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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 xlS t  
     W<v?D6dFq  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ym8\q:N(R  
     lbTz  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 lv,8NmP5  
     vpTS>!i  
    所需工具箱子：光栅工具箱 <-X)<k  
     R&=Y7MfZ  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 !9OAMHa*9  
     e,|"9OK  
    建模任务 X-6Se  
    x1?p+  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 x-(?^g  
    yz,ak+wp  
    2u/(Q>#  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 % UY=VE\F  
     phEM1",4T  
    Y#3m|b45n  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 v )4 kS  
     HO}aLp  
    q1`uS^3`  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     F2OU[Z,-]  
    Z9 }qds6 y  
    A&)P_B1|  
    1m|1eAGS{  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 dV.)+X7<  
    Vr`UF0_3q  
    hFyN|Dqhds  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 c[@>#7p`o  
    6D _4o&N  
    SQWA{f  
    X线偏振光模拟结果：
    uWvl<{2  
    `Nc3I\tCM  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Dbz\8gmY  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 E&GUg/d  
    yV=hi?f-[V  
    _Ev"/ %  
    Y线偏光模拟结果 ;x| 4Tm  
     2gb49y~  
    :G$NQ* (z  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 g}L2\i688  
    结论： x.>z2.  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 X}h{xl   
    QQ：2284816954 备注：光学     MoO jM&9  
     
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