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摘要 u'"]{.K>fb S,qEKWyLd 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 B5/"2i mqoB]H, YyD0g9{ 1. 建模任务 %2`.*]L )SWLX\b 2. 干涉条纹的变化 _G^Cc}X O g!SFg* X32{y973hT 3. VirtualLab Fusion概览 "|d# +C ]R]%c*tA '0jn|9l58 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 /n8\^4{fP{ 设置输入场 (Ujry =f - Basic Source Models [教程视频] '>#8
F. 定义组件的位置和方向 2X@" #wIg - Basic Source Models [教程视频] KWiP`h8 正确设置通道以进行非顺序跟踪 qPgny/( - Basic Source Models [使用案例] Ws:MbZyr 使用参数运行检查影响/变化 6[&x7" - Usage of the Parameter Run Document [用例] 4)E$. F^ 9 kLA57 MW|:'D` )PjU=@$lI 5. VirtualLab Fusion 技术 wF$z ?L 7Nlk:f)*-
L }pj+xB 6. 文件和技术信息 {Z^q?~zC[ \MB$ Cwc r5'bt"K\>
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