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摘要 p uW a._>?rVy 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 QvlVjDIy {v2[x W
E=ObfN"ge (bD#PQXzm 1. 建模任务 _CizU0S p & i+i
~bgM*4GW _lfS"ae 2. 结果 jM>;l6l -(zw80@&
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O]t)`+%q -=qHwcId 3. 文件和技术信息 }-p-(
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