切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1316阅读
    • 0回复

    [分享]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6655
    光币
    27424
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-25
    摘要 <;O=h; ~|  
    }OY]mAv-B  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 n8<o*f&&9>  
    @X`~r8&  
    K&FGTS,  
    概述 GMmz`O XN  
    VBc[(8o  
    *9:oTN  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 dWHl<BUm  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 6k6M&a  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 s( @w1tS.  
    zNSix!F  
    V]b1cDx{  
    5.gM]si  
    衍射级次的效率和偏振
    <viIpz2jh%  
    csn/h$`-@  
    9pPb]v,6  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 _XT],"  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 xml@]N*D#E  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 RjS;Ck@;  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 {FzL@!||  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 oI=7X*B9  
    cBf9-k  
    @$FE}j_  
    光栅结构参数 (IX iwu  
    qW]gp7jK4  
    n^|;J*rD  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 t~pA2?9@  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 "zW3d KVc  
    •因此,选择以下光栅参数: 1);$#Dlt k  
    - 光栅周期:250 nm -q7A\8C  
    - 填充系数:0.5 3L/qU^`  
    - 光栅高度:200 nm PfX{n5yBW8  
    - 材料n1:熔融石英 X! 5N2x  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) M=[/v/M=  
    :V2"<]  
    9tZ)#@\  
    N;,?k.vU  
    偏振状态分析 SQ#6~zxl  
    TJ(PTB;  
    Hj ]$  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 Ke-Q>sm2Q  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 VlKy6PSIg  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 #!p=P<4M  
    \~xI#S@  
    8Ml&lfn_8  
    y e!Bfz>  
    产生的极化状态 <4jQbY;  
    zx^]3}  
    kTQ:k }%B  
    Tks;,C  
    0z?b5D;  
    其他例子 &SS"A*xg  
    Du3OmXMk  
    zM6 yUEg  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 ~^/zCPy[w  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 Cpaeo0Oq  
    ?7-#iC`  
    ~45u a  
    Myss$gt}  
    光栅结构参数 /=Ug}%.  
    9dA(f~  
    `;fh<kv  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 mY-Z$8r  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 =/=x"q+X  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 zjgK78!<  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 1wUZ0r1'  
    j`Lf/S!}  
    O;M_?^'W  
    光栅#1 =fMSmn1S  
    /R#-mY  
    ':# ?YQ}2  
    47I:o9E  
    Fk D  
    •仅考虑此光栅。 2>Kq)Ii  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 43rM?_72  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。  N>`+{  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 >`*iM  
    ;a!o$y  
    *lv)9L+0  
    假设光栅参数: c 5P52_@  
    •光栅周期:250 nm i=_leC)rl  
    •光栅高度:660 nm 7UHqiA`L  
    •填充系数:0.75(底部) $oE 4q6b  
    •侧壁角度:±6° ^7q=E@[e  
    •n1:1.46 0kgK~\^,.O  
    •n2:2.08 ]6OrL TmP  
    a#H=dIj  
    光栅#1结果 [e)81yZG>  
    d;S:<]l'  
    Ga f/0/|  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 $o\p["DP  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 F$r8 hj`  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    /og}e~q  
    wI>JOV7  
    XBhWj\`(T  
    &ukNzV}VW  
    光栅#2 ZJ"*A+IJx[  
    V.WfP*~NJ  
    7qE V5!  
    `Q26Dk  
    f<SSg* A;  
    •同样,只考虑此光栅。 mXc/sh")X  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 )I]E%ut{4,  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 +lJuF/sS8m  
    假设光栅参数: rQ}4\PTi  
    •光栅周期:250 nm ]+0-$t7Y  
    •光栅高度:490 nm y NV$IN%  
    •填充因子:0.5 JoW*)3Z  
    •n1:1.46 6AUzS4O  
    •n2:2.08
    QZ{&7mc>  
    XyS#6D  
    光栅#2结果 6(9Ta'ywZ  
    6?*iIA$b  
    &4*&L.hPM^  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 $pk3d+0B  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 $ O}gl Q  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 yfTnj:Fz  
    0nx <f>n  
    x(}tr27o  
    文件信息 ?; )(O2p  
    1+eC'&@Xjt  
    74gU 4T  
    gp-wlu4  
    #PXl*~PrQ/  
    QQ:2987619807 |Q9S$l]  
     
    分享到