切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1318阅读
    • 0回复

    [分享]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    在线infotek
     
    发帖
    6663
    光币
    27464
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-25
    摘要 6qF9+r&e ?  
    J9V,U;"\  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 `%<^$Ng;  
    ')82a49eA  
    $%"?0S  
    概述 qHf8z;lc  
    6p)dO c3L  
    z:JQ3D7/we  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 y yqya[-11  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 NN"!kuM  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 =K8z8K?  
    &~&nJr  
    ?Mj@;O9>'  
    .?NraydwV  
    衍射级次的效率和偏振
    7@u:F?c  
    lG/h[  
    4RDdfY\%u  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 .% {4B,d$  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 cd3;uB4\,  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 Pu`;B  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 7dq*e4z)  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 _I<LB0kgf.  
    ;+NU;f/WM  
    cP,bob]  
    光栅结构参数 --BS/L-  
    ^E}};CsT  
    < /\y<]b  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 RS9mAeX4h  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 W*jwf@ 0  
    •因此,选择以下光栅参数: dOx0'q"Z  
    - 光栅周期:250 nm E%np-is{1  
    - 填充系数:0.5 M # ) @!  
    - 光栅高度:200 nm [7sy}UH  
    - 材料n1:熔融石英 :@c\a99Kx  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) >21f%Z  
    u0?,CQPL  
    b.lK0 Xo  
    |9x H9@^f  
    偏振状态分析 uNXKUJ V0  
    ? 1 ~C`I;  
    E,$5 V^ 9  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 W"&Y7("y  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 [~U CYYl  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 :+Okv$v4  
    $*N)\>~X  
    Pp ~:e}  
    k*$[V17  
    产生的极化状态 ,5J}Wo?Q}  
    am(jmf::  
    ffgb 3  
    5* 3T+OK  
    ['#3GJz-  
    其他例子 rc()Eo50  
    \`N<0COP  
    R8n/QCeY{  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 KoF_G[m  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 n[tES6u  
    -JwwD6D  
    p&Ev"xhs  
    '~;vp  
    光栅结构参数 aA3KJa  
    EN/e`S$)  
    ;:#g\|(<+  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 h&O8e;S#  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 gkRbb   
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 &* 1iW(x  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 SU80i`  
    MB:*WA&  
    R(dOQ. ;  
    光栅#1 vAH`tPi>  
    z(JDLd  
    N}5'Hk4+  
    |xX>AMZc)D  
    dp~] Wx  
    •仅考虑此光栅。 [)L)R`  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 BMxe)izT;  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 Ubf@"B  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 ,p7W4;?4  
    2Pz)vnV"  
    1C]mxV=%  
    假设光栅参数: Y}UVC|Ef  
    •光栅周期:250 nm A$;"9F@  
    •光栅高度:660 nm }[c ,/NH  
    •填充系数:0.75(底部) -FrNk>  
    •侧壁角度:±6° KE*8Y4#9  
    •n1:1.46 \\{+t<?J  
    •n2:2.08 :$5$H  
    O=2SDuBZ  
    光栅#1结果 at5>h   
    m\xlSNW'q  
    9zs!rlzQ  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 8 O% ?t  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 X^c2  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    y L|'K}  
    JK_(!  
    /lqVMlz\77  
    O[RivHCY  
    光栅#2 @M_p3[c\  
    b<1+q{0r  
    y3{ F\K  
    9#iv|X  
    n)xLEx,  
    •同样,只考虑此光栅。 || 0n%"h>i  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 ey ;94n:<  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 | g[iK1  
    假设光栅参数: ^p}|""\j  
    •光栅周期:250 nm rmh 1.W  
    •光栅高度:490 nm lw j,8  
    •填充因子:0.5 LzE$z,  
    •n1:1.46 EnD }|9  
    •n2:2.08
    Vq>$ZlvS  
    5wgeA^HE2y  
    光栅#2结果 9f U,_`r  
    DLBHZ?+!  
    _Cnl|'  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 zC<k4[.  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 K#_x.: <J  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 PbpnjvVrM  
    GX-V|hLaGX  
    _jCk)3KO  
    文件信息 &upM,Jsr*  
    L$rMfe S  
    ?vn9HhTD  
    .`@)c/<0  
    >A_:q yGk  
    QQ:2987619807 _G0_<WH6  
     
    分享到