@J FuiW\ =^
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 c@B%`6kF .u;TeP VirtualLab Fusion中的工作流程 K y 2xWd8
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 t -(7Q8( HbSx}bM_9 •构造光栅结构 /)4r2 x
−通过使用界面来配置光栅结构 3&Rqz9 W
[用例] SfF R
•分析光栅衍射效率 ]b| @<E7Y
−光栅级次分析器[用例] 3i}B\
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•使用参数运行搜索初始解决方案 :Qp/3(g e
−参数运行文档的使用[用例] oP75|p
•通过参数优化找到最终设计 TC#B^m`'p 1CVaGD^r{ VirtualLab Fusion技术
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