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摘要 , 0ja _ =njj.<BO 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 biuo.OG] Q9
", YtKX\q^. 1. 建模任务 Y\F H4}\S JVYYwA^. 2. 干涉条纹的变化 9Ei#t FMc H`..)zL| .=<pU k 3G 3. VirtualLab Fusion概览 $G.|5sEk !I
P* `qEm5+` 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 )W#g@V)> 设置输入场 LxGh *7K- - Basic Source Models [教程视频] T+( A7Qrx% 定义组件的位置和方向 '\qr=0aW - Basic Source Models [教程视频] 3hjwwLKG$ 正确设置通道以进行非顺序跟踪 4IpFT; `q - Basic Source Models [使用案例] )^xmy6k 使用参数运行检查影响/变化 T0C'$1T - Usage of the Parameter Run Document [用例] ZPog)d@! p{GDW_ 5Uz(Bi AE~}^(G` 5. VirtualLab Fusion 技术 B*Xh$R <o`]wOrl "6h.6_bTw 6. 文件和技术信息 u>@G:kt8 nr6U>
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