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摘要 JA<~xo[Q9 6}ftB mv 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +#~O'r]%GG
q[P~L`h S
 [t{](- a%E8(ms37y 建模任务 F$h'p4$T 088 C|  dKm`14f]@G 光栅特性与参数的严格分析 dQ<(lzS~ Ihg~Q4t 不同光栅周期下的衍射效率 Rboof`pVt @^!\d#/M
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E_3r[1l 关于光栅周期选择的考虑 '00J~j~
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 &dRjqn^&X ^ wJEfa c 偏振相关的衍射特性 -2 x E#r y\#o2PVmY
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 "15=ET GJ `UO 通过参数优化进行光栅设计 DWrbp z h%qS~8Yv 固定周期的2D参数优化 ~^$MA$ /p q 5p e~
 ZoxS*Xk 2D参数优化–设计1 <Oa9oM},d
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 DYRE1! tU:FX[&?R •构造光栅结构 ^ ulps** e
−通过使用界面来配置光栅结构 85z;Zt0{
[用例] z+/LS5$
•分析光栅衍射效率 Q2c*.Y
−光栅级次分析器[用例] 9j#@p
•使用参数运行搜索初始解决方案 ETp'oh}?
−参数运行文档的使用[用例] v!trsjb
•通过参数优化找到最终设计 pjN:&#Y ] !O{ z 3W VirtualLab Fusion技术 VAKy^nR5j b Us|t
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z*LiweR- QQ：2987619807 $Ha%Gr
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