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摘要 mt[ #=Yba {J/+KK 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Vw`%|x"Xz
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 b$tf9$f %2^V.`0T 建模任务 6H0aHCM -WGlOpg0;  M" $g*j 光栅特性与参数的严格分析 Zj0h0Vt \@zoM:[sN 不同光栅周期下的衍射效率 c]|Tg9AW 8[a N5M]
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Vq^b_^ 关于光栅周期选择的考虑 !|cM<}TF,
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E 固定周期的2D参数优化 J@rBrKC TnuA uui*
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 uzS;&-nA r6nWrO>y VirtualLab Fusion中的工作流程 `b_n\pf ]
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 {k']nI.> ? ~oc4J*>( •构造光栅结构 1.nYT*
−通过使用界面来配置光栅结构 B!J&=*=e
[用例] JRDIGS_ ~
•分析光栅衍射效率 LXRIo2ynuw
−光栅级次分析器[用例] c >xHaA:V
•使用参数运行搜索初始解决方案 TR:4$92:H
−参数运行文档的使用[用例] ` Z ci <
•通过参数优化找到最终设计 BD M"";u gbu)bqu2x VirtualLab Fusion技术 cq$ _$jRx _ ujhD
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