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摘要 !yH&l6s %\[LM$f{z 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ? YX2CJ6N
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 R{@WlkG} -sGfpL y<6 建模任务 A;w,m{9< of8/~VO  A[;R_ 光栅特性与参数的严格分析 BG~h9.c kwZ 8q-0 不同光栅周期下的衍射效率 Az6f I*yP +WK!}xZR
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sju. `f>-r 关于光栅周期选择的考虑 //>f#8 Ho
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 A/|To!R DFQp<Eq]7 •构造光栅结构 UIi;&[
−通过使用界面来配置光栅结构 <3m_}
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[用例] )/1AF^ E
•分析光栅衍射效率 Ya<S/9c
−光栅级次分析器[用例] R7r` (c!
•使用参数运行搜索初始解决方案 a"EX<6"
−参数运行文档的使用[用例] mFw`LvH?*
•通过参数优化找到最终设计 "9jt2@< <k N4@bd; VirtualLab Fusion技术 5f(yF /X~l%Xm
 __fa,kK {? zt/b S/ 文件信息 0/S|h"-L 5 >S #ew SMY,bU'a  LuM:dJ ?n)d: )Ud"
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