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摘要 { T4 ~vXaqCX 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >y.%xK
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 6:q"l\n> dY@WI[yog 建模任务 GytXFL3`: -:30 :oq  a;QMA d! 光栅特性与参数的严格分析 |~'IM3Jw(Y GDu~d<R H 不同光栅周期下的衍射效率 P`#Z9 HM4 <@}I0
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 ;Ra+=z}> [8Qro8 •构造光栅结构 #]#sGmW/L
−通过使用界面来配置光栅结构 wMdal:n^
[用例] Wm);C~Le
•分析光栅衍射效率 -S$1Yn
−光栅级次分析器[用例] c %[#~;E
•使用参数运行搜索初始解决方案 K]j0_~3s
−参数运行文档的使用[用例] + V{7")px6
•通过参数优化找到最终设计 /F4pb]U!* _UT$,0u_i VirtualLab Fusion技术 n+BJxu? 7<jZ`qd q_
 x5QaM.+=J yuDZ~0]R 文件信息 ?{U
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