-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-02-26
- 在线时间1928小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 lC|{{?m .W+ F<]r 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
K{00 V# :`ysq
;Q.g[[J/p d4P0f'.z 光栅详细说明 IJn r^S8 s!E-+Gw
kty,hAXe }PY?
ZG •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 4l?98 •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 PHa#;6!5 B&m?3w 光栅阶次分析器设置 OQA3 ~\Vu BVC{Zq6hi •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 n~d`PGs?f •可以指定各种输出选项。 CFh&z^]PR •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 (;T;?v`- ^IGTGY]s
nWK"i\2#G ?mt$c6- 常规设置 [VPqI~u5) 7,e=|%7.
j$]t`6gG [21tT/ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 A_%}kt
(6 •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 uBks#Y*3$ 3RRZVc*
^ 单个阶次设置 t
MB;GIb# M{7EFTy!y
-c=IO(B/ yg2~qa:dZ •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 d~|qx •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 m`9)DsR
N |l ~BdP 单个阶次设置 ?XGZp?6 2+GF:[$ ){>;eky (cYc03"
?k_=?m -lMC{~h\(S 探测器标签页中的输出 M14_w, ORx,n7-
}
2)s% eOn,`B1 •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 TL7-uH •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 m ]K.0E 1"odkM 极坐标图中的输出 i%*x7zjY{ ~.x!st} mk4%]t" l}(~q!r •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 4g1u9Sc0 •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 'KQuz)- Y+?bo9CES! 极坐标图设置 $zmES tcm C
[2tH2*#
_i8$!b2Mr (rwbF •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 g'Xl>q •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 ?$n< |