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摘要 2jxh7\zE -Ji uq 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 yOk]RB<'r {q);1Nnf GgvMd~ 1. 建模任务 9A\\2Zz6F ,A0v 5Q< 2. 干涉条纹的变化 9}G<\y HJe6h. P axkNy}ct 3. VirtualLab Fusion概览 t6%zfm
]^QO^{Sz i)]^b{5nyB 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 Gs*X> D 设置输入场 \LM{.gzT - Basic Source Models [教程视频] _+0c<' 定义组件的位置和方向 f Q2U| - Basic Source Models [教程视频] Z?."cuTt 正确设置通道以进行非顺序跟踪 0(A&m , - Basic Source Models [使用案例] nc#} \ 使用参数运行检查影响/变化 (~#-J7 - Usage of the Parameter Run Document [用例] _=I&zUF xl(R|D))
m9$lOk4/ ;![rwra 5. VirtualLab Fusion 技术 !~}@Eoii4 C'joJEo *i,A(f'e4X 6. 文件和技术信息 Z4T{CwD`D (+bt{Ma ev5m(wR
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