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h%o%fH&F! 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下,线型的横截面具有梯形形状,它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 gQ o] <Y*+|T+&d 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 (_niMQtF} S偏振照明的近场强度 K$&s=Hm P偏振照明的近场强度 $yn];0$J 傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 wF
IegC( -|J"s$yO4 参数扫描 m4TE5q% 3 ^WHE$4U` Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 ~k\fhx T_s_p 它会生成以下曲线图,显示反射和透射衍射级的强度: HTVuStM8 Hc!
mB 在脚本data_analysis/run_can_width.m中,线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化,照明角度固定。 !9u|fnC9 qIVx9jNN
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