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摘要 * odwg$ dpI! {'"M 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 h YU4%"X
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 IRB BLXv7\ j+Q E~L 建模任务 Xmaj7*f>p E|hW{ oX3  &{H LYxh 光栅特性与参数的严格分析 dI $M9; m< | * 不同光栅周期下的衍射效率 56^#x ?cD2EX%(
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])uhm )U@ 关于光栅周期选择的考虑 I 7s}{pG
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 )NL_))\ C9%2}E3Z$) 偏振相关的衍射特性 qQ x5n Z 2hIoCT
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 v;m}<3@' "U DV4<|^k •构造光栅结构 I"1H]@"=
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[用例] }u aRS9d
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−光栅级次分析器[用例] mqFo`Ee
•使用参数运行搜索初始解决方案 hwR_<'!
−参数运行文档的使用[用例] <5wk~|@t
•通过参数优化找到最终设计 v Ol<
5o&no RIIr VirtualLab Fusion技术 &>]c"?C* 4Y#F"+m.]
 sS5: 5i $x'p+ &n\ 文件信息 Ja@zeD)f" E0o?rgfdq ] s))O6^f  w xx3']: 2a 3RRP
VX<jg #( QQ：2987619807 , fa'
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