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摘要 Ae5A@4 FvT&nb{ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 [8ZDMe q ` S
~w $v>q'8d c!w[)>v 本用例展示了...... <H64L*,5'7 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: R~<N*En~ - 矩形光栅界面 /*C!]Z>. - 过渡点列表界面 hB[bth
- 锯齿光栅界面 H3wJ5-q( - 正弦光栅界面 Q:kg •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 s.M39W? rfV'EjiM} 光栅工具箱初始化 jUT`V
ZK4& •初始化 Z% +$<J - 开始 lHiWzt
u 光栅 !ooi.Oz*Tu 通用光栅光路图 -TD\?Q •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, FNGa4 可直接选择特定的光路图。 &5
7c!) b'wy{~l@ \?
/' F .S^KK 光栅结构设置 r8"2C# •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 tSy 9v %oBP6|e •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 zJXK:/ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 /xX7:U b nbxY'`8F d&3"?2IQ +~n:*\ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 {@X>!] ByY^d#oE 堆栈编辑器 &mX_\w/% •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 Y:CX RU6eD •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 =A!oLe$% sOqFEvzo1% |!FQQ(1b RUY7Y? 矩形光栅界面 SM~ ~: RKLE@h7[? •一种可能的界面是矩形光栅界面。 DN:|
s+Lz •此类界面适用于简单二元结构的配置。 :2lpl%/ •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 L#SW! •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 cr;:5D%_ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 ILr=<j 1 b7jNkQ k'r} @-X Y. J!]| 矩形光栅界面 7V%P •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 a~Dk@>+P> •所选界面在视图中以红色突出显示。 +iQ@J+k
_1[Wv? •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 <M\&zHv •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 YM`T"`f RP$u/x"b •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 yF\yxdUX# •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 \me5"ZU •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 7:B/?E ~!ooIwNNz OPN\{<`*d M|c_P)7ym A6[FH\f n*"r!&Dg 矩形光栅界面参数 k.C&6*l!5; •矩形光栅界面由以下参数定义 nA0%M1a - 狭缝宽度(绝对或相对) %%ouf06.| - 光栅周期 %Bw:6Y4LZ - 调制深度 JPF6zzl) •可以选择设置横向移位和旋转。 g8cBb5(L /4O))}TX wU|@fm" zG$5g^J 高级选项和信息
!p$p 7 •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 w71YA#cg •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 c2NB@T9'v •可以设置总级次数或衰逝波级次数 gy@=)R/~ (evanescent orders)。 CNb(\] •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 G_?U?:!AC •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 46]BRL2 G ]y.V#,6e 4Q0ZY(2 EO ^R:&c;&, •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 Nl[&rZ-& •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Lfn$Q3}O`$ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 c #TY3Z| •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 uGz)Vz&3 )Zr\W3yWX I#xdksY !`%j#bv 过渡点列表界面 XfE0P(sE •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 /69yR •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 MO$yst?fK •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 q83^?0WD 8Azh&c t@R[:n;+ 过渡点列表参数 oc)`hg2= •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
~qQZh u" •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 h&K$(}X B!pz0K*uG \t)va:y 7)QZ<fme •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 3N$@K"qM# •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 3"m]A/6C} •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 -XXsob}/8
i=\)[;U C]2-V1,ZX RAl/p9\A+ 高级选项及信息 #WZat
?-N •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 %W9R08` )qb'tZz/g_ UstUPO (Ff}Y.4 正弦光栅界面 - (WH+ •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 yVnG+R& •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 AE>W$x8P •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: F/ZFO5C% - 脊的材料:基板的材料 4ams~ - 凹槽材料:光栅前面的材料 _!1LV[x!s 0F-{YQr> peu9Bgs (9RfsV4^ 正弦光栅界面参数 g
ptf*^s - 正弦光栅界面也由以下参数定义: lND2Kb •光栅周期 d eT<)'" •调制深度 ZN#b5I2Pf - 可以选择设置横向移位和旋转。 Lo'pNJH;$ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 zEU[u7% 9[zxq`qT}+ Hc'Pp{| X +ZNOvcsV 高级选项和信息 z*h:Nt%. •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 iGSJ\ nfF$h}<o+ BJwuN %Zk6K!MY# 高级选项及信息 <~5O-.G] •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 I+H~ 5zq. iOg4(SPci "W"^0To 锯齿光栅界面 z(LR!hr •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 iGhvQmd(/* •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 6Yn>9llo}= •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: v^ @)&, - 脊的材料:基板的材料 ]TT >3"Dw7 - 凹槽材料:光栅前面的材料 't`h?VvL Ur#jJR@%3 q |&8XmexLb 锯齿光栅界面参数 zEFS\nP}E •锯齿光栅界面也由以下参数定义: nQmHYOF% - 光栅周期 #4mRMsW5" - 调制深度 ?)-6~p 4N •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
]S4"JcM •可以选择设置横向移位和旋转。 3[u-
LYW •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 O8.xt|
_aevaWtEx eR \duZ!` _ +DL 高级选项和信息 je^VJ&ac •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 :|s;2Y G^t)^iI"' 探测器位置的注释 ^nNY|
* 关于探测器位置的注释 (|<S%?}J •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 Zb=NcEPGy •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 a6n@
•但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 5kw
K% •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 d[9{&YnH ! •可以避免这些干涉效应的不良影响。 &Tt7VYJfIV GKIzU^f ,5 ka{Q`K 文件信息 pYQSn.`V~ [<@T%yq b5)^g+8)w K9EHT- E2r5Pg
QQ:2987619807 :4V5p
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