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摘要 iciKjXJ: /vq$/ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 8v z h5,U KF6C=,Yc%
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9 $'I&u 9@ YKx0 "!D y[J VirtualLab Fusion的工作流程
_XT'h;m PcEE`. •构造光栅结构 lyX3'0c - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] P
woiX#vz - 倾斜光栅的高级配置[用例] !b7"K| •分析光栅衍射效率 =qc+sMo - 光栅级次分析器[用例] yw$4Hlj5 •使用参数优化优化光栅参数 D/f4kkd •使用参数运行进行容差分析 G~o!u8^; - 参数运行文档的用法[用例] 2?GMKd) "5Y6.$Cuf!
ghWWJx9 ) jH`lY) 1 VirtualLab Fusion技术 >xabn*Kq R?O)vLmd
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