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摘要
#m;|QWW fIwG9cR 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 ,|G~PC8 * ,#SwZ
RHv|ijYy YM.Q?p4g 光栅详细说明 G'IRqO*] z=1N}l~|*
NPjNkpWm&= ki=]#]rg •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 &r0U9J •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 P?/Mrz eB2a1<S&@ 光栅阶次分析器设置 _y5J]Yu`j u #Y#,:{ •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 X(M|T]`b: •可以指定各种输出选项。 ~U$ioQy< •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 >\4"k4d} we}G%09L
-a\[`JHi %k i^XB86 常规设置 1.IEs:(; B`mTp01
'9XSz? L <W2a( •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 ,0\Pr •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 k.<OO
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C'<* 单个阶次设置 *Eg[@5;QA Q|7l!YTzVu
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x-"<^< Zg=jDPt} •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 |{V@t1` •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 oxZXY]$y HA`qU
单个阶次设置 G/4~_\YMq B0$ge"FK9 0'zX6% eJ+@<+vr;x
L =9^Y/8Q Ju"K" 探测器标签页中的输出 T%O2=h\} E 2#)z%K6T
gn)>(MG 6Ij'z9nJw •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 E'+?7ZGWj •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 'LMMo4o3 2F#DJN# 极坐标图中的输出 ;i-<dAV8B Gc,6;!+( m<I>NYfE [ XBVES8 •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 ?.Lq`~T` •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 ?5j}&Y3 7u<C&Z/ 极坐标图设置 oef] 1<F6{?,z
-jk-ve e N^6gub •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 Ef\& |