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摘要 f?O?2g -h&AO\*^W 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 B4k~~ ;| sdq8wn
:BLD&mb"Y vu^ '+ky 光栅详细说明 7hPiPv
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8c-r;DE b(8#*S!U •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 N%Gb •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 BD6oN] }?zy*yL 光栅阶次分析器设置 $q`650&S* p<#WueR[ •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 %5|awWo_? •可以指定各种输出选项。 d(u"^NH; •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 w0n.Y-v4i ;c1ar )G7
=b{wzx}e V gLnpPOQ 常规设置 3z$9jN/<u >BU"C+a8g
QkJAjmB v8Ga@* •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 @BbqYX •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 zS]8ma n&V \s0 单个阶次设置 .(T*mk*> BeAkG_uG
1"pvrX} SGi(Zkc •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 N?]HWP^pg •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 ~(W q 5<v d~NvS-u7 单个阶次设置 I"TFj$Pg '!8'Xo@Go3 6\jhDP@`9 Z_iVOctP
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