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摘要 TnK<Wba jTIG #J) 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 UGy3 B)
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 v3 Vve:}+ yor'"6)i •构造光栅结构 Gb `)d
−通过使用界面来配置光栅结构 M@{?#MkS%
[用例] $8eiifj
•分析光栅衍射效率 n/1t UF
−光栅级次分析器[用例] r
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•使用参数运行搜索初始解决方案 Ak@! F6~
−参数运行文档的使用[用例] pmB
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•通过参数优化找到最终设计 #E!^oZm<Z WBWW7 HK VirtualLab Fusion技术 3Y38l P:>h B= d< L^
 qF~9:` 7o +L 文件信息 <Tgy$Hm J "I ,] >b2!&dm  I9 qZE=i gP
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k/ QQ：2987619807 8C3oi&av/{
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