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摘要 $v*0\O r1!]<= &\ 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 JJn+H&[B q=|0lZ$`V_
Me|+)}'p5h DHO+JtO 光栅详细说明 DJ#z0)3<p ^FZ7)T
A1u|L^ D_MNF=7 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 OJH:k~]0! •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 <(<19t5 . }bxx]rDl 光栅阶次分析器设置 x w%'R- -$J%.fdPs •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ;zl/ •可以指定各种输出选项。 ^"?b!=n! •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 J@I-tS >RMp`HxDf
Fo1|O&> ;*8nd-\ 常规设置 :/
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VSI.c`=, M+N7JpR •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 ;<yVJox •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 xp>p#c <Gr775" 单个阶次设置 [!v|
M _Di}={1[.
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$s g}hR q% •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 sa71Vh{ •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 3C8W]yw/s Jc#()4 单个阶次设置 #VwA?$4g` .2jG~_W[ gl4|D 4IIXzMOa
bh8IF,@a U/JeEI%L 探测器标签页中的输出 uW,L< |