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摘要 0{o 8-# cw~G H 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ]k1N-/
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 #&S<{ 75A JPT&!%~ 建模任务 }c4F}Cy F3Vvqt*2  n],cs 光栅特性与参数的严格分析 2%fkXH< aa!1w93?i 不同光栅周期下的衍射效率 l`0JL7 G~*R6x2g
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cY~lDLyB 关于光栅周期选择的考虑 >i61+uzEd+
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VirtualLab Fusion中的工作流程 3+ %L[fW`/
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 C? b_E Tq >?.bq9 •构造光栅结构 \6Hu&WHy
−通过使用界面来配置光栅结构 %G ~%:uJ5
[用例] gB#$"mq,
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−光栅级次分析器[用例] .aR$ou,7
•使用参数运行搜索初始解决方案 D#&N?< }
−参数运行文档的使用[用例] r|7 hm :F)
•通过参数优化找到最终设计 RD p(Ci iW <B1'dp VirtualLab Fusion技术 Ibl==Irk `L}Irt}
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