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摘要 ^B5cNEO NoO+xLHw8 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 DjzUH{6O ~snF20 -?nT mzRc 概述 +qj*P9 06^1#M$' nbASpa( •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 zf,%BI[Hr •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 KKjxg7{K •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 Dsj|~J3 o~x39
vaRwhE: MpA;cw]cI/ 衍射级次的效率和偏振 R==cz^# I\upnEKKzZ [DxefYyI •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 M>jBm
. •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 hY}/Y •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 =kb6xmB^t •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 e[QxFg0E •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 VS9]po>=
|jk-@ Z* c',:@2R 光栅结构参数 Q+d.%qhc Aw4?y[{H (]Ye[j^"7 •此处探讨的是矩形光栅结构。 WBr:|F+~s •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 ojx'g8yO •因此,选择以下光栅参数: yQZ/,KX - 光栅周期:250 nm #*$_S@ - 填充系数:0.5 vx!::V7s6 - 光栅高度:200 nm -R&E |