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摘要 <JyF5 QT\=>,Fz _ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ow!NH,'Hy FWJhi$\:D]
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#F~^m u#c3T'E 在VirtualLab Fusion中查看 i4XE26B;e ;*Z.|?3MM ER ^#J** J_H=GHMp} VirtualLab Fusion的工作流程 i7UE9Nyl* M'"@l$[QM •构造光栅结构 9:\YEs" - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] bx5f\) - 倾斜光栅的高级配置[用例] E Pgn2[z •分析光栅衍射效率 4-wCk=I - 光栅级次分析器[用例] pg4J)<t# •使用参数优化优化光栅参数 *NEA(9 •使用参数运行进行容差分析 AdWLab; - 参数运行文档的用法[用例] S=R}# a1 I"Sh
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