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摘要 %42a>piev R|C` 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 =8T!ldVxES e%JIqKS
9Y,JYc# RJWO h 光栅详细说明 M4C8K{} ?.VKVTX^
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61|:E n>ui'}L •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 GJ*IH9YR •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 L?[m$l!T} &|k=mxox\ 光栅阶次分析器设置 K'ZNIRr/C {1Ra|,; •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 0A)0Zw •可以指定各种输出选项。 fmz"Zg9= •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 blgA`)GI =PRQ3/?5
{}YA7M:L x
7by|G( 常规设置 ^w^e~0
S _Z0 .c@0
%b^4XTz t<Acq07 •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 g{]6*`/Z •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 Z`tmuu oPmz$]_Z 单个阶次设置 YcobK#c 0DicrnH8
o`S``?`^)^ >
ubq{' •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 M~2Us{ ` •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 S&!(h
{O i&:SWH= 单个阶次设置 NuQ!huh =1Sny7G *-9i<@|(U^ C .S BJ
e(8hSVcl4 z}MxMx
c4h 探测器标签页中的输出 C1D:Xi- 3lp'U&3`5
?sk>Mzr (.:*GUg •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 5C!zEI) •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 TTVmm{6 Z<.&fZ^jS 极坐标图中的输出 O^MI073Q>t UDG1F_&h ]<^2B?} r E m/Q! •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 b-<0\@`Z# •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 _^BA;S@ Xq;|l?,O 极坐标图设置 h <4`|Bg+ qYA~Os1e
R&Lqaek&W H'k}/<%Q •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 'SXHq>#gA •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 ef`_
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