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摘要 m"}G-# %;J`dM 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 /q]@|5I Zt=X
%M|aw gf>5xf{M 1. 建模任务 }y/t~f+ *?'T8yf^ 2. 干涉条纹的变化 S>Y?QQ3#wp ~h.B\Sc]Q _ji%BwJ 3. VirtualLab Fusion概览 S22 ;g jT0fF ~?r6Ax-R 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 )9->]U@ 设置输入场 ,{at?y* - Basic Source Models [教程视频] O}V2>W$ 定义组件的位置和方向 mqw.v$> - Basic Source Models [教程视频] `#bcoK5 正确设置通道以进行非顺序跟踪 Bnv%W4 - Basic Source Models [使用案例] D bJ(N h 使用参数运行检查影响/变化 0qd`Pf - Usage of the Parameter Run Document [用例] NKrk*I"G ,-Gw#!0
^g\%VIOD \266N;JrN 5. VirtualLab Fusion 技术 'l;|t"R12 uy~j$ lrn v/dcb% 6. 文件和技术信息 oJy/PR3 tWuQKN`_ ZW"J]"A
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