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摘要 ;41s&~eR %l3RM*zb 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 28Q`O$=v {TUCa
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mw7H 7B+?1E( 1. 建模任务 ^<sX^V+{ 6o6!Ol
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QZQ@C# PR; |%zhwDQ. 3. 文件和技术信息 _FAwW<S4B =>-b?F0(c
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