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摘要 m%0p\Y-/ H[T?\Lq 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 YByLoM* .w:DFk^E]b
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PC]%:L" ),_@WW;k 光栅详细说明 S0$8@"~= GWGSd\z
"BAK !N$9 Oz.HH •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 >e
lJkq| •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 (xycJ`N j<u pRS,$ 光栅阶次分析器设置 6]i-E>p3R k``_EiV4t •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 REQ\>UO_ •可以指定各种输出选项。 >[)7U _|p •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 L]7=?vN=8 $Ph|e)p
[\]50=& K&u_R
常规设置 p;a,#IJu ;J'LS
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O8{k gE-tjoJ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 VCYwzB •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 4>YR{ KA5v +~ 单个阶次设置 "> ypIR< g_E$=j92v
VD AaYDi TT%M'5& •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 oE@a'*.\ •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 $B+8Of t}a: p6D] 单个阶次设置 A.F%Ycq ?JbilK}a `b&%Hm 3=#<X-);
|o"?gB}Dh goNG' o %| 探测器标签页中的输出 F-Qzrqu S xh-o}8*n"
[>3./YH` E*&vy •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 ;7*[Bcj. •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 t3WiomNCc ,i NXK 极坐标图中的输出 U)TUOwF @3i\%R)n;
Q>qUk@ (M|Dx\_ •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 d7^}tM •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 y8y5*e~A-) 3m[vXr? 极坐标图设置 krxo"WgD sfH_5
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W.jGGt\<\ QpH'PYy •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 $QF{iV@6d4 •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 <\y@*fg+ *tFHM &a 阶次汇集输出 FgnTGY}
x^qVw5{n Eh`7X=Z7E •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 =[ 46`-_ •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 hF?1y `20 KM0ru 阶次汇集设置 j3oV+zZ49 OdbEq?3S/?
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