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摘要 Y B,c=Wx {&UA60~6 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 BC\W`K pWq+`|l$
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vhAgX0k AI|+*amTd 在VirtualLab Fusion中查看 O5Z9`_9< YB<nz<;JR tfZ@4%' M=lU`Sm VirtualLab Fusion的工作流程 y j#*H 3ce$eZE •构造光栅结构 ^X}r ^ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 4dcm)Xr - 倾斜光栅的高级配置[用例] m#Z&05^ •分析光栅衍射效率 d9BFeq8 - 光栅级次分析器[用例] /t`\b
[ •使用参数优化优化光栅参数 E #B$.K •使用参数运行进行容差分析 6u lx0$[ - 参数运行文档的用法[用例] =y _KL ,[zSz8R
q?dd5JzZy, ydo9 P5E VirtualLab Fusion技术 >}%#s`3W1_ A[ncwJ
AU}kIm_+ 2xf lRks 文件信息 B^r?N-Z A Q?1J<(oq9
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