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摘要 x$5nLS2. =7]Q6h@X 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \eMYw7y5 M
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 (-' 0g@0UA ^z%o]; 建模任务 e7bT%h9i >H 1|c%w  [mB(GL 光栅特性与参数的严格分析 ptWG@"j/b >uchF8)e| 不同光栅周期下的衍射效率 Xk&F4BJQk< &v
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b ?2X>QJ 关于光栅周期选择的考虑 #1jtprc
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 6N %L8Q Xv-1PY':pA 通过参数优化进行光栅设计 A"BtVy[[9 o! 2 n}C 固定周期的2D参数优化 J hhUg *m| t =9E
 Vyq#p9Q 2D参数优化–设计1 $&xuVBs
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ]k ::J>84
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 zz(!t eBC :rz9M@7 •构造光栅结构 ) (: +q(m
−通过使用界面来配置光栅结构 V- D}U$fw
[用例] QvG56:M3
•分析光栅衍射效率 toS(UM n
−光栅级次分析器[用例] 0On? {Bw
•使用参数运行搜索初始解决方案 Cec9#C
−参数运行文档的使用[用例] Z&+NmOY4
•通过参数优化找到最终设计 ~")h E%Kl} dWsT Jyx~ VirtualLab Fusion技术 HG{&U:>) Z NzR `6}
Veb+^& d] b ~)!VW 文件信息 P &;y]
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d&}pgb-Md QQ：2987619807 [D*J[?yt
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