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    [分享]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-25
    摘要 p5;,/ |Ft  
    ENXW#{N.v  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 \1`DaQp7  
    5'c+313 lm  
    O|OSE  
    概述 f93rY<  
    @EP{VV  
    Na 9l#  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 Rc:cVK  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 hW !@$Ph  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 2@m(XT (  
    }:9|*m<$t  
    yp2'KES>  
    "o#)vA`  
    衍射级次的效率和偏振
    v(@+6#&  
    -=[o{r`  
    XJlDiBs9=Q  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 [+MH[1Vr={  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 Z>Kcz^a#  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 {`Fx~w;i  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 o(X90X  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 :Bv&)RK  
    ]i,Mq  
    ^W[B[Y<k  
    光栅结构参数 :^-HVT)qF  
    snTJe[^d  
    K!- &Zv  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 :S99}pgY  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 A.$VM#  
    •因此,选择以下光栅参数: z)W#&JFF  
    - 光栅周期:250 nm g?A5'o&Yu  
    - 填充系数:0.5 x)#<.DX  
    - 光栅高度:200 nm $-fjrQ  
    - 材料n1:熔融石英 +NLQYuN  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) 3<)@ll  
    m['v3m:  
    g=oeS%>E  
    wwK~H  
    偏振状态分析 ndKvJH4  
    Ic{'H2~4,  
    q]iKz%|Z/  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 @wB'3q}(  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 m.HX2(&\3  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 .sJys SA\  
    *3F /Ft5  
    ]cLEuE^&  
    S4k^&$;  
    产生的极化状态 }/7.+yD  
    !4 4mT'Y  
    K.V!@bPlw9  
    XMeL^|D  
    DX&lBV  
    其他例子 n&YW".iG  
    *,pZ fc  
    w8ZHk?:  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 C>JekPeM  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 OXIu>jF  
    I!F}`d  
    5I)~4.U|,m  
    i3M?D}(Bs  
    光栅结构参数 tyn?o  
    cYq']$]  
    Yhc6P%{Z^  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 h7de9Rt  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 2<y}91N:  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 `Ct'/h{  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 <4l.s  
    To#E@Nw  
    "q9~ C  
    光栅#1 }sTH.%  
    L)kb (TH  
    #51 4a(6  
    =2.tu*!C  
    RI[7M (  
    •仅考虑此光栅。 {(m+M  
    •假设侧壁表现出线性斜率。  l5ZADK4  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 &jXca|wAR  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 2A*X Hvwb  
    ^MWEfPt  
    1R'u v4e  
    假设光栅参数: 5YTb7M  
    •光栅周期:250 nm _XH4;uGg  
    •光栅高度:660 nm 7gVh!rm  
    •填充系数:0.75(底部) iXUWIgr  
    •侧壁角度:±6° g:3d<CS  
    •n1:1.46 >u9id>+  
    •n2:2.08 'L>&ZgLy  
    ]~j_N^oZ1X  
    光栅#1结果 #Acon7R p  
    )CC?vV  
    jgo e^f  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 ^3Z7dIUww  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 7af?E)}v  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    eW\?eq+ `A  
    %+AS0 JhB  
    88Fb1!a5Z  
    2gQY8h8  
    光栅#2 8Zcol$XS'  
    wFK:Dp_^  
    4o1Q7  
    ]^iFqQe  
    +G*"jI8W  
    •同样,只考虑此光栅。 tyc8{t#Z  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 );Tx5Z}  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 3+CSQb8  
    假设光栅参数: ?8Hn {3X  
    •光栅周期:250 nm QRsqPh&-  
    •光栅高度:490 nm r+imn&FK8  
    •填充因子:0.5 -vyIOH,  
    •n1:1.46 !7A"vTs  
    •n2:2.08
    8q_1(& O  
    @IEI%vH  
    光栅#2结果 U>/<6 Wd  
    @rPI$ia1~  
    > ]>0KQfO  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 +90u!r^v  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 7[ZkM+z!  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 =}~NRmmF  
    Oq #o1>  
    Cr' ! "F  
    文件信息 |$YyjYK  
    F{TC#J}I%'  
    DBQOxryP>o  
    8# 6\+R  
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    QQ:2987619807 zt7_r`#z  
     
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