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zJY5@^'7 QbA+\ 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 v,qK=]ty ~`-z"zM:p
=23JE'^= 8JvF4'zx 光栅详细说明 DWT4D)C,U j<[+vrj
(o`"s~) 1xAZ0X# •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 aM/sD=} •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 G4DuqN~2m ^,F8 ha 光栅阶次分析器设置 T
<J%|d .' Byq4PX%B •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 3%c{eZxG= •可以指定各种输出选项。 57W4E{A •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 MHZ!noAr NgH"jg-
V-rzn171Q) aI @&x 常规设置 =<~/U? N#<h/
`72 uf<YQ V$e\84< •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 'Y`.0T[& •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 %*d(1?\o >(>Fx\z} 单个阶次设置 gHCk;dmq81 TK"!z(p
PP{2{
=FZt •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 #N"zTW% •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 )'\pa2 ,":l >0P[ 单个阶次设置 Ga
o(3Y '&_<!Nv3 qSj$0Hq5XI Q)pm3Wi
-4:L[.2 T/8*c0mU 探测器标签页中的输出 6@ `'} Id->F0x0
\gd.Bl n|,kL!++. •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 TMsEHd •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 tg%U2+.q P(N$U^pj 极坐标图中的输出 ?<@yo&) ?V|t7^+: j\t"4=,n \W73W_P&g •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 G[U'-a}I •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 i,G )kt'H ;1`NsYI2 极坐标图设置 d9/YW#tm ;dq AmBG{8
lZ^UAFF m*VM1k V •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 /mST<{(_G\ •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 e< |