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摘要 7;dV]N erdWGUfQOe 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `|8)A)ZVT
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@=[ {-PD3 [f" 建模任务 `$JPF Z ` 9(TqcE  )|x ) KY 光栅特性与参数的严格分析 NJ/6_e yxf|Njo0 不同光栅周期下的衍射效率 RnE=T /VZJ d(jd{L4d
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Egi<m 关于光栅周期选择的考虑 : tu6'X\k
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'^ VirtualLab Fusion中的工作流程
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 P ~/Gla k 2{:bv~*I0F •构造光栅结构 pT\>kqmj
−通过使用界面来配置光栅结构 +L
D\~dcV+
[用例] ;L (dmx?
•分析光栅衍射效率 D|lp3\`%
−光栅级次分析器[用例] oh
c/{D2
•使用参数运行搜索初始解决方案 = s^KZV
−参数运行文档的使用[用例] qT7E"|.$
•通过参数优化找到最终设计 g/e\ EkT (!`TO{ !6P VirtualLab Fusion技术 GY@(% ^ mxUM&`[
 fgcI55&jV{ OP>rEUtj 文件信息 %s<7 M@]f C\#E1\d Wm_:1~  i7]\}w| 0h ^& `H:
VX#4Gh,~N QQ：2987619807 z2p @d1
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