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摘要 0K2[E^.WN YHA[PF
光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 P
X0#X=$ 6wd]X-G++
5`uS<[vA :3t])mL# 光栅详细说明 g.]'0)DMW h|H;ZC(B
y2U:( H:l! 6,)y{/ENC •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 bpx=&74,6m •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 j<KC$[Kt ]03ZrZ!
PM 光栅阶次分析器设置 l
xfdJNb 8`t%QhE2 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 PGKXzp' •可以指定各种输出选项。 .'a |St •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 (J4utw Z ]]Z,Qu#<-
xS}H483h6W J50 ~B3bj` 常规设置 asi1c
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3DHm9n+/: m?j!0> •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 w!}1oy •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 9CNHjs+-}s .+Ej%|l% 单个阶次设置 Tpukz_F X
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*lK4yI*%o ]#$kA9 •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 c-.>C) •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 m%[t&^b}T s=TjM?) 单个阶次设置 a~*V R`Lm"5w JY2
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)sf~l6 0 MIMs# 探测器标签页中的输出 JF*g!sV% `I8^QcP
Oez}C,0 hU
7fZl%yl •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 >bN~p •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 JP4Moq~r /[ ? F1Q 极坐标图中的输出 GC[{=]}9U b8.%? _? !C#RW=h9 `yAo3A9vk •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 QYgN39gp •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 _vdxxhJ=P3 IxZ.2 67 极坐标图设置 #/Fu*0/)` 38rZ`O*D
D:E~yh)$- 0f%:OU5Y •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 =&pN8PEn\ •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 X-1Vp_(,TP 9.zQ< |