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摘要 (`N/1}vk ? "gy`oCv 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 uo^>95lkv JqO( ]*"Hi
VI4d/2e ?bEYvHAzg 光栅详细说明 -llujB%;,e "#()4.9
Lv"83$^S9 b]~M$y60q •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 D'X'h}+2 •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 QZY(S*Up a]*^uEs 光栅阶次分析器设置 *w;f\zW K{c^.&6D •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 oj/tim •可以指定各种输出选项。 #KwFrlZ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 kF5}S8B n\ZFPXP
Qj~0vx! 7D,+1>5^Ne 常规设置 _i&\G}mrC ]PFc8qv{
Ldu!uihx >/>a++19 •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 S'WmPv •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 >2rFURcD {"<Q?yA2y 单个阶次设置 ^a]:GPc r&qD |