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摘要 \q>bs|2 O;+ maY^l 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =h-U
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B*eC3ok3z $r^GE 建模任务 "x#-sZ= Vouvr<43o 55G+; 光栅特性与参数的严格分析 JL`-0P<M 5A,K6f@:g 不同光栅周期下的衍射效率 Je';9(ZK %gInje
LHyB3V !-g{[19\ 关于光栅周期选择的考虑 O24m;oHM bpOYHc6,*`
.zr-:L5{ kc2PoJ 偏振相关的衍射特性 l.(v^3:X >;jZa
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k}S :RK 32(^Te]: 通过参数优化进行光栅设计 c\/=iVw, ^Xz@`_I 固定周期的2D参数优化 -Sqz5lo n"$jG:AQJ
BfXgh'Z~ 2D参数优化–设计1 l(yZO$ J.3u^~zy
ke!?BZx BIH-"vTy 2D参数优化–设计2 )i6mzzj5 ]yV!
e*sfPHt f<GhkDPm>? 制造公差分析–设计2 Upx G@b <:_wbVn-
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变化光栅周期的3D参数优化 m.hkbet/R sXqz+z$*
FOb0uj=(v %]\kgRr 制造公差分析 ~cWAl,(B<F >3ZFzh&OYQ
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Id*Ce2B VirtualLab Fusion中的工作流程 *F WMn. }~2LW" 1'
@efh{ ~Cbc<[} •构造光栅结构 "7U4'Y:E −通过使用界面来配置光栅结构 ) g0%{dfJ [用例] Gw=B:kGk •分析光栅衍射效率 #akpXdXs −光栅级次分析器[用例] >1s*
at/h •使用参数运行搜索初始解决方案 toLV4BtIG −参数运行文档的使用[用例] t9nqu!); •通过参数优化找到最终设计 7Sf
bx~48 2uzW+D6J VirtualLab Fusion技术 YD<:,|H 2iHUZzz\
9Q.rMs>qj 09|K>UC)v 文件信息 D!@Ciw Ac96
[ 4hO!\5-w: ~Uu4= @_-hk|Nl@ XYjV.j\ QQ:2987619807 wYdb*"R
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