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摘要 ^=4I|+P,6. F)[XIY&2/ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 r_!{!i3B e>ZbZy? Mo:!jS~a(Z 1. 建模任务 @'k,\$ / ;W$w=j:
O{ 2. 干涉条纹的变化 Pl>nd)i` iMOPD}`IX Y%n{`9= 3. VirtualLab Fusion概览 t(uB66(_F i"2J5LLv F1{?]>G 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 &UJTy' 设置输入场 y4)ZUv,} - Basic Source Models [教程视频] A$H+4L 定义组件的位置和方向 p3,(*eZ - Basic Source Models [教程视频] e$p1Th*|]4 正确设置通道以进行非顺序跟踪 cAsSN.HFS - Basic Source Models [使用案例] 9}'l=b:Jms 使用参数运行检查影响/变化 kp#c:ym - Usage of the Parameter Run Document [用例] [7SI<xkv ?h>%Ix
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3f 5. VirtualLab Fusion 技术 Ca`/ t8= lyOrM7Gs eJVOVPg<, 6. 文件和技术信息 R"8})a
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