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摘要 qZ X/@Yxz (
u`W!{1\ 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 fn}UBzED\ Bs!4H2@{(] Uyx&E?SlEq ao$.6X8fQ 光栅详细说明 2UadV_s+s &.N$ e@n!x}t8 50~K,Jx6B •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 lA;a •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 KQ`=t aGoE,5 光栅阶次分析器设置 .p&Yr%~ BfmsMW •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 Qa`hR •可以指定各种输出选项。 IL!=mZ>2O •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 `<fh+* <@uOCRbV ]%dnKP~ cQUC.TZ_ 常规设置 0q6I;$H cAuY4RV x\@*60o z#Nl@NO& •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 G/?~\
}:s
•另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 Lm%GR[tyQ 'Kbl3fUF 单个阶次设置 GWP dv }!d;(/)rb xWX*tJ4 [QczlwmO •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 }e]f •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 <7sIm^N 9#/(N#> 单个阶次设置 rrBAQY|. HOi C `a]44es9q xUWr}j4; $2#7D*
Rx Z)"61)
) 探测器标签页中的输出 M>H=z#C>/A adO& |