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摘要 f'dI"o&^/d KG$2u:n 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ): 6d_g{2
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 J^4k} @AOiZOH 建模任务 HenJlo !=:c8V  m@ YL Z 光栅特性与参数的严格分析 ~@JC1+ {W]jVh p 不同光栅周期下的衍射效率 H V@:!zM 30@ GFaab
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# eYVZ=E 关于光栅周期选择的考虑 j$6}r
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 >q`X%&l_ $]FWpr%) 偏振相关的衍射特性 VM[8w` ]_s]Q_+E
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 ArY'NE\Htt 2D参数优化–设计1 %[J( ,rm
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 _3hEYeh ydt1ED0Q- 制造公差分析 +~ -|(
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 S'txY\ $Ix^Rm9c VirtualLab Fusion中的工作流程 gisZmu0
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 ?g'l/xuRe yZ`\.GgC^& •构造光栅结构 r*
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−通过使用界面来配置光栅结构 GB#7w82
[用例] -a3C3!!
•分析光栅衍射效率 b#sO1MXv
−光栅级次分析器[用例] S C#
•使用参数运行搜索初始解决方案 F Ekx&9]
−参数运行文档的使用[用例] >(3 y(1;
•通过参数优化找到最终设计 [lf[J&}X 5q\]] LV> VirtualLab Fusion技术 DD1S]m HkrNt/]
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