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摘要 xT#j-T A d=NJhzl 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =X2 Ieb .^X IZ
sX^m1v~N| mrS:||,_ 建模任务 p>96>7w 1b-4wonQd S/"-x{Gc2v 光栅特性与参数的严格分析 [Z`q7ddd^ K!lGo3n] 不同光栅周期下的衍射效率 /NNe/7'l K)`,|q* \
@D[jUC$E cP`o?: 关于光栅周期选择的考虑 1;i[H[hNY LBk1Qw}-
\=?f4*4|/ GE\@mu *pO 偏振相关的衍射特性 5lu620o M@[{j
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.ZJt ~3dBt@%0 通过参数优化进行光栅设计 {*bXO8vi(( KA#4iu{ 固定周期的2D参数优化 ^sY ]N77 \SkCsE#H
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(I~ 2D参数优化–设计1 m
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yt8H 2D参数优化–设计2 L&+XFntR @@9#odO
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}Y~o =3- D:sQHJ.y 变化光栅周期的3D参数优化 q%i2'yE [~,~ e
7Q7z6p/\v #>g]CRN 制造公差分析 ev7Y^
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WUkx v* .-T^S"`d| VirtualLab Fusion中的工作流程 yf(VwU,
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NdZv* *D!$gfa •构造光栅结构 w+(bkqz] −通过使用界面来配置光栅结构 J)D/w[w [用例] LRW7_XYz •分析光栅衍射效率 lPFT)>(+@ −光栅级次分析器[用例] r 'wam]1Z •使用参数运行搜索初始解决方案 kaQn'5 −参数运行文档的使用[用例] Z6\OkD •通过参数优化找到最终设计 # kl?ww U rwGY )9| VirtualLab Fusion技术 .YKqYN?y4 E#X(0(A)
v@TP_Ka =t\HtAXn[ 文件信息 v>CAA"LH /DA'p [, usnbGkq T|`nw_0 [GJ_]w^}j EH<rUv63 QQ:2987619807 ~ \z7$9Q
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