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摘要 t Sf` S}cm.,/w 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 - '5OX/Szq SpUcrK;1 oXkxd3 概述 <U]#722 ,4%'~8'3 ;1 02ddRV •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 2 9=L7 •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 1JoRP~mMxa •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 ]%5DuE\M8\ Zj8aD-1]U^
! G+/8Q^ ii@O&g 衍射级次的效率和偏振 O{9h'JU Q[k7taoy K-nf@o+ •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 \'40u|f •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 v+|N7 •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 ^KJIT3J(# •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 ZrFC#wJb •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 43Yav+G(+
J$?*qZ(oO $Y4;Xe= 光栅结构参数 217KJ~)' O`hOVHDQ vO2 o/
•此处探讨的是矩形光栅结构。 dZ7+Iw;m •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 ~a5p_x P •因此,选择以下光栅参数: ?b~V uo - 光栅周期:250 nm ~sQN\]5VW - 填充系数:0.5 /)PD+18 - 光栅高度:200 nm 6 /Apdn1[ - 材料n1:熔融石英 DT@6Q. - 材料n2:TiO2(来自目录) RYaf{i` <"@~
B;?"R 3~4e\xL 偏振状态分析 E
VBB:*q6 wNW9xmS i(JBBE" •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 z2&SZ.mk •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 RTNUHz;{L •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 cRX0i;zag z1ltc{~Z
pCNihZ~ )dJaF#6j 产生的极化状态 vvLm9Tw hp}J_/+4n
'@u/] ra: EW{z?/ V$+xJ m 其他例子 })|+tZ 6v0^'} $LZf&q:\]* •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 DA@YjebP' •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 85l 1 tqIz$84G IBWUeB:b a2*WZc` 光栅结构参数 Xz0jjO, SU9#Y|I W 0Q-&4 •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 :Q sGwhB •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 T"'"T]^
X •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 I -i)D •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 SG8H~]CO)
50(/LV1 qu8i Jq 光栅#1 /J8AnA1 viAvD6e
FK{YRt UnZ*"% =eSG7QfS •仅考虑此光栅。 7ju7QyR •假设侧壁表现出线性斜率。 y>u+.z a| •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 |^Z1 D TAw •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 %lV&QQa R)t"`'6| rSB"0W7 假设光栅参数: {SW104nb •光栅周期:250 nm J
/'woc •光栅高度:660 nm S)z
jfJR •填充系数:0.75(底部) fSl+;|Kn •侧壁角度:±6° !'B.ad •n1:1.46 :KZI+ •n2:2.08
"=H7p3 \CB{Ut+s 光栅#1结果 bc5+}&W ?};}#%971 BXaA#} ;e •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 yEtSyb~GK •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 =+97VO(w]G •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 e6k}-<W*q X^?<, Y)1. xzy7I6X ];^A8? 光栅#2 6
EE7<& Rs{L
k _hiGg ${KDGJ,^ >c\'4M8Cz •同样,只考虑此光栅。 ;Mc\>i/ •假设光栅有一个矩形的形状。 E*7B5 •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 E$34myOVf 假设光栅参数: w]UYD;f •光栅周期:250 nm +%6{>C+bZo •光栅高度:490 nm p(%7|' •填充因子:0.5 -Uq I=# •n1:1.46 Gk8"fs •n2:2.08 5P
-IZ8~$ ]o_Z3xXUa 光栅#2结果 4/S4bk*8 v@LK3S/!3 EkEM|<GNd •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 5l2Ph4( •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 ]/HSlT= •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 AR]y p{NS RhnSQe
-wC;pA#o 文件信息 WHqp7NPl ]P(:z
"dXRUg" ?2%d;tW bAeC=?U QQ:2987619807 Va\dMv-b
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