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^v.,y3 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下,线型的横截面具有梯形形状,它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 4C}bJzZ uV 7BK+[O 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 F(t=!k,4\ S偏振照明的近场强度 Q#nOJ(KV P偏振照明的近场强度 dt2$`X18 傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 Vp>|hj po x\Z'2?u} 参数扫描 \GHiLs,! Bz5-ITX
Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 i1S>yV^l 2h[85\4 它会生成以下曲线图,显示反射和透射衍射级的强度: |&Ym@Jyj [oF|s-"9! 在脚本data_analysis/run_can_width.m中,线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化,照明角度固定。 3e(ehLc4DJ _/wV;h~R
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