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摘要 +Y+Y6Ac[} 1nu^F,M 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 SI8%M=P>
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 f0T ,ul, > ,DbNmi 建模任务 B7z -7&TE }Nb8}(6  n>'Kp T9| 光栅特性与参数的严格分析 R-P-i0 ~ @UdfAyL 不同光栅周期下的衍射效率 `g,8- Ldn8
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T 关于光栅周期选择的考虑 {f{ZHi|
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−通过使用界面来配置光栅结构 3/#:~a9Q
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−光栅级次分析器[用例] ;sch>2&ZWU
•使用参数运行搜索初始解决方案 Jxqh )l
−参数运行文档的使用[用例] }$\M{# C~
•通过参数优化找到最终设计 xm6 EKp: &P,^.' VirtualLab Fusion技术 *G UAO){' Jdy=_88MD
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