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摘要 :phD?\!w8t hF PRC0ftE 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 e~~k}2~ Z*Hxrw\!0
*9:6t6x %T*+t"\) 光栅详细说明 u~T$F/]k> OcS`Fxs
fvAV[9/- \ A UtGP •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 8'\,&f`Y •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 S^"e5n2 uV:uXQni`` 光栅阶次分析器设置 p$G3r0@ s6hWq&C •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 `1v!sSR0R •可以指定各种输出选项。 I; }%k;v6 •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 d/zX% Fmle|
|g^W @.P C>;8`6_!gU 常规设置 iiDk k PC7.+;1
kb\v}gfiD/ (_5+`YsV •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 [hj'Yg 8{ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 Ln%_8yth #UN{
J6{ 单个阶次设置 F"P:9`/ S_;:iC]B
qtQ:7WO 1mPS)X_ •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 \$|UFx •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 \4X{\p< *B}R4Y|g 单个阶次设置 H 6<@ #zD+DBTAu =w?cp}HW LZ]pyoi
P(+ar#,G C:EoUu 探测器标签页中的输出 iDxgAV f* OHvzK8
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