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摘要 G- ]_
d v"Ryg]^_ 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 r(n>N0:0Ls 9~K+h/
7W&XcF S'@Ok=FSy 光栅详细说明 4`RZ&w;1H2 9uX15a
0YoV`D,U {\LLiU}MJC •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 ~rAcT6# •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 ;vpq0t` "uyr@u0b 光栅阶次分析器设置 V;~\+@ I;, n|o •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ;MlPP)*k •可以指定各种输出选项。 G2|G}#E •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 #D>:'ezm p2+K-/}ApP
M%SNq|Lo 65mfq&"P? 常规设置 Q!7mN?l /WX&UAG
?D_}',Wx 7c@5tCcC- •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 YNp-A.o
W@ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 =i/r: %\!0*(8 单个阶次设置 N7X(gh2h nmuU*oL
`P*w ZKlW ~1S,[5u|s •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 "`a,/h' •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 a
[f}-t9 *Rc?rMF ! 单个阶次设置 E?Qg'|+_ Uqly|FS &n !y2yS/ V*@&<x"E
m YhDi 1gLET.I: 探测器标签页中的输出 rD c$# lg^Lk\Y+re
cf%2A1I2W `bd9N!K •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 %PK(Z*> •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 CXi:?6OG b,(<74!#8 极坐标图中的输出 <LX-},?P N[yS heT W&&C[@Jd3 T~?&hZ> •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 &u(pBr8B •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 y+Bxe)6^V g12.4+ 极坐标图设置 @?t+O'& tS,AS,vy]
=%b1EYk N4WX} •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 *I k/Vu%; •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 ]2iEi`"[ r8o^8 . 阶次汇集输出 =^)$my\C: bhfC2@ Y{X%C\ •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 0P;LH3sx •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 w+XwPpM0.n jRW@$ <mG 阶次汇集设置 "`*
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y{ 阶次汇集设置 2=naPTP( >.hDt9@4
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