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摘要 !v^D
j'] M4QMD;Ez 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Nk7Q a`T{5*@
tDi<n} 39OZZaWL 建模任务 NE(6`Wq` #i~.wQ$1 x>t:&Y M 光栅特性与参数的严格分析 _+UD>u{ nI6`/ 不同光栅周期下的衍射效率 'Ct+0X:D 5!AzEB
pdE=9l' ?-(E$ll 关于光栅周期选择的考虑 >iq^Ts W
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BqR8%F b2Ct^`|M5 偏振相关的衍射特性 GE"#.J4z Q
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U{HJNftdpm #VD[\# 制造公差分析 H+-9R 7Sr7a{
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y~;Kf0~ HJM- ;C]( •构造光栅结构 Pr/K5aJeg −通过使用界面来配置光栅结构 ><5tnBP|+L [用例] jFnq{Lt
•分析光栅衍射效率 K6_{AuL}4 −光栅级次分析器[用例] ~-JkuRJ\ •使用参数运行搜索初始解决方案 `AQv\@wp −参数运行文档的使用[用例] t<x0?vfD •通过参数优化找到最终设计 *cJ GrLC ,M5J~Ga VirtualLab Fusion技术 Fb
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