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摘要 ?hHVawt Em?bV( 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 ,6J]oX (=
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sF[7pE $}+t|`*q8] 光栅详细说明 _9*3Mr)2N g$+ $@~
vr/*z euA zg>4/10P1q •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 ROb2g|YXG •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 3
vr T` 6ZKSet8 光栅阶次分析器设置 ^26vP7 e*K1"; •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 Ls51U 7 •可以指定各种输出选项。 U~H]w,^ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 o y{
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<l>o6K 常规设置 0q}k"(9 [ 'aSPA
LlbRr.wL x:dI :G •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 U}hQVpP# •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 3;v%78[&P n06T6oc 单个阶次设置 t:$^iUrx B\*"rSP\
pd%h5|*n; 2":{3=oW~ •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 <+3-(& •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 r" 4u)H> u?xXZ]_u- 单个阶次设置 Ga,+ V\|V1c `
b$u w Ah#bj8}
;cpQ[+$nKp Wy:xiP 探测器标签页中的输出 LKX; ^ Yl\p*j"Fid
NLnfCY-h A4Sb(X|j •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 jq_E{Dq1 •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 ']Z1n b 9lU"m_
QT4 极坐标图中的输出 $- 4 Zi <36z,[,kZ@
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!Bj •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 u*w'.5l •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 iCXKi7 SOg>0VH) 极坐标图设置 0cF+4,5 5yl[#>qt
X<p'& Gq)E,Ln&d •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 fg?4/]*T6 •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 -5X*y4# =sFLzAu8 阶次汇集输出 |i~Ab!*8n LFwRTY,G &\p=s.y?j •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 IVY{N/ 3| •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 'O:QS) $-*E 阶次汇集设置 D}i_#-^MH (U?*Z/
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