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摘要 c@eQSy *Sd}cDCO% 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8i
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}u3Q*oAGl I_?+;<n 建模任务 6]%SSq& Z<P?P` m`;dFL7"E 光栅特性与参数的严格分析 c0I;8z`b /nPNHO>U 不同光栅周期下的衍射效率 DGc5Lol~ MNuBZnO
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T : 关于光栅周期选择的考虑 _Wb3,E a= +#;t.&\80N
Gy]ZYo( Jw+k=> 偏振相关的衍射特性 =c(t;u6m- 4!vovt{
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+hIC N,8! 0:1[F!]'b 通过参数优化进行光栅设计 3rxB]- e(z'uA{! 固定周期的2D参数优化 8|cQW-L nB|m!fi<
T^Lg+g+I 2D参数优化–设计1 r_"=DLx6 De<kkR{4
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(kY wD %2I >0 制造公差分析–设计2 hifC.guK GG=R!+p2
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2lu A F2 d71|(`& 制造公差分析 x :? EL)( 8[B0[2O
g7l?/p[n >zS<1 走进VirtualLab Fusion :z^,>So : z+5%.^Re
-;Ij , 9F"^MzZ VirtualLab Fusion中的工作流程 WJ&a9]&C 7Eo;TNbb
1$S`>M%a )JXlPU •构造光栅结构 ])9|j −通过使用界面来配置光栅结构 Qn!KL0w [用例] Q`zW[Y&] •分析光栅衍射效率 WNK)IC~c −光栅级次分析器[用例] }Y&|v q •使用参数运行搜索初始解决方案 Q3'L\_1L −参数运行文档的使用[用例] OnND(YiX •通过参数优化找到最终设计 jr2wK?LbB >mW*K _~ VirtualLab Fusion技术 G6XDPr:} 2]V&]s8Wi=
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# 文件信息 2DXV~> x>GxyVE v/GZByco> z5g4+y, yt{?+|tXU >|rU*+I` QQ:2987619807 gkFw=Cd
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