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摘要 b_JW3l ^."HD( 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 ';z5]O~ {?dW- op%?V: 1. 建模任务 Qe )#'$T wzRIvm{ 2. 干涉条纹的变化 cOr@dUSL Z|kMoB nE)|6
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