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摘要 X9~m8c){z C]`eH*z~8 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 Xy#VQ{! t ,qul4y}
"E*8h/4u |0{ i9.= 光栅详细说明 '=} Y2?( Q:S\0cI0
w1B<0'# ~SVQ;U)- •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 =LZ>su •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 ~Sy-gaJ %OI4a5V*l 光栅阶次分析器设置 2
X<nn |#TXE|#ux •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 =cfm=+ •可以指定各种输出选项。 ]Sta]}VQ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 $(>f8)Uku( PI7IBI
oA3d^%(c X9'xn 0n; 常规设置 ,0T)Oc|HL/ g'G8 3F
'TEyP56 A9BxwQU# •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 QAvWJydb •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 7b.U!Ju n0.8)=;2 单个阶次设置 WbzA Jx 5 rh $1-Y
\o9@[t>&2 ||a`fH •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 |h1^Gv •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 y<r44a_! v_-ls"l 单个阶次设置 -fM1$/] ",ad7Y7i }Z6nN)[|0Y ;a{rWz1Wm
Ck(.N #J.u 探测器标签页中的输出 Z90Fcp:R (^S5Sc=
X'2Gi #5d8?n •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 $Z7:#cZ Y •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 --/-D5 h]C2 8=N 极坐标图中的输出 Bi_J5 If 6ZHv,e`? NhtEW0xCr ZPYH#gC&T •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 u.&|CF- •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 Q}z{AZ QAXYrRu 极坐标图设置
H8"tbU ;5RIwD
_&mc8ftT Fs9W>*( •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 5|m9:Hv[# •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 ULbP_y>(Y O &\<F T5 阶次汇集输出 ;Yu>82o.: < |