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摘要 $&4Z w6"= ^mGT ZxO 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 HCP Be2 4b#YpK$7U v|hi;l@7E 1. 建模任务 <
;g0?M\ kN_LD- 2. 干涉条纹的变化 koUH>J: N5s_o0K4TU 5pDxFs=v 3. VirtualLab Fusion概览 |X sW)/ ]/a?:24 [ R38
w!6{ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 0+L5k!1D 设置输入场 HiWZ?G - Basic Source Models [教程视频] 2q#$?qs_b 定义组件的位置和方向 J@$>d - Basic Source Models [教程视频] Ywni2-)< 正确设置通道以进行非顺序跟踪 cB<Zez - Basic Source Models [使用案例] =gj]R 使用参数运行检查影响/变化 snK/,lm. - Usage of the Parameter Run Document [用例] :S%|^QAN aw,8'N)
A[b'MNsv A(C3kISM 5. VirtualLab Fusion 技术 vEb~QX0~ zR/ATm]9 K<t(HK#[ 6. 文件和技术信息 &38Fj'l a{HvrWs?Q fN&O `T>
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