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摘要 4H{$zMq8 _ D"S 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Bw9O)++ ;1>V7+/
st >%U9 R3.8Dr0f 建模任务 Dr"PS
>. k7(lwEgNG 7ZUS 光栅特性与参数的严格分析 Digx#'#jf 3 FMYs&0r4 不同光栅周期下的衍射效率 n;QFy5HB8 .&h|r>*|J
L[U?{ B3I0H6O 关于光栅周期选择的考虑 $y UPua/- nj-LG!"a
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!yz3:Yzu [I[*?9}$" •构造光栅结构 jV<5GWq −通过使用界面来配置光栅结构 H)rJ>L [用例] 4z^~,7J^ •分析光栅衍射效率 QHtN_Q_F −光栅级次分析器[用例] v7D0E[)~ •使用参数运行搜索初始解决方案 g O8~$Aj −参数运行文档的使用[用例] cVSns\QO •通过参数优化找到最终设计 xX8c>p MYVb ! VirtualLab Fusion技术 zv^+8h7k .73sY5hdTN
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