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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 33ZHrZ  
     } rX)A\ g6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 SmS6B5j\R  
     i# fvF)  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 TyvUdU  
     29nMm>P.e  
    所需工具箱子：光栅工具箱 e#vGrLs.  
     cSBS38>  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 cj4o[l  
     HqI[]T@  
    建模任务 | 2GrOM&S  
    _} j6Pw'  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ?Ld:HE  
    P_P~c~o  
    &p+2Vz{  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 sY[!=`@  
     tI  
     T4J WZ  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ?k=)T]-}  
     v5I5tzt*%H  
    UhXVeGO  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     u`XZtF<vf  
    >_#A*B|  
    #^_7i)=~  
    &Z}}9dd  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 K<k\A@rv8H  
    rcf#8  
    *c( J4  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ^Ge|tBMoKE  
    DB'3h7T  
    UZL-mF:)&  
    X线偏振光模拟结果：
    Snq0OxS[v  
    o9v.]tb  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 b%X<'8 z9Z  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 &m`@6\N(  
    - v=ndJ.  
    )"Wy/P  
    Y线偏光模拟结果 mp0s>R  
    "Z"`X3,-z  
    rm<`H(cT  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。  ?QcS$i  
    结论： S,s") )A1  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 .4!wp&  
    QQ：2284816954 备注：光学     }]pOR&o  
     
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