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摘要 5<(*
+mP` \XB,)XDB 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 R@3HlGuRKw v)du]
u<:uL 0cHcBxdF 光栅详细说明 Jq` Dvz Eq)b=5qrG?
,9ueHE QIkFX.^ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 s1_Y~<yX •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 \ZcI{t'a LOkgeJuWv 光栅阶次分析器设置 E^rBs2;9 _E?tVx.6 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 0e8 •可以指定各种输出选项。 2`]c&k;] •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 ELwXp|L \2/X$x<?X
n8EKTuy z#Jw?K_ 常规设置 i`@cVYsL YeOn
'QE8 ??nT[bhQ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 85#
3|5n •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 ph6/+[: =~O3j:<6 单个阶次设置 $CB&>?~ -btNwE6[.
&pI\VIx ? |5;,]lbt •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 KN_n :`cH{ •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 Tr;.%/4Q dwB#k$VIOw 单个阶次设置 ^r}Uu~A> x}a?B wrJQkven- ruagJS)+
%.
((4 6) nycJZ}f:wP 探测器标签页中的输出 ~*EipxhstJ bP$e1I3`
1W*Qc_5 v1 6T4"m •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 _\4r~=`HQ •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 3SWDPy K_U`T;Z\ 极坐标图中的输出 d
>L8SL ,Z|O y|+' 7V=deYt_p rs4:jS$) •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 fX9b1x •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 >;G_o="X o7we'1(O 极坐标图设置 1Mq"f7X8
;Uch
u^C\aujg L~+aD2E { •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 %zc.b •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 @ ~{TL 7y& |