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摘要 $x&@!/&|pv +5pK[%k 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 B9`^JYT< XCU.tWR:
k|W =kt$ P m x@F^ 光栅详细说明 j I Ui6f>0?
mQt';|X@ T.kmoLlH •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 =PXQX(_ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 wD>tR
SW +(/?$dRH 光栅阶次分析器设置 ND[u$N+5x" 3ThCY` •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 /3D!,V, •可以指定各种输出选项。 D*+uH;ws •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 &wR |