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摘要 {wu!6\:<?? $FCw$ +w 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 jOl 1_ 4A~)b"j5 \Da~p9T& 1. 建模任务 Y'_ D<Mp "jGe^+9uT 2. 干涉条纹的变化 s1=u{ET +{ab1))/ ^
wQcB 3. VirtualLab Fusion概览 r,nn~ 2{};6{yz XI
g|G}i. 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 w4}(Ab<Y 设置输入场 R6Pz#`n - Basic Source Models [教程视频] 6DZ2pT: 定义组件的位置和方向 m){&:Hs - Basic Source Models [教程视频] g.&\6^)8p 正确设置通道以进行非顺序跟踪 v<fWc971 - Basic Source Models [使用案例] Kz^ hQd 使用参数运行检查影响/变化 H2]BMkum - Usage of the Parameter Run Document [用例] :+A;TV L4mTs-M.
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