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摘要 yUlYf#`H x
L]Z3"p% 复杂光学光栅结构被广泛用于多种应用,如光谱仪、近眼显示系统等。利用傅里叶模态法(FMM,或称RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一种用于任意光栅结构严格分析的简单方法。利用图形用户界面,用户可以设置堆栈的几何形状,从而产生复杂的光栅结构。本案例主要集中于具有二维周期光栅结构的配置。 /+{1;}AT
&&sCaNb 1. 本案例主要说明: PtT$#>hx] 如何在光栅工具箱中配置二维光栅结构,通过: _sI\^yZd - 基于介质的定义类型 u{(-`Al}L - 基于表面的定义类型 +i6XCN1= 计算前如何改变高级选型并检查定义的结构。 Q\{$&0McF 注意:在VirtualLab中,具有二维周期性的光栅结构称作3D光栅。因此,层状光栅(一维光栅)被称为2D光栅。 707-iLkt.1 P'p5-l UK 2. 光栅工具箱初始化 bT#re 初始化 X0Zr?$q
- 开始→ "M4gl 光栅→ _do(
一般光栅光路图(3D光栅) Wz-7oP%;I =d`/BDD
)Qixde>]p 注意:对于特殊类型的光栅,如柱状光栅,可以直接选择特定的光路图。 =3<@{^Eg Kk<MS$Ov 3. 光栅结构配置 ]q|^?C 首先,必须先定义基底的厚度与材料 dT4e[4l 在VirtualLab中,光栅结构有一个所谓的堆栈进行定义 Hpq?I-g<^ 堆栈可以附属在基底的一侧或两侧。 RlnJlY/ 例如,堆栈选择附属在第一表面。 F]7$Y c&u~M=EW 基于介质的定义类型 )R]gJ_,c (例如:柱状光栅) = *~Q5F 1. 堆栈编辑器 =EdLffU[J 在堆栈编辑器中,可以从库中增加和插入界面和介质。 r4(Cb_ 为了以特殊材料定义光栅,必须添加两个平面界面作为边界。 Tv`-h #+6t|
fY{&W@#g ?~s2 3%E 两个平面界面间的介质可以使均匀的,也可以是调制的。 0Rze9od]$ 通过使用后者,可以非常有效地描述复杂的光栅结构,如柱状光栅。、 z8\;XR 2[Q/|D}}| ~<&47'D 2. 柱状光栅介质 okv`v
({ 在库目录“LightTrans Defined”中,在柱状介质库中可以找到铬柱。 2*9rhOK* 这种类型的介质可以模拟柱状结构以及衬底上的销孔。 ~f:jI1(}
3^J~ts{* 在本例中,由铬组成的矩形柱位于熔融石英基底上 Vs~!\<? 在堆栈编辑器的视图中,不同的材料根据折射率(深色意味着更高)用其他颜色表示。 #(Ah>y 注意:堆栈编辑器总是提供x-z平面的横断面视图。 F^)SQ%xx 请注意:界面的顺序总是从基板的表面开始计算。 {'R\C5:D7 选中的界面以红色高亮显示。 _;yi/)-2 此外,这里不能定义光栅前面的介质(后一个界面后面)。它是自动从光栅元件前面的材料中取出的。 dLIZ)16&
_aLml9f
W 可以在光学设置编辑器中更改此材料。 1} h''p A3=$I&!% Z$& |