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摘要 EA6l11{Gk1 PJN9[Y{^3 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 BK%B[f*[OA
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 0 x-g0] 9Tt%~m^ 建模任务 [//i "Nm Io3-\Ff  [d[w/@ 光栅特性与参数的严格分析 VM\R- [ |@JTSz*Or 不同光栅周期下的衍射效率 ^{MqJ\S7H iG6]Pr|;e
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8~C}0H 关于光栅周期选择的考虑 ftPps -
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 ?{f6su @rW 15j5F5P 偏振相关的衍射特性 e*}zl>f X13+n2^8]
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[用例] Xf&YcHo
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•使用参数运行搜索初始解决方案 Wd;t(5Xl
−参数运行文档的使用[用例] 1<m`3 8'
•通过参数优化找到最终设计 m@+v6&, tdRvg7v,N% VirtualLab Fusion技术 QYo04` Rl ||X3g"2W9
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