-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-07-14
- 在线时间1813小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 p5;,/
|Ft ENXW#{N.v 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 \1`DaQp7 5'c+313 lm O|OSE 概述 f93rY< @EP{VV Na 9l# •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 R c:cVK •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 hW!@$Ph •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 2@m(XT
( }:9|*m<$t
yp2 'KES> "o# )vA` 衍射级次的效率和偏振 v(@+6#& -=[o{r` XJlDiBs9=Q •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 [+MH[1Vr={ •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 Z>Kcz^a# •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 {`Fx~w;i •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 o(X90X •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 :Bv&)RK
]i,Mq ^W[B[Y<k 光栅结构参数 :^-HVT)qF snTJe[^d K!-&Zv •此处探讨的是矩形光栅结构。 :S99}pgY •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 A.$VM# •因此,选择以下光栅参数: z)W#&JFF - 光栅周期:250 nm g?A5'o&Yu - 填充系数:0.5 x)#<.DX - 光栅高度:200 nm $-fj rQ - 材料n1:熔融石英 +NLQYuN - 材料n2:TiO2(来自目录) 3<)@ll m['v3m: g=oeS%>E wwK~H 偏振状态分析 ndKvJH 4 Ic{'H2~4, q]iKz%|Z/ •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 @wB'3q}( •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 m.HX2(&\3 •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 .sJys SA\ *3F /Ft5
]cLEuE^& S4 k^&$; 产生的极化状态 }/7.+yD !4 4mT'Y
K.V!@bPlw9 XMeL^|D DX&lBV 其他例子 n&YW".iG *,pZ fc w8ZHk?: •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 C>JekPeM •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 OXIu>jF I!F}`d 5I)~4.U|,m i3M?D}(Bs 光栅结构参数 tyn?o cYq']$] Yhc6P%{Z^ •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 h7de9Rt •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 2<y}91N: •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 `Ct'/h{
•当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 <4l.s
To# E@Nw "q9~C 光栅#1 }sTH.% L)kb (TH
#514a(6 =2.tu*!C RI[7M ( •仅考虑此光栅。 {(m+M •假设侧壁表现出线性斜率。 l5ZADK4 •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 &jXca| wAR •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 2A*X Hvwb
^MWEfPt 1R'u v4e 假设光栅参数: 5YTb7M •光栅周期:250 nm _XH4;uGg •光栅高度:660 nm 7gVh!rm •填充系数:0.75(底部) iXUWIgr •侧壁角度:±6° g:3d<CS •n1:1.46 >u9id>+ •n2:2.08 'L>&ZgLy ]~j_N^oZ1X 光栅#1结果 #Acon7Rp )CC?vV jgo e^f •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 ^3Z7dIUww •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 7af?E)}v •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 eW\?eq+ `A %+AS0 JhB 88 Fb1!a5Z 2gQY8h8 光栅#2 8Zcol$XS' wFK:Dp_^
4o1Q7 ]^iFqQe +G*"jI8W •同样,只考虑此光栅。 tyc8{t#Z •假设光栅有一个矩形的形状。 );Tx5Z} •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 3+CSQb8 假设光栅参数: ?8Hn{3X •光栅周期:250 nm QRsqPh&- •光栅高度:490 nm r+imn&FK8 •填充因子:0.5 -vyIOH, •n1:1.46 !7A"vTs •n2:2.08 8q_1(& O @IEI%vH 光栅#2结果 U>/<6Wd @rPI$ia1~ >]>0KQfO •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 +90u!r^v •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 7[ZkM+z! •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 =}~NRmmF Oq #o1>
Cr'
!"F 文件信息 |$YyjYK F{TC#J}I%'
DBQOxryP>o 8# 6\+R \\Y,?x_0T QQ:2987619807 zt7_r`#z
|