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摘要 RY{tX` o!~bR
光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 ^mi4q[PM $T6Qg(p
kre&J $J6.a!5IE 光栅详细说明 *K|aK p} vi8~j
yUO|3ONT zc+;VtP|8 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 @@wx~|% •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 :2E1aVo4b <+gl"lG 光栅阶次分析器设置 86#mmm) >Mw &Tw}o •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 a[n$qPm} •可以指定各种输出选项。 )\-";?sYky •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 SbZt\a 8 7X(]r1-+\
{yR)}r xV#a(>-4 常规设置 n*Vd<m;w W(h8!}
#OWs3$9
@@83PJFid •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 ,dx)rZ* •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 fm%RNAPvc N@6OQ:,[F 单个阶次设置 7E`(8i R*Z]
m> (h_j \oX8/-0 f •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 Wk\@n+Q{] •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 c^O#O o^Yspp 单个阶次设置 @b\ S. 5xDN&su cTd;p>:>m
vt@Us\fI
EWIc|b: {|Ki^8 h/p 探测器标签页中的输出 H'{?aaK|t
iN_D8dI
U}w+`ZLN 9xn23*Fo •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 Xexe{h4t_> •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 6@q[tN7_^ N4mJU'_{ 极坐标图中的输出 d-;9L56{P oNB,.: 12sD|j IT`=\K/[4 •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 oL Vtu5 •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 @f{_=~+
Hp} 极坐标图设置 7B]:3M6 d E0eQ9BXh
ouVjZF@kS #RM3^]h •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 6lmiMU& |