一、电控柜的操作 2o5Pbdel
^R;Qa#=2
1. 开水泵、气源 o]gS=iLp
%v)m&VUi%
2. 开总电源 ( q8uB
GJLe733o
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 *21foBfqh
P`ZYm
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 ? |}%A9
~r%>x
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 <OR f{
)wFr%wNe
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 9pY`_lxa>
;_ ]Z3
1. 总电源 U`25bb1W j
`y%1K|Y=
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 @20~R/vh
. PAR
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， 1i g#|v*+
dF
(m!P/R
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 aM2[<m}
f*u D9l%/
三、关机顺序 iD/ r8_}
'OERW|BO
1. 关高真空表头、关分子泵。 ~sk{O%OI
aC9PlKI
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 gr&Rkuyfv
?:8wDV
3. 到50以下时，再关维持泵。 0SJ7QRo|K
"@h 5
SF
\ Gzo^w
f D>0
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 "?[7oI}c&
E\ 'X|/$a
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm BAQ;.N4
IQ9jTkW l
极限压力：5×10-4 Pa [>pqf
{1jywb
}
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
