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摘要 VMe ;$e)r3r`LV 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8@LUL)"
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 ?k($Tc&Q s:_a.4& Y 建模任务 /y|Z AN cP\z*\dS  o`!#io 光栅特性与参数的严格分析 R MOs1<D gK@`0/ k{ 不同光栅周期下的衍射效率 vLBu E pzoh9}bue
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 ru 9@|FgAE sF[gjeIb •构造光栅结构 v&/H6r#E .
−通过使用界面来配置光栅结构 tN\I 2wm
[用例] 'NCqI
•分析光栅衍射效率 $H)!h^7^9
−光栅级次分析器[用例] r"{jrBK$
•使用参数运行搜索初始解决方案 i.Y2]1
−参数运行文档的使用[用例] /t7f5mA
•通过参数优化找到最终设计 C" **>OGe GwP!:p| VirtualLab Fusion技术 xxl|j$m NNqvjM-
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H,GjPIG 文件信息 |X A0F\ 612,J i?(cp[ "7  pQ0*)}l, YU[#4f~
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