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摘要 W~TT`%[ L `fDc 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 hx'p0HDta o0f{ePZ=
k8]uy2R6} Rh:@@4< 光栅详细说明 E"E Bj7<s ~y#jq,i/
B{:JD^V! =h`yc$
A(2 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 QasUgZ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 d[b(+sHp a 0st)/\ 光栅阶次分析器设置 D~KEjz!bQ HJ&|&tT •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 D@M
ZTb •可以指定各种输出选项。 JWu^7}@~= •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 ypoJ4EZ( B&tU~
0a#2 Lo t-xw=&!w 常规设置 hkSK; *?k~n9n5U
Lyx \ s; :/Zy=F9: •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 t+R8{9L- •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 Ol }^'7H _x.!,
g{ 单个阶次设置 ur'a{BI2R )PM&x
\'rh7!v-u IX!Q X •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 EF7Y 4lp •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 (6xrs_ea U!GG8;4 单个阶次设置 ]F,mj-?4x ^%^~:<N <i~MBy.
( 6LGy0dWpG
rek89.p 7=YjY)6r^ 探测器标签页中的输出 RCFocOOn BE54^U
+Om(&\c(6 yu3T5@Ww •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 L'1p]Z" •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 ~^U(G As 1-@[th 极坐标图中的输出 %p5%Fs`sd jQAK
?7':= -t92! O Q:.q*I!D<4 •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 +?xW%omy •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 & |