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摘要
#7lkj:j4 $C9<{zX
光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 &I'~:nWpt 'x+0
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u\t[rC=yd 0WF(Ga/o 光栅详细说明 >B8)Wb: {)4Vv`n
k{c~ Wn0r[h5t •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 px//q4U •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 z6Su` ua|qL! L+ 光栅阶次分析器设置 %bDd Xuh_bW&zF •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 j"94hWb •可以指定各种输出选项。 {D."A$AAa •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 W.MJyem k_P`t[YZV
D.*JG7;=Z o&(%:| 常规设置 82O`<Ci 3-o ]H'6
mNb+V /*x3 2<ef&?ljk •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 }[LK/@h •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 }Lb];hww1 h@{@OAu? 单个阶次设置 KOi%zE% f\r$T Nd6
6Otv[8^} g-+p(Ll| •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 cLR8U1k' •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 ngm7Vs A8Jbl^7E+ 单个阶次设置 & RROra ulj`+D?H h$ZF[Xbfe
k;LENB2iv
^f<f&V B5I(ai7<M 探测器标签页中的输出 (/@o7&>*50 "Ww^?"jQ)
L {B#x@9tQ #(
kT •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 ( _nkscf •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 .zegG=q kQ'G+Kw~F 极坐标图中的输出 PY>j?otD j<l>+.,
U HH+rib'u /OxF5bN2 •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 4
Qw;r •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 Q7}wY P `2Rte6s 极坐标图设置 58v5Z$%-- R0/~)
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\[D"W{9l 0hNc#x6 •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 2l\Oufer" •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 K} ;uH, X;6X
K$" 阶次汇集输出 GbL,k?ey 7gJy xQ GGLVv) •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 wkIH<w|jb •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 UyF]gO OKf/[hyu 阶次汇集设置 ~V./*CQ\c ;c;;cJc!
CX1'B0=\r |20p#]0E+
Sk1yend4 >5 i8%r 阶次汇集设置 #v~5f;[AAs =E,*8O]
h,#AY[ Q ;XTP^W!6f •在属性浏览器的视图选项卡中,用户可以设置其他视图参数。 & |