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摘要 5:O"T {4#'`Eejj 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 .>&kAf. ^oA^z1>3
Fm*O&6W\@A [*,`a]z-Q 光栅详细说明 rQ/S|gG L8!xn&uyP=
)u<sEF J7S •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 w2Pkw'a{ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 p7|~x@q+ h(>4%hF 光栅阶次分析器设置 r]2}S=[ lB,.TK •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 [t,7H •可以指定各种输出选项。 P E.^!j •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 VTD'D+t i5|!MIY
KbSIKj BLfoU _Z 常规设置 Cvq2UNz(R U2!9Tl9".
voCQ_~*)9 !x|Ok'izDL •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 q
S2#= •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 \Z<' u; i9W@$I,f 单个阶次设置 jiz"`,-},O y1f&+y9e
OZ0q6" wn5CaP(]8 •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 {R]4N]l> •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
4mUQVzV k.?b2]@$ 单个阶次设置 )9J&M |