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摘 要 60*2k x;99[C!$ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 ^hq`dr|R= YbND2i 建模任务 +tkDT@ ` 0j7W\'!t 35?et-=w weU'3nNN 倾斜平面下的观测条纹 CQW#o_\ ^9%G7J:vGO GP<A v1 {PnvQ?|Z 圆柱面下的观测条纹 /w^}(IJ4 H? Z5ex kKr7c4q E;*#fD~@ 球面下的观测条纹 `6)GjZh^ 5(^&0c>P ?"N,do <3m_}
=\ VirtualLab Fusion 视窗 (y[+s?;WyB R7r` (c! 4%LG Ph [
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