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摘要 @#>rYAb8, -1_)LO&H 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 ]BZA:dd.G 8oseYH
rjAn@!|:+ 9C9oUtS 光栅详细说明 {n.PF8A5X k[YS8g-Q
"1*:JVG |?xN\O^#} •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 ?V.cOR`6 •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 $am$EU?s wqs?828x 光栅阶次分析器设置 P [ck84F/ f:w?pE •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 9(7-{,c •可以指定各种输出选项。 v`x.)S1 •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 ,0Hr2*p 6=/F$|
fc3{sZE2M |O+H[;TB6 常规设置 yNo0ubY rJTa
@)M9IOR eA ?RK.e •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 eHZws`W •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 FUb\e-Q= nEy& |