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摘要 '{+hti,Lh ZU@V]+ww 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3{c&%F~! brVT
]':C~-RV{ jxoEOEA 建模任务 zeua`jQ -Kc-eU-&q *o>E{ 光栅特性与参数的严格分析 h]=chz z^b\hR 不同光栅周期下的衍射效率 FE5R
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关于光栅周期选择的考虑 "ulaF+ Hc+<(g
nph{ Wu}Co 偏振相关的衍射特性 iKK=A.g K)v(Z"
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U-k;kmaj B8nXWi 通过参数优化进行光栅设计 f>'7~69 "2h#inS 固定周期的2D参数优化 2KG j !w ZD<,h`
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K4rr.f6 2D参数优化–设计1 9w(j2i
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kj8zWG4KH (r|T&'yK 制造公差分析–设计2 =MXF`k^} <V,?!}V
!Q#b4 f 3xe8DD 变化光栅周期的3D参数优化 b^xf,`D wiVQMgi`
V.4j?\#% i~,k2*o 制造公差分析 JC#@sJ4az) T'V(%\w
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RfUUd X1-s,[j' 走进VirtualLab Fusion oY]VP+b! k`t'P6
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-3V~YhG =.%ZF]Oe+# VirtualLab Fusion中的工作流程 cC[n~OV 7HJv4\K
3 x'30 T/K.'92S •构造光栅结构 X=hgLK^3<, −通过使用界面来配置光栅结构 !vB%Q$!x [用例] BuYDw*. •分析光栅衍射效率 Fv: %"P^ −光栅级次分析器[用例] d3$<|mG$ •使用参数运行搜索初始解决方案 yI%>
w4Z −参数运行文档的使用[用例] \XN5)) •通过参数优化找到最终设计 Pjy?&;GvT [vi4,'wm VirtualLab Fusion技术 >R:+ml (w-u"1&
K4yYNlY 5 QeGx3' 文件信息 Jv<)/Km` q+z\Y? </Id';|v pd1m/: )eEvyU
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