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摘要 mt[ #=Yba {J/+KK 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Vw`%|x"Xz yvnvI y b$tf9$f %2^V.`0T 建模任务 6H0aHCM -WGlOpg0; M"$g*j 光栅特性与参数的严格分析 Zj0h0Vt \@zoM:[sN 不同光栅周期下的衍射效率 c]|Tg9AW 8[a N5M] uI3oPP> $ Vq^b_^ 关于光栅周期选择的考虑 !|cM<}TF, ${97G# V3/OKI\o WY26Iq@C 偏振相关的衍射特性 |{rhks~ gA 19f }T53y6J# ^C}f|{J `u8(qGg7GF aaI5x }$a*XY1 <<9|*Tz 通过参数优化进行光栅设计 8/~@3-9EK qr~zTBT]
E 固定周期的2D参数优化 J@rBrKC TnuA uui* Ol;"}3*Z* 2D参数优化–设计1 Tq8U5#NF !VHw*fL|r
:1~4X qporH]J-E 2D参数优化–设计2
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b<V j3[kG# WGUd@lC~ 制造公差分析–设计2 V)ITk\ ixqvX4vv,B '1Ex{$Yk \3x+Z! 变化光栅周期的3D参数优化 /KlSI<T@ HYNp vK 1([?EfC _znpzr9H 制造公差分析 unr`.}A2> %)e&"mq!| pQ8f$I#v Z0M|Bv9_ 走进VirtualLab Fusion -8SZ}J 3RI%OCGF uzS;&-nA r6nWrO>y VirtualLab Fusion中的工作流程 `b_n\pf] jTqEV( {k']nI.> ?~oc4J*>( •构造光栅结构 1.nYT* −通过使用界面来配置光栅结构 B!J&=*=e [用例] JRDIGS_~ •分析光栅衍射效率 LXRIo2ynuw −光栅级次分析器[用例] c >xHaA:V •使用参数运行搜索初始解决方案 TR:4$92:H −参数运行文档的使用[用例] `Zci< •通过参数优化找到最终设计 BD M"";u gbu)bqu2x VirtualLab Fusion技术 cq$_$jRx _ujhD IkQ,#Bsb[ 8P}
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