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.O%1)p 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 ~EWfEHf*BJ h)l&K%4; 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 {e[pSD6 S偏振照明的近场强度 \R>5F\ 0 P偏振照明的近场强度 fy=C!N&/
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 |U$de2LF
IL2 Gsj)M 参数扫描 =
EChH@3
""v`0OP&J Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 MD
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cvXI]+`<3\ 它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： -,fa{ yt- V_A,d8=lt 在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 6|>\&Y!Q g=g.GpFt
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