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摘要 7aS`SF #Fq6-]y1") 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 jCkYzQUPz a(QYc?u
+9M#-:qB Cjdw@v0; 光栅详细说明 dL!PpLR$2 XX+%:,G
h{#Hwp sk6C/ '0: •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 =c:K(N qL •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 eh`n?C @p~f*b4H? 光栅阶次分析器设置 HJ~0_n& as6a)t.^ •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 lcO;3CrJ! •可以指定各种输出选项。 WKek^TW4HE •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 =wEU+R_#o g$+ $@~
O1[`2kj^HB h'%iY6!fA 常规设置 cHP~J%&L e*K1";
l7vU{Fd-h^ $IUe](a{d •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 4b5'nu •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 0q}k"(9 B bP&-c 单个阶次设置 Oc A;+}> T3H\KRe6
/N=;3yWF 'fo.1 •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 KcPI,.4{ •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 EUGN`t-M $<DcbJW 单个阶次设置 e:`d)GE 5,vw%F-m
LeEv'] C]dK/~Z#r
jq_E{Dq1 n.L/Xp@gc 探测器标签页中的输出
Fm-D>PR F4:giu ht
}[FP"# @a~GHG[x •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 N$I@]PL •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 <& |