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摘要 QJ
i5 H `p!&>,lrk 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 "*U0xnI "U"phLX
/M :7 ^cUmLzM 光栅详细说明 M2kvj'WWq ,59G6o
._E 6? |2Vhj<6 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 c>|1%}"? •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 qix$ }(P @=7[ KM b 光栅阶次分析器设置 f};RtRo2 (U{,D1? •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 3u 'VPF2 •可以指定各种输出选项。 adcH3rV •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 +TZVx(Z&A @~z4GTF9i
J9%I&lu/ 70GwTK.{~ 常规设置 3 < |