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摘要 I9:G9 9z|>roNe 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )F%wwc^r rx}ujjx
D<_,>{$gW ;G4HMtL 建模任务 gq/ePSa 0XQ".:+h r3c\;Ra7 光栅特性与参数的严格分析 sO{0hZkc v'
9( et 不同光栅周期下的衍射效率 }GoOE=rhY VeN&rjc
."!8B9s ]df9'\ 关于光栅周期选择的考虑 {x&jh|f`g 282+1X
+]S;U&vQ -hG 9 偏振相关的衍射特性 HjUw[Yz+6 m m J)m
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e&H<lT -;@5Ua1uf 通过参数优化进行光栅设计 YzhN |!;!k W3o}.|] 固定周期的2D参数优化 U3_yEvZ uG(~m_7Hx
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vU$O{|J ' ! UF& 制造公差分析 ~gi( 1<# Y3MR:{}
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<R~~yW:H AXU!-er$ VirtualLab Fusion中的工作流程 ^cmP FvI0 J
HyX4ob[X t!=~5YgKs •构造光栅结构 | 7'yk__m −通过使用界面来配置光栅结构 oIL+@}u7 [用例] $Z7|t •分析光栅衍射效率 +} ! F(c −光栅级次分析器[用例] zWmo
OnK •使用参数运行搜索初始解决方案 l3 pW{p −参数运行文档的使用[用例] q/2K=BOh •通过参数优化找到最终设计 !K^kKP*l ;AL@<,8 VirtualLab Fusion技术 7si*%><X x+:,b~Skk
|7Xpb K<7T}XzU$ 文件信息 VF!kr1n! Lc: SqF %qjyk=z+Z vkd<l&zD pffw5Tc 5wFS.!xD QQ:2987619807 >*i8RqU
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