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摘要 CG Y]r.O* _kU:Z
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 <{V(.=11
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 9Uj $K>: +av@$} 在VirtualLab Fusion中查看 ts\5uiB<% 6kpg+{;  Cd,jDPrw X*/ho VirtualLab Fusion的工作流程 gtk7 )Uh @k,z:~[C= •构造光栅结构 ?OcJ )5C4 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] )Im#dVQs= - 倾斜光栅的高级配置[用例] `j,Yb]~s79 •分析光栅衍射效率 uE%r/:!k4$ - 光栅级次分析器[用例] LhOa{1SY •使用参数优化优化光栅参数 ]s'Q_wh_-v •使用参数运行进行容差分析 L ^q""[ - 参数运行文档的用法[用例] q U%/W|LY
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