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摘要 B5HdC%8/} [!? ,TGM}^ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 J. 2]km
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1+% 建模任务 @ ^cgq3H' o%PoSZZ  +A ?+ G 光栅特性与参数的严格分析 ,7j iHF &W+G{W{3 不同光栅周期下的衍射效率 /%9p9$kFot ptyDv
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 Q ~Sv2 Jn@Mbl •构造光栅结构 >5~Zr $
−通过使用界面来配置光栅结构 "G-0i KW;
[用例] v z #wP
•分析光栅衍射效率 ;'Vipj
−光栅级次分析器[用例] 6=g]Y!o $
•使用参数运行搜索初始解决方案 D.&eM4MZ
−参数运行文档的使用[用例] $7gB&T.x
•通过参数优化找到最终设计 SL\y\G aV hzu MTKH9 VirtualLab Fusion技术 6(q`Oj Aiks>Cyi23
 400Tw`AiJ o )nT 文件信息 K .i H Th;gps%b 9>[ .=  9p\wTzA ek l? K~
R!V5-0% QQ：2987619807 AR+\uD=\I-
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