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Ywt9^M|z; 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 ';.y`{/
[z7]@v6b 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 -R];tpddR5 S偏振照明的近场强度 E;4d lL`* P偏振照明的近场强度
!P=L0A`
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 YaQ5Z-c
8~.8"gQ 参数扫描 n) HV:8j~
&IDT[ J Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 MZX@Gi<S[
&E!m(|6?+ 它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： 5= 9Eb 5__B
M5| 在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 j3+ hsA/(k t(.vX
QQ：2987619807
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