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摘要 _ eiF@G ).Gd1pE 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 tt{`\1q h R~v !k-` eJ| EHhd;,;O 光栅详细说明 . ,R4WA, Um\0i;7 ~4 SOj`Y|6^: )
$#(ZL^m •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 b2s~%}T •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 yl/a:Q "{ FoA3g| 光栅阶次分析器设置 7E~4)k0< :<%vE !$ •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 K:_($X] •可以指定各种输出选项。 lhxdx •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 Uouq>N Nxi)Q$ { 8p\Y VMF|iB 常规设置 Onw24& ]Uh1l.O f'_M0x anC+r(jjg9 •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 Dft%ip2 •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 ;RHNRVP *Ru2:}?MpS 单个阶次设置 c{4R*|^ "lrA%~3%[P HTR1)b 7=3O^=Q^Q •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 .Q[yD<)Ubs •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 nh0&'hA "-0;#&! 单个阶次设置 2*Q3.2 Z u*2JUI*
W_}/ O'l{ C{&)(#*L
g`3H(PVg ._,trb>o 探测器标签页中的输出 u]bz42] e8q4O|I_ 'hIU_ C0<YH " •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 t3>$|}O]t •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 oIxH 3T 6#|qg*OS 极坐标图中的输出 mPG7Zy$z \O? u* Ay%:@j(E u>o<tw%Y •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 n1 v,#GE •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 1Is%]6 [pR)@$"k' 极坐标图设置 1Z 6SI>p (yGQa5v O9e.=l j ug'g •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 OL9]*G?F •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 gn.Ol/6D MD4\QNUa)* 阶次汇集输出 9U'[88 85hQk+Bu4 X:{WZs"[x •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 74]a/'4 •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 t'aSF{% Tq#<Po $ 阶次汇集设置 .YC;zn^ )!a$#"' _+n;A46 r--;yEjWE ~S;! T b0YNac.l 阶次汇集设置 Snx< |