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摘要 c& I ;rF[y7\ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 hNhEA $X5
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 ur\6~'l4 nYj rEy)Q •构造光栅结构 o #e8
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−通过使用界面来配置光栅结构 32 <D9_
[用例] /oHCV0!0
•分析光栅衍射效率 & Y=0 0
−光栅级次分析器[用例] P,{Q k~iu
•使用参数运行搜索初始解决方案 )6C+0b*
−参数运行文档的使用[用例] $M 8& &M
•通过参数优化找到最终设计 'R79,)|;[ eKvr1m- - VirtualLab Fusion技术 Iz09O:ER >bh+!5Y0
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