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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 yzgDdAM  
     28>gAz.#  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 8;-a_VjA)  
     !T#~.QP4  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 rpQB# Pz  
     ^e8~eL+  
    所需工具箱子：光栅工具箱 s(r(! FZ  
     89k9#i X  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 E+]gC  
     m9a(f>C  
    建模任务 A +e ={-*  
    !#5RP5,,Y  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 q} U^H  
    BXnSkT7  
    g3Xq@RAJc  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 @K3<K (  
      (/-2bO  
    cAC]%~orx  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 k8Qm +r<p  
     jyb/aov  
    Z455g/=ye  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Ma2sQW\  
    vxzh|uF  
    >Ke4lO"  
    am]$`7R5d  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Ze~^+ EE  
    <=W;z=$!Bb  
    '+hiCX-_  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 w[S2 ] <  
    )}0(7z Yu  
    4. 7m*  
    X线偏振光模拟结果：
    C{`+h163\  
    t,gKN^P_  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 pd?3_yU  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 C4 H M  
    Gg]>S#^3  
    m-xSF]q=<  
    Y线偏光模拟结果 iSCv/Gb:,  
    6}qp;mR E]  
    wf)T-]e  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 u]lf~EE  
    结论： s5_[[:c=^  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 F *_g3K!!  
    QQ：2284816954 备注：光学     hX# y7m  
     
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