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摘要 ];LFv5" d(o=)!p 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 #dj?^n g
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RV~fml9c VirtualLab Fusion中的工作流程
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 Hf`i~6 0\dmp'j] •构造光栅结构 Bu{Kjv
−通过使用界面来配置光栅结构 {@InOo!4w]
[用例] ]@&X*~c^Z
•分析光栅衍射效率 9F/I",EA
−光栅级次分析器[用例] "\b>JV 5
•使用参数运行搜索初始解决方案 %R k|B`ST
−参数运行文档的使用[用例] lMFR_g?r
•通过参数优化找到最终设计 \;{ ]YX #fuUAbU0 X VirtualLab Fusion技术 3B1\-ry1M G^c,i5}w
 g&$=Y7G yLa@2 7T\A 文件信息 9-42A7g^C ,;g%/6X k~>(XG[x&  (T%F^s5D # A/OGi
s@\3|e5g QQ：2987619807 v)5;~.+%
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