一、电控柜的操作 %E2b{Y;
$uUR@l
1. 开水泵、气源 ")YD~ZA%)
Ji4 JP0
2. 开总电源 9 2x)Pc^D
p1N3AhXY
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 Ggk#>O G
19b@QgfWpb
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 Nsn ~ mY%
$f?GD<}?7r
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 &u2H^ j
q ;"/i*+3
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 ykYef
fE"- W{M
1. 总电源 Z 4QL&?U
qV0GpVJZU?
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 *#9?9SYSk
jwpahy;\WL
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， Du #>y!
;pj,U!{%s\
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 ua E,F^p
(q@%eor&}
三、关机顺序 )FN\jo!!.
6WX?Xc]$3
1. 关高真空表头、关分子泵。 ot0g@q[3
lK_T%1Gz
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 -tIy e{
Re+ oCJ
3. 到50以下时，再关维持泵。 [y~kF?a
bFhZSk )
g/frg(KF
+Sc2'z>R
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 *q"1I9zvT
T+q5~~\d
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm zs6rd83#
B@v
(ZY
极限压力：5×10-4 Pa VTU(C&"S
aJ@lT&.
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
