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摘要 ]g 7HEB.Y /9TL&_A-T 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7zi"caY UJ9q-r  F42TKPN^uu T!&j Fy*W 设计任务 " sSjVu JYl\<Z' {  1wU=WE(kKZ 7s$6XO!
~t$mw, 光栅特性与参数的严格分析 Iy6p >z| p5D5%B/ 不同光栅周期的衍射效率 j a L$LJV )Xq@v']%~9  +$(71#'y o- cj&Cv% 考虑光栅周期的选择 )A"ZV[eOoQ <[/PyNYK  uT'-B7N 偏振相关衍射特性 :,urb* D$Kz9GVZq
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