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摘要 <;O=h;
~| }OY]mAv-B 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 n8<o*f&&9> @X`~r8&
K&FGTS, 概述 GMmz`O
XN VBc[(8o *9:oTN •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 dWHl<BUm •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 6k6M&a •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 s( @w1tS. zNSix!F
V]b1cDx{ 5.gM]si 衍射级次的效率和偏振 <viIpz2jh% csn/h$`-@ 9pPb]v,6 •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 _XT]," •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 xml@]N*D#E •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 RjS;Ck@; •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 {FzL@!|| •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 oI=7X*B9
cBf9-k @$FE}j_ 光栅结构参数 (IXiwu qW]gp7jK4 n^|;J*rD •此处探讨的是矩形光栅结构。 t~pA2?9@ •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 "zW3dKVc •因此,选择以下光栅参数: 1);$#Dlt
k - 光栅周期:250 nm -q7A\8C - 填充系数:0.5 3L/qU^` - 光栅高度:200 nm PfX{n5yBW8 - 材料n1:熔融石英 X!5N2x - 材料n2:TiO2(来自目录) M=[ /v/M= :V2"<] 9 tZ)#@\ N;,?k.vU 偏振状态分析 SQ#6~zxl TJ(P TB; Hj
]$ •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 Ke-Q>sm2Q •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 VlKy6PSIg •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 #!p=P<4M
\~xI#S@
8Ml&lfn_8 y e!Bfz> 产生的极化状态 <4jQbY; zx^]3}
kTQ:k
}%B Tk s;,C 0z?b5D; 其他例子 &SS"A*xg Du3OmXMk zM6yUEg •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 ~^/zCPy[w •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 Cpaeo0Oq
?7-#iC` ~45u
a Myss$gt} 光栅结构参数 /=Ug}%. 9dA(f~ `;fh<kv •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 mY-Z$8r •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 =/=x"q+X •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 zjgK78!< •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 1wUZ0r1'
j`Lf/S!} O;M_?^'W 光栅#1 =fMSmn1S /R#-mY
':#?YQ}2 47I:o9E Fk D •仅考虑此光栅。 2>Kq)Ii •假设侧壁表现出线性斜率。 43rM?_72 •蚀刻不足的部分基板被忽略了。
N>`+{ •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 >`*iM ;a!o$y *lv)9L+0 假设光栅参数: c5P52_@ •光栅周期:250 nm i=_leC)rl •光栅高度:660 nm 7UHqiA`L •填充系数:0.75(底部) $oE 4q6b •侧壁角度:±6° ^7q=E@[e •n1:1.46 0kgK~\^,.O •n2:2.08 ]6OrL
TmP a#H=dIj 光栅#1结果 [e)81yZG> d;S:<]l' Ga f/0/| •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 $o\p["DP •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 F$r8hj` •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 /og}e~q wI>JOV7 XBhWj\`(T &ukNzV}VW 光栅#2 ZJ"*A+IJx[ V.WfP*~NJ
7qE V5! `Q26Dk f<SSg*A; •同样,只考虑此光栅。 mXc/sh")X •假设光栅有一个矩形的形状。 )I]E%ut{4, •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 +lJuF/sS8m 假设光栅参数: rQ}4\PTi
•光栅周期:250 nm ]+0-$t7Y •光栅高度:490 nm y NV$IN% •填充因子:0.5 JoW*)3Z •n1:1.46 6AUzS4O •n2:2.08 QZ{&7mc> XyS#6D 光栅#2结果 6(9Ta'ywZ 6?*iIA$b &4*&L.hPM^ •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 $pk3d+0B •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 $O}gl Q •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 yfTnj:Fz 0nx
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x(}t r27o 文件信息 ?;)(O2p 1+eC'&@Xjt
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