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摘要 1T{A(<:o$ Dm,*G`Js 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 qqm7p
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X,zqI -Qs4s 光栅详细说明 ;ew3^i.du yJt0KUw@!
+/g/+B_b 8P wobln •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 C
*\
=Q •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 1^bI9 / $1Lm=2;U 光栅阶次分析器设置 OygR5s + H.8f-c-4we •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 m=Z1DJG •可以指定各种输出选项。 ~*Fbs! ;, •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 ?a8 o.&`l |<,!K;@
B( ]=I@L=W {Jv m * 常规设置 [SluYmW KL2 #Bm_
.A: #l? y4aW8J# •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 !nQ!J+ g •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 x Z3b)j2D cx]&ae * 单个阶次设置 8 |2QJ 'USol<
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