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摘要 x?B 8b-* BAS3&f A 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &-0eWwMW HNtl>H UA}oOteG F[SYs/M 设计任务 C|A:^6d3= cU'^
Ja?% .AgD`wba _mw(~r8R ^g56:j~? 光栅特性与参数的严格分析 )FrXD3p %v(\;&@ 不同光栅周期的衍射效率 &<sN(;%0R "xV9$m> &t\KKsUtd M _z-~G 考虑光栅周期的选择 +wwK#ocw 7BhRt8FSD+ IuQY~! 偏振相关衍射特性 T;%ceLD M6J/S
~^Y(f'{ {6yiD 偏振相关衍射特性 \;>idbV 8HyK;+ZkVd
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M8S 偏振相关衍射特性 x-_!I>l& Nz&J&\X)tD 7QlA/iKqK 2ajQ*aNq 基于参数优化的光栅设计 e_BOzN~c <eq93 具有固定周期的二维参数优化 IYy2EK[s f&S,l3H<
W1s4[rL!Ht 二维参数优化 - 设计#1 8L?35[]e ,&sBa{0
l }?'U 4V7{5:oa 二维参数优化 - 设计#2 '~E&^K5hr \DE`tkV8
Cp_YIcnEJ (,E.1j]ji 制造公差分析 - 设计#2 GJA3 ^zv28Wq>
(l.`g@(L pt;kN&A^ 不同光栅周期的三维参数优化 ) tGC&l+?/ i>S
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