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[讨论]铬层打底膜裂，请教各位大佬是什么原因？ [复制链接]

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离线wqshaha

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2021-04-26

隔层打底（25nm），镀AL高反膜，炉温110度左右，镀完有的铬层膜裂（5%几率），有的不会。裂纹很细，在四角或者整面都是。请问是什么原因造成的？

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离线f4213705

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只看该作者 1楼发表于: 2021-07-06

镀在什么材质上，这个也很重要

离线wqshaha

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只看该作者 2楼发表于: 2021-08-23

回 f4213705 的帖子

f4213705:镀在什么材质上，这个也很重要 l<HRD
(2021-07-06 08:55) ##5/%#eZ

镀在PC上的

离线lyz781128

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只看该作者 3楼发表于: 2021-09-07

用SHIO2打底试一下

离线囊中蓄乾坤

助理工程师

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只看该作者 4楼发表于: 2021-10-19

打底不用打那厚，25nm太厚了。几个nm就好了。膜片以前都是CR打底的。不行就换SIO2

离线聂光辉

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只看该作者 5楼发表于: 2022-04-20

口径反射镜高反射膜研究进展.pdf，需要的下载5451