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    [分享]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-25
    摘要 wWYo\WH'  
    m!Y4+KTwD`  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 H8!; XB  
    <@.!\  
    g9~QNA  
    概述 P>U7RX e  
    $I0&I[_LzK  
    '@6O3z_{  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 .n\j<Kq  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 Z\[6 'R4.#  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 "J(T?|t  
    O'rz  
    ]0o_- NI  
    ;$.^  
    衍射级次的效率和偏振
    m'n<.1;1{j  
    0{^ 0>H0  
    #i;y[dQ  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 f|+aa6hN  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 +b sc3  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 E"<-To  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 Mg~62u  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 |S6L[Uo  
    j^5VmG  
    M o?y4X  
    光栅结构参数 dBm!`;r4  
    0<[g7BbR  
    \x=j  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 pqF!1  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 Vi=u}(*  
    •因此,选择以下光栅参数: a7U`/*  
    - 光栅周期:250 nm 'O^<i`8U]  
    - 填充系数:0.5 S*l=FRFI  
    - 光栅高度:200 nm #O1%k;BL  
    - 材料n1:熔融石英 wbQs>pc  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) \=2<< iv  
    0'Uo3jAB  
    ruU &.mZ  
    ,a34=,  
    偏振状态分析 +.J/7 gD  
    O77^.B  
    1|WrJ-Uf  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 g1{2E<b 5  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 nV/;yl4e{  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 8&wN9tPYZ  
    je;|zfe]  
    !NO)|N>  
    P,<pG[^K  
    产生的极化状态 :h8-y&;  
    [:MFx6  
    ;;  ?OS  
    EkpM'j=  
    PiJ >gDx  
    其他例子 r7+Ytr  
    9jI5bi)  
    HhB&vi  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 ih=O#f|  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 3of0f{ZTj  
    +W+o~BE  
    Ksff]##H  
    2*@@Bw.XA  
    光栅结构参数 wCt!.<, .  
    .23Yqr'zT  
    y_M,p?]^,  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 D+xPd<  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 u>*d^[zS  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 "R0(!3  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 WelB"L  
    -Mzm~@_s]  
    ~\OZEEI  
    光栅#1 1T 8|>2m 3  
    \ZtF,`Z  
    ^wD@)Dz  
    A5^tus/y  
    cuQAXqXC@  
    •仅考虑此光栅。 r*g<A2g%  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 R6`,}<A]@  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 &~"e["gF=  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 nEgYypwr  
    ~\UAxB=  
    {-l:F2i  
    假设光栅参数: $O9,Gvnxx  
    •光栅周期:250 nm do DpTwvh  
    •光栅高度:660 nm y eWB.M~X  
    •填充系数:0.75(底部) fzr0dcNgM  
    •侧壁角度:±6° P;K <P  
    •n1:1.46 *n_7~ZX  
    •n2:2.08 5OC{_-  
    uF\ ;m.  
    光栅#1结果 }{F1Cr   
    #;hYJ Y  
     h@+(VQ  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 Gg3< }(  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 wZb7 7  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    "$U!1  
    kqZ+e/o>O9  
    s!?T$@a=  
    /{!?e<N>  
    光栅#2 u&r+ylbs I  
    }TG=ZVi  
    'a=' (,%  
    vJsx_ i\i  
    wY*tq{7  
    •同样,只考虑此光栅。 HG&rE3@  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 +&.wc;mi  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 %<h+_(\h  
    假设光栅参数: c52S2f7  
    •光栅周期:250 nm :ywm4)  
    •光栅高度:490 nm dReJ;x4  
    •填充因子:0.5 1{?5/F \ +  
    •n1:1.46 ~JTp8E9kw  
    •n2:2.08
    ,rWej;CzN  
    v|wO qS  
    光栅#2结果 cc:,,T /i  
    lH"4"r  
    c3C<P  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 =4804N7  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 f~{4hVA  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 R_B`dP<"~Y  
    /yFs$t >9  
    -P-&]F5  
    文件信息 c. 06Sw*  
    \pVWYx  
    ,L$, d  
    CQ:38l\`gd  
    b>f{o_  
    QQ:2987619807 x?RYt4S  
     
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