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摘要 .-|O "H$ @iP6N 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 5,c` |@g1|OWd|
IB6]Wj |K_B{v. 光栅详细说明 d$TW](Bby \O:xw-eG
+-nQ,
fOV >eTlew<5 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 *@&
"MZ/M •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 1%@~J\qF )mPlB. 光栅阶次分析器设置 bvx:R ~E$ "XY?v8*c •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 fA8+SaXW% •可以指定各种输出选项。 /)I9+s#q9o •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 X2uX+}h*tA 3PA'Uk"5Z
7asq]Y}< R,\
r{@yrz 常规设置 bevT`D `-H:j:U{
C#~MR+; 5 q , •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 <C$< |