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摘要 +VQ\mA5 9 -(K9s!C! . 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5E notp[
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 <id}<H : _QCfH 建模任务 $ /n Y5[ N!`e}Z6S  d|4}obCt 光栅特性与参数的严格分析 2h%z ("3/ ~Ch+5A; 不同光栅周期下的衍射效率 -kbg\,PW r [ K5w
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eilYA_FL. 关于光栅周期选择的考虑 In[Cr/&/Y
(e"iO`H
 IIyI=Wl pG DfKr[cqLM 偏振相关的衍射特性 "le>_Ze_>| VU@9@%TN
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 v%ioj0, >a}f{\Q 通过参数优化进行光栅设计 <\;# jF%V wg w(YU 固定周期的2D参数优化 GH[ wv< r7',3 V
 8 .[SU 2D参数优化–设计1 be + 4junf
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 t PF.r N ,z6y5Lu 制造公差分析 8w.YYo8`
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u+4h VirtualLab Fusion中的工作流程 ,S!az N=
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 y`=]T>X&x <%" b9T`' •构造光栅结构 5s].
@C8
−通过使用界面来配置光栅结构 lg&t8FHa;
[用例] qo|WXwP2
•分析光栅衍射效率 ~Rr~1I&mR,
−光栅级次分析器[用例] 4H/fP]u
•使用参数运行搜索初始解决方案 ,l)^Ft`5
−参数运行文档的使用[用例] zO iu5
•通过参数优化找到最终设计 {lc\,F* $ V=*w KuB VirtualLab Fusion技术 1{JV}O W ILMH`
 {Ja!~N;3 w Y_) y 文件信息 ^t#&@ -'(d a5 TioQ l~$+,U&XNe  ^=-y%kp" uu>Pk fo
Kuu *&u QQ：2987619807 @ nCd
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