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摘要 0=Mu|G|Z 2C"[0*.[N 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *5d6Q K410.o/=-
9N V.<&~ #9CLIYJAd 建模任务 =gQ^,x0R9 ,f^ICM #VynADPs`o 光栅特性与参数的严格分析 L=wpZ`@
y B\Uocn 不同光栅周期下的衍射效率 LZ<^b6Dxk FP>.@ Y
}) Zcw1g (Fs{~4T 关于光栅周期选择的考虑 s"B+),Jod 66-G)+4
jzd)jJ0M jH?!\F2)+ 偏振相关的衍射特性 "? ON0u9 z#^;'nnw
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2(H-q( OZ,Xu&N
xq<X:\O s"B2Whe 通过参数优化进行光栅设计 DIF-%X5 ~}RfepM 固定周期的2D参数优化 R'Uf#. FwUgMR*xq
OxqkpK& 2D参数优化–设计1 k8 z1AP Bu"5NB
58P[EMhL (!%9# 2D参数优化–设计2 IR|#]en o>\o=%D.a
B}0!b7! OJ r~iUr 制造公差分析–设计2 SM\qd4 `G`yA%
z]R%'LGu '9!J' [W 变化光栅周期的3D参数优化 ||4T*B06 *USG
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ZlP+t> EYA=fU 制造公差分析 U1O8u -X ?NR&3q
9_fbl:qk;\ **JBZ \' 走进VirtualLab Fusion Lg{M<Q)4
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xZA.<Yd^r u9fJ:a VirtualLab Fusion中的工作流程 Z@}qL1 ps UT2
< n/ 2 </2 aQn •构造光栅结构 Ub/ZzAwq −通过使用界面来配置光栅结构 1!NrndJ I [用例] Whe-()pG{ •分析光栅衍射效率 aK/fZ$Qc −光栅级次分析器[用例] o59b#9 •使用参数运行搜索初始解决方案 FLXn%/ −参数运行文档的使用[用例] kpXxg: c •通过参数优化找到最终设计 )D ~ 5 w[C*w\A\M VirtualLab Fusion技术 3g3f87[ 2T(7V[C%9
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