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摘要 f:iK5g Y ON@G5^ 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 E.W7`zl bqY}t. Y&"
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:;0[j 光栅详细说明 *8k`m)h26 JtYc'%OF
6_/oVvd p'{ `Uvr •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 oH~ZqX.3 •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 -,jJ{Y~ y@g{:/cmO 光栅阶次分析器设置 rXo2MX@u X'N4a •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 0^44${bA •可以指定各种输出选项。 AfvTStwr •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 )f#@`lf[< Wo5G23:xz
N]cGJU>$ ]7kq@o/7 常规设置 QC>I<j&`! )CS7>Vx
z79L2lJn oQ!} @CaN| •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 Y1AbG1n| •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 b><jhbv @t`|w.]ml 单个阶次设置 *|AnL}GJ GV)#>PL
[:$j<}UmB [ d<|Cde •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 ,
6\i •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 FVLXq0<Cj YlOYgr^ 单个阶次设置 g92M\5
x9 M0o=bYI qcke8Q `h5HA-ud
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+fuL 探测器标签页中的输出 y5?T`ts,# ]>E9v&X0
[$?S9)Xd S}e*~^1J •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 '.~vN L+
O •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 DMcvu*A If6wkY6sR 极坐标图中的输出 +`f gn9p QHr
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