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摘要 |qf ef& l\37/Z 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 EGzlRSgO ;+*/YTkC+P
#'97mg 1cS*T>` 光栅详细说明 [$@EQ]tt/ GO3KKuQ=
$lg{J$
h8 )
D5JA` •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 V6&6I •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 U
U3o (Yq '>GPk5Nq77 光栅阶次分析器设置 JvF0s}#4 w&*oWI$i •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 zFr#j~L" •可以指定各种输出选项。 M%OUkcWCk •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 HfEl
TC:3f A&V'WahC@I
v,Z?pYYo q}C;~nMD 常规设置 d
wku6lCk @+sYwlA~
M4e8PRlI 1sq1{|NW~ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 :464~tHI[` •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 L-Mf{z drJUfsxV 单个阶次设置 ;pqS|ayl *9US>m Vy
h#Z~x 1]&{6y •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 =3=8oF x8 •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 e
3TKg 19i=kdH 单个阶次设置 XdE|7=+s s14ot80) VDlP,Mm* UYGO|lkEU
2tS,q_-= oGL2uQXX 探测器标签页中的输出 |<#yXSi +A1xqOB
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