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摘要 X;d 1@G [-h=L
Jf# 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {}tv(8]^ k@Bn}r BV
eIj } hSXZu?/ 设计任务 oD_#oX5\ iJzW3%E |VmQ ,S-zY\XB Vm%0436wOY 光栅特性与参数的严格分析 85#+_}# ]lA.? 不同光栅周期的衍射效率 fX}dQN~z m-R`( `.YMbj#T .2/W.z2 考虑光栅周期的选择 XT\Q"=FD ^vc#)tm5p GL3olKnL 偏振相关衍射特性 l%v2O'h nACKSsWqI A~#w gLGn 3/*<i 偏振相关衍射特性 e!
0Y`lQ 'Ug-64f> !\|L(Paf B8 R&Q8Q 偏振相关衍射特性 Jl{g"N{2u' fe7DS)U -](3iPy} U&L?IT=x 基于参数优化的光栅设计 X;3gKiD B2)SNhF2Y 具有固定周期的二维参数优化 ])mYE
}g +tp@Tb LAv!s/ O$= 二维参数优化 - 设计#1 7hl,dtn7 6q@VkzF #<gD@Jyb u SAN/fnM 二维参数优化 - 设计#2 99?:
9g l5l#LsaQb -+&sPrQ t"FB}%G 制造公差分析 - 设计#2 at5=Zo[bP uOQl;}Lk5 mW_ N-z 0 A6%!h 不同光栅周期的三维参数优化 }yMAs >l(|c9OWM 5hE mXZ% DeGcS1_? 制造公差分析 ^26}8vt (-esUOB. qb>mUS nVv=smVOt 走进VirtualLab Fusion ec"+Il H@BU/{ S '%!KGVe [qQ~\] VirtualLab Fusion 工作流程 "D.`:9sk0 D|X@aUp8} !&@!:=X, mNnt9F3Eq VirtualLab Fusion技术 GB`
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