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摘要 XfVdYmii Kn5C 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 T$2A2gb` %gFIu.c
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9c OQ_<V xz 光栅详细说明 Qfy_@w] lg$aRqI29
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