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摘要 v@<lEG#$"| pB{ f-M:D 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +LU ). NEjBjLJZ
hPX2 Bp rUJSzLy 建模任务 d&3I>E$UP Vo58Nz:% RM/ s: 光栅特性与参数的严格分析 Phjf$\pt R?FtncL%D 不同光栅周期下的衍射效率 3k|~tVM #|2g{7g*
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4pOc` 关于光栅周期选择的考虑 1tK6lrhj ;Ef)7GE@\[
,YuWz$aF{ WLA_YMlA 偏振相关的衍射特性 Q'V,?# 1OJD\wc
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U#^:f7-$. aWi]t'_ 通过参数优化进行光栅设计 %PNm7s4x2 Z6HkQ=A64 固定周期的2D参数优化 N"Nd $4 -O,O<tOm
$y |6< 2D参数优化–设计1 0yEyt7
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$1`t+0^k 制造公差分析–设计2 Ab|NjY: AhFI, x
7D1`^,? (VF4] 变化光栅周期的3D参数优化 )#TJw@dNf^ 4)S?Y"Bs
|"(3]f\ '%/u103{e 制造公差分析 {?M*ZRO' Hw-oh?=
IF21T o+WrIAR 走进VirtualLab Fusion /3HWP`<x fP4IOlHkE
Zvw3C%In XhkL))FcG VirtualLab Fusion中的工作流程 dg@/HLZ YedipYG9;
Gb)iB >]N0w •构造光栅结构 vnOF$6n −通过使用界面来配置光栅结构 <'yC:HeAwD [用例] gKH"f%lK •分析光栅衍射效率 %3B>1h9N −光栅级次分析器[用例] I&@@v\$* •使用参数运行搜索初始解决方案 n`2"(7Wj −参数运行文档的使用[用例] oN}j <6s
•通过参数优化找到最终设计
F nRxc +mF 2yh VirtualLab Fusion技术 a5+v)F/= @ dU3d\!}
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