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摘要 yAAV,?:o[ ~!S/{Un 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 Iprt
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~s-bA#0S ht*N[Pi4; 光栅详细说明 ftvu69f
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e^em^1H(
% 8 :WN@ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 vf zC2 •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 Nyt*mbd5
{ Qo:vAv 光栅阶次分析器设置 v4Wq0>o #]dq^B~~ •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ber&!9 •可以指定各种输出选项。 sj4\lpZ3h •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 fP:]s@$ pV(k6h
1.M<u)1GU /O<~n%< G 常规设置 ^ ^&H:q =/}Rnl+c
W/\pqH e/cHH34 •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 *xJ ]e. •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 yUWc8]9\W 9i U/[d 单个阶次设置 Fm=jgt3wv8
&a4FGzR#
sBYDo{01 \?oT.z5VG& •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 Ux1j +}y •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 6/#+#T A
+=# 单个阶次设置 `y61Bz =dH=3iCG )Nqx=ms[(! %f'=9pit
qtdkK LT U#[T!E 探测器标签页中的输出 H\V?QDn kkfBVmuW
X $V_ C+P.7]?& |