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摘 要 r.Y*{!t %H 8A= 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 FGV}5L >cBGw'S 建模任务 TEH*@~P" *4r
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v@F|O8t:s *(@L+D0N 倾斜平面下的观测条纹 jc${.?m L*kh?PS;
Ufm(2` FQ 5HWwl.D 圆柱面下的观测条纹 E.?E~}z UY?i E=
e{^:/WcYB []GthF 球面下的观测条纹 L?Kz
P.(t+ 2r PcNh9 H1aV}KD d ,h~u{ VirtualLab Fusion 视窗 ^8o_Iz)r, pDLu +}@ hj[+d%YZY" kX ~-g VirtualLab Fusion 流程 XgwMppacw { r<(t#
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