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摘要 !,rF(pz vS[\j 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 4Ss y (gt 9'(m"c_
e**'[3Y #?eMEws 建模任务 W7@Vma` `2^(Ss#)
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PlT_]p &OEBAtc/ 在VirtualLab Fusion中查看 %M`zkA2]J 0ia-D`^me %nE%^Enw ZP&iy$<L VirtualLab Fusion的工作流程 IjXxH]2 Ol>/^3a= •构造光栅结构 $
9E"{6;@ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] q|IU+r:! 3 - 倾斜光栅的高级配置[用例] hstGe>f[6 •分析光栅衍射效率 =4U$9jo!; - 光栅级次分析器[用例] '"ze Im~ •使用参数优化优化光栅参数 N pQOLX/<? •使用参数运行进行容差分析 ] \!,yiVeU - 参数运行文档的用法[用例] w\V<6_[vv. F[0~{*/|G
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