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摘要 zq|NltK 5<7sVd. 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 }0OQm?xh Nfmr5MU_
(/i|3 P (>*L-&- 光栅详细说明 UGoB7TEfn r[2*K 9
W/%9=g$m 5hDPX\ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 7De BeY •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 t
^1uj:vD "R%
RI(
y{ 光栅阶次分析器设置 2=naPTP( mdcsL~R •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 9]I{GyH •可以指定各种输出选项。 Bc< |