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摘要 J$5G8<d> C'y2!Q/" 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 VF";p^ !.q99DB
KS$"Re$ O9_1a=M 光栅详细说明 Ayg^<)JWh "*j8G8
kZ)}tA7j vqQ)Pu?T •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 ,dK)I1"C •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 yocFdI vzbGL ap# 光栅阶次分析器设置 (3D& |