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摘要 TMNfJz |@+8]dy:l 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 C#ZhsWS!b N:OD0m%`)
w/O<.8+ m,=)qex 1. 建模任务 @c0n2 Xcr D7M0NEY
6GY32\Ac )>?! xx_` 2. 结果 M q76]I% @uoT{E[
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K#e$7 3. 文件和技术信息 >1m)%zt )-)ss"\+Ju
(LRNU)vD7$ HgYc@P*b |OOXh[y QQ:2987619807 [k!-;mi
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