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摘要 \o=YsJ8U ylVBK{w9 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 R@Bnrk 5"o)^8!> z3Ro*yJU A.>TD=Nz 建模任务 '>0rp\jC FNB4YZ6 CHo(:A.U> ,!'L~{ 1阶的参数优化 SXx;-Ws )EptyH 1 wB2:o< }"o,j>IP 结果-容差分析 sUTh}.[5 ~n)<L7 q>H f2R |\iJ6m;a 结果-容差分析 <$ oI ^,WXvOy jpI=B [S#QGB19 在VirtualLab Fusion中查看 %jRqrICd T3#KuiwU9 6nP-IKL dxAP7v VirtualLab Fusion的工作流程 g?=|kp qp)a`'Pq •构造光栅结构 6-vQQ-\ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] !w #x@6yq - 倾斜光栅的高级配置[用例] Y9_OkcW) •分析光栅衍射效率 s!Y`1h{ - 光栅级次分析器[用例] !3 j@gi2 •使用参数优化优化光栅参数 m#kJ((~ •使用参数运行进行容差分析 syR
+; - 参数运行文档的用法[用例] w=MiJr#3^ 6l|,J`G TU(w>v #mK?K VirtualLab Fusion技术 5^ +QTQ !1<?ddH6 uxsfQ%3`# $b=4_UroS 文件信息 8R;A5o, O!=ae| ;4]
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