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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 JM%#L*;  
    k#n=mm'N9  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 _: K\v8  
    }Jfo(j  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 )`^:G3w  
    kpu^:N &  
    所需工具箱子:光栅工具箱 ,L G&sa"  
    *93 N0m4Rl  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 8 Hn{CJ~'  
    Ui&$/%Z|  
    建模任务 "Wp<^ssMo  
     HV(Kz  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 T\>=o]  
    }o4Cd$,8  
    yNL71>w4  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 <9~qAq7^  
    ]'q<wPi  
    rpmDr7G  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 P'8 E8_M}  
    k|5nu-B0v  
    ,R+u%bmn#  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Cn<x  
    w6_}] &F  
    Ipe;%as#  
    #,56vVY  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 iJBZnU:Mp  
    _c2#  
    FcA0 \`0M  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 kXWx )v  
    V_* ^2c)  
    kokkZd7!  
    X线偏振光模拟结果:
    -)@.D>HsOt  
    rxARJ so  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ~CA+'e%~~  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 P7b2I=t  
    fVM%.`  
    KB5{l%>  
    Y线偏光模拟结果 >@"j9  
    O 2U/zF:X  
    (`xc3-,  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ARE~jzakg  
    结论: &BgaFx**  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 PewLg<?,G4  
    QQ:2284816954 备注:光学
    Mw~ ?@Sq  
     
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