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摘要 Eln"RKCt}9 N:clwmo 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 cCU'~ C|W_j&S65
X<(h)&E :H\6wJ 光栅详细说明 r,MgIv(L Tc\^=e^N?
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,US~p_M! •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 A@_F ;4X •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 &6MGPh7T K~@-*8% 光栅阶次分析器设置 ez86+ J*,Ed51&7 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 PQvq$|q •可以指定各种输出选项。 /43DR;4 •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 8+
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N!"GwH 1w+&Y;d| 常规设置 h:# ',6QL4qV/
[4Glt>Nj> mbd •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 @'R4zJ&+S •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
O\]CfzR V>A@Sw 单个阶次设置 *
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