[转载]ZZSX-800 真空镀膜机使用方法 [复制链接]

一、电控柜的操作 2htA7V*dD  
v<7Gln  
1.      开水泵、气源 +>!B(j\gx  
mj(&`HRs4  
2.      开总电源 |:e|~sism  
^0s\/qyqm  
3.      开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 (+gL#/u  
l\=-+'Y  
4.      开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 -#S)}NEn  
C7jc6(>m  
5.      观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 pg?i
F1  
te\h?H  
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 D-o7yc"K  
ra9cD"/J &  
1.      总电源 sR>`QIi(a  
Tn@UX(^,  
2.      同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 {KU.  
?9(o*lp  
3.      开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， da00p-U  
1(%>`=R8  
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 [j=,g-EOA  
$@_<$t  
三、关机顺序 dDqr B-G  
c>R`jb@$N  
1.      关高真空表头、关分子泵。 f E.L  
b@2Cll#  
2.      待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 {HIR>])o  
uO ?Od  
3.      到50以下时，再关维持泵。 a)_rka1(  
@@%i(>4Z  
w*<Y$hnBzF  
%qS]NC  
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 w\o)bn  
d`9W  
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm ] Wx>)LT  
2ec$xms  
极限压力：5×10-4 Pa 1jH7<%y  
:H!(?(Pie  
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min

自己先给自己顶起来~~希望对大家有所帮助

谢谢我曾经用过真空镀膜机 kCima/+_  
操作基本一样！

曾经用过真空镀膜机

太麻烦了！开惯了进口机，真怕有一天遇到国产机可能会不会开。

是啊，有段时间不操作就要忘！

是蒸度还是溅射镀？

感谢分享