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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Y9F78=Q
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fmT 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） C~o6 ]'+F_ X\3IY:Q@T 所需工具：Grating Toolbox Basic P;jl!o$ b
62 o 相关Tutorials：G.001; G.014 p"^^9 '`= 建模任务 }9T$ XF~ S-[]z* 理想平面波照射 < p<jX wl NJ8QI(^" dtJaQ`  w- Zb($_ 4xLU15C MsOO''o 镀膜倾斜光栅 目标平面 "kyy>H9) ]9z{
95 周期：10um \
B 0xL,o< 厚度：10um ,s PsL9]$ 倾斜角度：20度 xQs2 ) E"k\eZns& 光栅的参数 v ?@Ys+V eK\ O > —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 * LJN 2; —填充因子 2—后面的介质 m Nw|S*C —膜层厚度 3—膜层材料 e#`wshtN: —光栅厚度 oD_'8G} "El$Sat` <~# ZtD$G  #p~tkQ:'1
{xr!H-9ZAA ;;BQuG 设置层数和转折点 4&/u1u 0 b\~rL,7( _[h1SAJ  2 设置层数和转折点以确定膜层 @ =x =dL( hnS
~r4 E@QsuS2 & 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 MO)N0{.b pLMki=.Ld cT^,[ 3i:c 实现可编程光栅 8YFfnk u {=(] n c>d+q9M  }S'+Ytea
p" ht|x Uj}iMw, 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 1fwCQM  QFI dp R. c_a*{L|c 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） $Hqm 09w hf P} +on% J!%Yy\G Y1EN|!WZ  7(na?Z$
cl{x5>.'# 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） -?<wvUbR{  R{)Sv| +` x:=Kr@VP 2 双击Data Series Diagram nU%rSASu [>&Nhn0 iY 采样结果 j y{T=Nb  (.7_`T6QG
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. x- ) D@dw< A- IpE
QQ：2284816954 备注：光学
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