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摘要 c27\S?\
Jd d^ YM@>% 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 lG!We'?
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 4"y 1M=he H+2m 建模任务 58 .b@@T ^# gR"\F`d  *^ -~J/ 光栅特性与参数的严格分析 > z1q\cz _^" 0"< , 不同光栅周期下的衍射效率 I2<t?c:Pn< x9B{|+tIoc
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r1QLSD]i6 关于光栅周期选择的考虑
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 l^*'W(% [ N4 #R 通过参数优化进行光栅设计 0($ O1j~$ gu~F(Fb' 固定周期的2D参数优化 ,R h6( I ES&"zjr$
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 @d]a#ypU ) ;zLy?n VirtualLab Fusion中的工作流程 a*4l!- 7
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GS* ^+m6lsuA •构造光栅结构 :QV-!
−通过使用界面来配置光栅结构 Z+*t=?L,,G
[用例] C;C= g1I}
•分析光栅衍射效率 T3W? -,
−光栅级次分析器[用例] /Dl{I7W
•使用参数运行搜索初始解决方案 ~RRp5x _
−参数运行文档的使用[用例] a2MF Ze
•通过参数优化找到最终设计 pS vqGJU3 E~y@ue: VirtualLab Fusion技术 ?pF7g$>q y)B>g/Hoh
 l,pI~A`w_ ]N\J~Gm 文件信息 ~$O.KF: &r)i6{w81 dP0%<Q|  ,a&&y0, :Rq>a@Rp
k_^| %xJ QQ：2987619807 srbU}u3VZ
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