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摘要 xe/( ]9\!;Bz^J 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 0OGCilOb* ;NNe!}C
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Bn!$UUC bGorH=pb5R 在VirtualLab Fusion中查看 w |l1' 8/K!SpM*d GtwT `c'W-O/ VirtualLab Fusion的工作流程 YBnA+l* J!DF^fLe •构造光栅结构 h&kZjQ& - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] Wq^qpN)5Y - 倾斜光栅的高级配置[用例] d:F @a •分析光栅衍射效率 hS9;k9w - 光栅级次分析器[用例] 3"{.37Q •使用参数优化优化光栅参数 77Bgl4P •使用参数运行进行容差分析 n#=o?!_4 - 参数运行文档的用法[用例] Bphof0{<} hI( SOsKs
Q3"}Hl2 I<A6Z&*un VirtualLab Fusion技术 $U/YR&vcw :\=CRaA
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