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摘要 }kOhwT8sI PTePSj1N 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 CJu;X[6 $%t{O[(
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2Ip pp{); 1. 建模任务 ^k)f oD [ B (lJz U{ O\ (g4g-"rc 2. 结果 pt0H*quwI ;3?M?E/$s d>AVUf<o~ 2l!"OiB.P 9J|YP}% =
Oq; 3. 文件和技术信息 '[juPI(! P'
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