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摘要 4a | Fx V<pqc&f .
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 DnFl *T>
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CM:xe F\rSYjMyk VirtualLab Fusion的工作流程 B[B<U~I} Z^6(&Rh •构造光栅结构 5(7MQuRR - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] uW9M& "C~ - 倾斜光栅的高级配置[用例] Kn$1W=B1. •分析光栅衍射效率 WN/#9]` P - 光栅级次分析器[用例] AJd.K'=8 •使用参数优化优化光栅参数 "4hpU]4j •使用参数运行进行容差分析 Q_.c~I}yV - 参数运行文档的用法[用例] A<5`[<x$
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