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摘要 s$ ?;C AL|3_+G 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 #j"GS/y" m1M6N`f ow#8oUf= 概述 Nr`v|_U rnBp2'EM z</^qy •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 -:Bgp*S •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 d"thM •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 j? Vs"d| 9G4os!x)
AsI.8" C#L|7M??; 衍射级次的效率和偏振 6Y9<| . {"db1Gbfg R0-Y2v •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 ulfs Z: •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 chM-YuN| •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 Ti>}To}B5 •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 6xu%M&ht •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 7t+H94KG7
j_S3<wEJ k;r[m,$ 光栅结构参数 X,D ]S@ 2m9qg-W +P.JiH`\= •此处探讨的是矩形光栅结构。 ,Qj\_vr@ •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 t<%+))b
•因此,选择以下光栅参数: B)rBM - 光栅周期:250 nm e1hf{:&/G@ - 填充系数:0.5 Q+Eqaz` - 光栅高度:200 nm 97pnq1b - 材料n1:熔融石英 Hro)m" - 材料n2:TiO2(来自目录) j?VHR$ ^=qV)j Y@+9Ukd/ He&A>bA)z 偏振状态分析 ] ~}~d( OK2\2&G }&%&0$% •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 ""h%RhcZ\ •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 P@Vs\wAT •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 kD6Iz$tr bnV)f<
{vur9L ]-l4 产生的极化状态 a~zh5==QD .:tR*Kst`7
y8]vl;88yY ~eUv.I/ Pt'=_^Io 其他例子 0UQ
DB5u c$_} >"Zn#
FY •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 FPEab69 •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 &09G9G snQ |@hyGu-H+ S4OOm[8 ]Nue1xV_ 光栅结构参数 EdZNmL3cB !RN9wXS7 =UxKa` •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 fqn;,!D?9 •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 'Y/8gD~. •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 k0xm- •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 B&}lYo
Zm#,Ike?# |^#Z!Hp_Y 光栅#1 {wD "|K t`1~5#?Du(
B'6(Ao=3/ $[b1_Db yaAg!mW •仅考虑此光栅。 #?~G\Ux0/ •假设侧壁表现出线性斜率。 .iST!nh •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 3)XS^WG •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 .G|U#%"6x p&HkR^.S :BblH0' 假设光栅参数: (R!.=95@ •光栅周期:250 nm _;-b ZH •光栅高度:660 nm VGOdJ|2]Wr •填充系数:0.75(底部) $-gRD|oY •侧壁角度:±6° ?y^ ix+M •n1:1.46 7QaZ|\c •n2:2.08 ]Yf8 w^S]HzMd 光栅#1结果 b+$-f:mj s$/Z+"f( i^eDM.#X •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 Y7`Dx'x •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 H#QPcp@ •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 YV6w}b: ^_o:Ddz?l" x^
sTGd 3.%jet1 光栅#2 ~P9^4 bbWW|PtWwP
&9xcP.3 EHt(!;?q X{qa|6S,F •同样,只考虑此光栅。 _61tE •假设光栅有一个矩形的形状。 I5g!c|#y
•蚀刻不足的部分基板被忽略了。 $oZV 54 假设光栅参数: i.+#a2 •光栅周期:250 nm T7*p!0 •光栅高度:490 nm JwUz4 •填充因子:0.5 8HdjZ! •n1:1.46 OPDRV\ •n2:2.08 {|tMN,Z 9RY}m7 光栅#2结果 1(4IcIR5T; ^2mCF cA`X(Am6]g •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 gR k+KGKn< •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 58Z,(4:E •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 ]$A6krfh| M_\)<a(8
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