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摘要 )w_hbU_Pb& M(|6YF7u 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 !>8/Xz~- gj@>9 l:.q1UV 概述 3+4U?~^k* r+W;}nyf k^{}p8;3 •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 qydRmi •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 cHAq[Ebp2! •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 INRP@Cp1 _g]h \3
1G}\IK1+ &-c{ 衍射级次的效率和偏振 (R|_ 6[zy d1>L&3HKx 2)\gIMt% •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 NtDxwzj •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 |I2~@RfpO: •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 0-~F%:x •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 0PdX>h.t •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 Yma-$ytp
:m[HUh 9$WA<1PK+ 光栅结构参数 9zD,z+ +'"NKZ.>TT n.b_fkZNr •此处探讨的是矩形光栅结构。 XE`u •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 9TUB3x^ •因此,选择以下光栅参数: m5%E1k$= - 光栅周期:250 nm d9.I83SS - 填充系数:0.5 ^fEer - 光栅高度:200 nm \GdsQAF" - 材料n1:熔融石英 ]A,Og_g - 材料n2:TiO2(来自目录) ):st-I!o Ro.br:'Bw mum4Uj >*1YL)DBT\ 偏振状态分析 APv&
^\oUH C5^9D mNPz%B •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 }Sh3AH/ •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 [<JY[o= •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 CTf39R|7_ 4vMjVbr
, D} D9r4oRkP* 产生的极化状态 2&0#'Tb _}l7f
#^9a[ZLj0 0I}c|V'P ~mvD|$1z 其他例子 C4|H5H ^TqR0a-* 6Zmzo,{ •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 4p&YhV7j)o •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 bb!cZ>Z *d}{7UMy# blmY=/] /MbWS(RT 光栅结构参数 5iZ;7
?( ;edt["Eu "q7pkxEuJ •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 D%h_V>#z •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 S20E}bS:> •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 `e}6/~R` •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 Wo,fHY
<]u]rZc$ g)=-%n'RoE 光栅#1 iz:O]kI S<Uv/pn
tREC)+*\ r~; TId} # 9@ 8)ZHf •仅考虑此光栅。 ?dQ#%06mn •假设侧壁表现出线性斜率。 |K'7BK_^J •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 s%@HchZ 1 •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 !UX7R\qu| +5ue)` SAUG+{Uq 假设光栅参数: 'ExTnv ~ •光栅周期:250 nm m8z414o •光栅高度:660 nm FfibR\dhY •填充系数:0.75(底部) 4FcY NJq •侧壁角度:±6° W-ol*S •n1:1.46 V w5@)l*f •n2:2.08 .!Q?TSQ+{! `E5vO1Pl 光栅#1结果 FSyeDC^@ e%v0EJ}, lKLb\F% •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 V6tUijz •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 #yR@.&P •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 )Zit6I 8@BN6 ~MZ.988:< ^A;(#5A]7 光栅#2
4d )Q RLUH[[
W=?s-*F[~ (0QYX[(r~o 1/vcj~|)t •同样,只考虑此光栅。 Z=y^9] •假设光栅有一个矩形的形状。 )!C|DSw •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 m|k:wuzqK 假设光栅参数: FW!1 0K? •光栅周期:250 nm few=`%/ •光栅高度:490 nm #{Gojg`5O •填充因子:0.5 ~e R6[; •n1:1.46 bPo*L~xdk •n2:2.08 = ms
o1 S0-/9h 光栅#2结果 UZ3oc[#D=] te8lF{R JnBg;D|)@ •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。
O^I%Xk •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 * 57y.](w •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 cT,5xp"a pk2}]jx"
7d'gG[Z^^ 文件信息 1
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parc\]M ]WP[hF zMmVYx QQ:2987619807 `PeWV[?
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