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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 f|w+} z fn&gM\<-+( 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） yQM7QLbTk K>,Kbs=D6 所需工具：Grating Toolbox Basic QE=Cum
2fF NJ 相关Tutorials：G.001; G.014 [/6$P[ 建模任务 I8
8y9sW V[rNJf1z 理想平面波照射 Ej F< lw )wCA 8 $_@~t$  0$": W `a3q)}*Y OzX\ s= 镀膜倾斜光栅 目标平面 9'Pyo`hJ#U {ylc 2 1 周期：10um %R7Q `!@8 厚度：10um 43A6B 倾斜角度：20度 c zL[W2l |t4k&Dkx` 光栅的参数 {{tH$j? Q \G#Qe*"'K —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 }Xrs"u, —填充因子 2—后面的介质 gupB8 .! —膜层厚度 3—膜层材料 jt S+y)2 —光栅厚度 " 5synfO iL/(WAB_od HP3~.1Sp  E@JxY
( X)$ 8y / h0-qW 设置层数和转折点 k#c BBrY 4CW/ &o WWc$  2 设置层数和转折点以确定膜层 6@]Xwq pyT+ba# !_?<-f( 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 K.*?\)& MN$j{+ !Q nbMH:UY,J 实现可编程光栅 `JG~%0Z?} e%R+IH5i
+&4PGv53J  +LV'E#h!Q
#h6(DuViKw k {s#wJA 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） bsuUl*l)  kZU8s'C Wey- nsk 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） q&<#)#+ `y P-,lA$ Jj fNH
~ H'q&1^w)  HAf.LdnzS !V+5$TsS 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） \S=!la_T@m  j /)cdP cQ6[o"j. 2 双击Data Series Diagram 6 KnD(im I%e7:cs > 采样结果 hO ;bnt%(  Gxi;h=J2)>
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Y@9L8 XNP> s mIZ:L %
QQ：2284816954 备注：光学
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