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    [分享]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-06
    摘要 s $ ?;C  
    AL|3_+G  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 #j"GS/y"  
    m1M6N`f  
    ow#8oUf=  
    概述 Nr`v|_U  
    rnBp2'EM  
    z</^qy  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 -:Bgp*S  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 d"thM  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 j? Vs"d|  
    9G4os!x)  
    AsI.8"  
    C#L|7M??;  
    衍射级次的效率和偏振
    6Y9<| .  
    {"db1Gbfg  
    R0-Y2v  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 ulfs Z:  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 chM-YuN|  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 Ti>}To}B5  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 6xu%M&ht  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 7t+H94KG7  
    j_S3<wEJ  
    k;r[m ,$  
    光栅结构参数 X,D ]S@  
    2m9qg-W  
    +P.JiH`\=  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 ,Qj\_vr@  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 t<%+))b  
    •因此,选择以下光栅参数: B)rBM  
    - 光栅周期:250 nm e1hf{:&/G@  
    - 填充系数:0.5 Q+Eqaz`  
    - 光栅高度:200 nm 9 7pnq1b  
    - 材料n1:熔融石英 Hro)m"  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) j?VHR$  
    ^=qV)j  
    Y@+9Ukd/  
    He&A>bA)z  
    偏振状态分析 ] ~ }~d(  
    OK2\2&G  
    }&%&0$%  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 ""h%RhcZ\  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 P@Vs\wAT  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 kD6Iz$tr  
    bnV)f<  
    {vur9L  
    ]-l4  
    产生的极化状态 a~zh5==QD  
    .:tR*Kst`7  
    y8]vl;88yY  
    ~eUv.I/  
    Pt'=_^Io  
    其他例子 0UQ DB5u  
    c$_}   
    >"Zn# FY  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 FPEab69  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 &09G9GsnQ  
    |@hyGu-H+  
    S4OOm[8  
    ]Nue1xV_  
    光栅结构参数 EdZNmL3cB  
    !RN9wXS7  
    =UxKa`  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 fqn;,!D?9  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 'Y/8gD~.  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 k0xm-  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 B&}lYo  
    Zm#,Ike?#  
    |^#Z!Hp_Y  
    光栅#1 {wD "|K  
    t`1~5#?Du(  
    B'6(Ao=3/  
    $[b1_Db  
    yaAg!mW  
    •仅考虑此光栅。 #?~G\Ux0/  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 .iST!nh  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 3) XS^WG  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 .G|U#%"6x  
    p&HkR^.S  
    :BblH0'  
    假设光栅参数: (R!.=95@  
    •光栅周期:250 nm _;-b ZH  
    •光栅高度:660 nm VGOdJ|2]Wr  
    •填充系数:0.75(底部) $-gRD|oY  
    •侧壁角度:±6° ?y^ ix+ M  
    •n1:1.46 7Q aZ|\c  
    •n2:2.08 ]Y f8  
    w^S]HzMd  
    光栅#1结果 b+$-f:mj  
    s$/ Z+"f(  
    i^ eDM.#X  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 Y7`Dx'x  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 H#QPcp@  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    YV6w}b:  
    ^_o:Ddz?l"  
    x^ sTGd  
    3.%jet1  
    光栅#2 ~P9^4  
    bbWW|PtWwP  
    &9xcP.3  
    EHt(! ;?q  
    X{qa|6S,F  
    •同样,只考虑此光栅。 _61tE  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 I5g!c|#y  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 $oZV 54  
    假设光栅参数: i.+#a2   
    •光栅周期:250 nm T7*p! 0  
    •光栅高度:490 nm JwUz4  
    •填充因子:0.5 8 HdjZ!  
    •n1:1.46 OP DRV\  
    •n2:2.08
    {|tMN,Z  
    9RY}m7  
    光栅#2结果 1(4IcIR5T;  
    ^2mCF  
    cA`X(Am6]g  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 gR k+KGKn<  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 58Z,(4:E  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 ]$A6krfh|  
    M_\)<a(8  
    `R:HMO[ow  
    文件信息 1@Rl^ey  
    !^w}Sp  
    k7bfgb {  
    BEii:05  
    yzJTNLff  
    QQ:2987619807 L%4Do*V&  
     
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