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摘要 aCi^^}! eW*ae;-
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 !4,xQ ^
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 G{Enh<V O#5( U. E 在VirtualLab Fusion中查看 1LIV/l^}f 3R:i*8C  |j}F$*SE[ Eg29|)qsz VirtualLab Fusion的工作流程 N_k6UA9 zomNjy* •构造光栅结构 X|1YG ZJ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] LqsJHG - 倾斜光栅的高级配置[用例] *=9# tYn~ •分析光栅衍射效率 Q !e0Vb - 光栅级次分析器[用例] 6Oba}`)q 9 •使用参数优化优化光栅参数 pvU oed\ •使用参数运行进行容差分析 NP'DuzC - 参数运行文档的用法[用例] OwIy(ukTI
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