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摘 要 [s&$l G! kOh{l: 2-+ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 gi0W;q MwmUgN"g 建模任务 J>u
7, 3e(ehLc4DJ
_/wV;h~R 2Ry1b+\ 倾斜平面下的观测条纹 =0;^(/1Mc gn3jy^5
meOMq1 Zh_|m#) 圆柱面下的观测条纹 R'S0 zp6 271&i
}1>[ F'hHK.tT 球面下的观测条纹 cI=(\pC v%fu h,Q3oy\s1 A45A:hqs VirtualLab Fusion 视窗 ei
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