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摘要 {PKf]m (;9j#x 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 LK+67Y{25 sA2esA@C<o
~s*kuj'%+ )F+wk"`+6 建模任务 r;_*.|AH w@WPp0mny
\+j:d9? mO2u9?N 1阶的参数优化 <w3_EO M>d^.n
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lvx[C7? 4%#q.qI 在VirtualLab Fusion中查看 <%.lPO]&E _rg*K Ca-.&$f m-bu{ VirtualLab Fusion的工作流程 o)n=n!A :7~DiH:Q
•构造光栅结构 Z7> Nd$E{ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 8[;AFm ?,` - 倾斜光栅的高级配置[用例] re4A5Ev$ •分析光栅衍射效率 NOmFQ)/ & - 光栅级次分析器[用例] CEAmb[h •使用参数优化优化光栅参数 !j%uwje\ •使用参数运行进行容差分析 /U})mdFm - 参数运行文档的用法[用例] wg<t*6&'x 2fg
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