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摘 要 LJ:mJ# -(|7`U 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 1NB2y[ CAA tco5 建模任务 U`HXsq
p} ,7WK<0
ZJ)3GF}4 -O>^eMWywo 倾斜平面下的观测条纹 ^M[-K`c } {-:4O\/
JuKk"tr~RB m&(%&}g 圆柱面下的观测条纹 ?*(r1grHl ~pDRF(
8N</Yi|n >;T$#LZ 球面下的观测条纹 .eZPp~[lAN p=#'B*'w &/z+A{Hi g]oc(RM VirtualLab Fusion 视窗 /gMa" 5?, .rD#1)O Wo<PmSt9i ?[a7l:3-[ VirtualLab Fusion 流程 `!5tH?bX
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'b?#4rq} Cw9@2E'b VirtualLab Fusion 技术 uyS^W'fF %B*<BgJ;4F
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BaG 文件信息 vfk7J5y e|OG-t[$*
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