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摘要 6qF9+r&e? J9V,U;"\ 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 `%<^$Ng; ')82a49eA $%"?0S 概述 qHf8z;lc 6p)dO
c3L z:JQ3D7/we •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 y yqya[-11 •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 NN"!kuM •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 =K8z8K? &~&nJr
?Mj@;O9>' .?NraydwV 衍射级次的效率和偏振 7@u:F?c lG/h[ 4RDdfY\%u •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。
.% {4B,d$ •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 cd3;uB4\, •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 Pu `;B •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 7dq*e4z) •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 _I<LB0kgf.
;+NU;f/WM cP,bob] 光栅结构参数 --BS/L- ^E}};CsT <
/\y<]b •此处探讨的是矩形光栅结构。 RS9mAeX4h •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 W*jwf@
0 •因此,选择以下光栅参数: dOx0'q"Z - 光栅周期:250 nm E%np-is{1 - 填充系数:0.5 M
#)@! - 光栅高度:200 nm [7sy}UH - 材料n1:熔融石英 :@c\a99Kx - 材料n2:TiO2(来自目录) >21f%Z u0?,CQPL b.lK0 Xo |9x H9@^f 偏振状态分析 uNXKUJ V0 ? 1
~C`I; E,$5V^
9 •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 W"&Y7("y •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 [~UCYYl •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 :+Okv$v4 $*N)\>~X
Pp~:e} k*$[V17 产生的极化状态 ,5J}Wo?Q} am(jmf::
ffgb3 5* 3T+OK ['#3GJz- 其他例子 rc ()Eo50 \`N<0COP R8n/QCeY{ •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 KoF_G[m •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 n[tES6u -JwwD6D p&Ev"xhs '~;vp 光栅结构参数 aA3KJa EN/e`S$) ;:#g\|(<+ •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 h&O8e;S# •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 gkRbb
•由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 &* 1iW(x •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 SU80i`
MB:*WA& R(dOQ. ; 光栅#1 vAH `tPi> z(JDLd
N}5'Hk4+ |xX>AMZc)D dp~] Wx •仅考虑此光栅。 [)L) R` •假设侧壁表现出线性斜率。 BMxe)izT; •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 Ubf@"B •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 ,p7W4;?4 2Pz)vnV" 1C]mxV=% 假设光栅参数: Y}UVC|Ef •光栅周期:250 nm A$;"9F@ •光栅高度:660 nm }[c,/NH •填充系数:0.75(底部) -FrNk> •侧壁角度:±6° KE*8Y4#9 •n1:1.46 \\{+t<?J •n2:2.08 :$5$H O=2SDuBZ 光栅#1结果 at5>h m\xlSNW'q 9zs!rlzQ •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 8 O% ?t •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 X^c2 •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 y L|'K} JK_(!
/lqVMlz\77 O[RivHCY 光栅#2 @M_p3[c\ b<1+q{0r
y3{F\K 9#iv|X n)xLEx, •同样,只考虑此光栅。 || 0n%"h>i •假设光栅有一个矩形的形状。 ey ; 94n:< •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 | g[iK1 假设光栅参数: ^p}|""\j •光栅周期:250 nm rmh 1.W •光栅高度:490 nm lwj,8 •填充因子:0.5 LzE$z, •n1:1.46 EnD}|9
•n2:2.08
Vq>$ZlvS 5wgeA^HE2y 光栅#2结果 9f U,_`r DLBHZ?+! _C nl|' •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 zC<k4[ . •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 K#_x.:<J •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 PbpnjvVrM GX-V|hLaGX
_j Ck)3KO 文件信息 &upM,Jsr* L$rMfeS
?vn9HhTD .`@)c/<0 >A_:qyGk QQ:2987619807 _G0_<WH6
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