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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 UR|UGldt_T /QDlm>FM4 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） >S4klW=*I w
'?xewx 所需工具：Grating Toolbox Basic 0j*-ZvE)30 <Cc}MDM604 相关Tutorials：G.001; G.014 i$HA@S 建模任务 1"J\iwN3 YEF|SEon0 理想平面波照射 OYKeu(=L t]?u<KD< `9QvokD  F3*]3,&L EsR_J/:Qe u^H: z0 镀膜倾斜光栅 目标平面 =Kf V;.& KLv `Xg \ 周期：10um '^f,H1oW 厚度：10um ,H!E :k 倾斜角度：20度 =C{)i@ + U
X)k;h 光栅的参数 ~ _C[~- kL;sA'I:S —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ]jN v}{ —填充因子 2—后面的介质 +Bk d —膜层厚度 3—膜层材料 Xq`| '6]/ —光栅厚度 6 R}]RuFQ h$[}lZDg o33 wePx,  a4HUP*
_:oB#-0
le%&r 设置层数和转折点 *FoH '\= 3 @XkO f0rM 4" 1  2 设置层数和转折点以确定膜层 cVjs-Xf7D% ETk4 I " J})G l 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 L{H`
t{ A 5U)Ia>p &2-dZK 实现可编程光栅 ;&B;RUUnTO Le#>uWM 0 XV 8 B  &AR@5M u
=6FA(R|QU $ M?VJ \8 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） y;zp*(}f$h  UI S\t^pJD 'qR)f\em 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） \\Ps*HN aLZza "W m x`QBJ m-V_J` 9"  8T ?= _| MTm}qx@L 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ;2Aqztp  VK>ZH^- "u#,#z _ 2 双击Data Series Diagram A Hn XN%m y8oqCe) 采样结果 WC2sRv4]3  p'SclH[
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. !vd(WKq PfF5@W;E;
QQ：2284816954 备注：光学
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