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    [转载]ZZSX-800 真空镀膜机使用方法 [复制链接]

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    离线huang8215
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-03-07
    一、电控柜的操作 s&fU|Jk8  
    otPEJ^W&  
    1.      开水泵、气源 xr6Q5/p1  
    |-e=P9,  
    2.      开总电源 +rql7D0st  
    E!Ng=}G&_  
    3.      开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。 [KjQW/sb'  
    uAJ_`o[  
    4.      开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。 Um9=<*p  
    g@j:TQM_0  
    5.      观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 b< [eBXe  
    X^@d@xU4v  
    二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 i!Ne<Q  
    "= %-  
    1.      总电源 =,?@p{g}  
    w=f8UtY9@A  
    2.      同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。 x3WY26e  
    *Pq`~W_M7  
    3.      开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA, I#A`fJ  
    @-MrmF)<U  
    灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。 ,p 'M@[  
    mybDK'EW  
    三、关机顺序 &7<~Q\XZbI  
    IjrTM{f  
    1.      关高真空表头、关分子泵。 (m,O!935f  
    *&AK.n_  
    2.      待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。 &GbCJ  
    I5D\Z  
    3.      到50以下时,再关维持泵。 w$t2Hd  
    '7=*n_l  
    (8>k_  
    [hiOFmMJZ-  
    ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 ;N,7#l|wi  
    |0 Zj/1<$  
    镀膜室尺寸:¢800mm×1000mm +nqOP3  
    eq/s8]uM  
    极限压力:5×10-4 Pa i?|SC=  
    AM}OL Hj  
    抽气时间:从大气压抽至2×10-3 Pa,<15min
     
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    离线huang8215
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-03-07
    自己先给自己顶起来~~希望对大家有所帮助
    离线银河系
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-03-07
    谢谢我曾经用过真空镀膜机 bGSgph  
    操作基本一样!
    离线孙莽
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-03-08
    曾经用过真空镀膜机
    离线yixiangren
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    只看该作者 4楼 发表于: 2007-06-12
    太麻烦了!开惯了进口机,真怕有一天遇到国产机可能会不会开。
    离线yufe16
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    只看该作者 5楼 发表于: 2007-07-05
    是啊,有段时间不操作就要忘!
    离线wushi
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    只看该作者 6楼 发表于: 2007-09-21
    是蒸度还是溅射镀?
    离线随即激光
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    只看该作者 7楼 发表于: 2015-04-22
    感谢分享