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摘要 dVe,;?+A -}(2}~{e( 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 "fu:hHq .F},Z[a&
49.B!DqQW& % 'OY 建模任务 Jb*E6-9G +\]Gu(z<
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?4^ 0xGyE \PWH(E9 在VirtualLab Fusion中查看 &~=r .T McpQ7\*h
4Cv*zn LcZ|A;it VirtualLab Fusion的工作流程 y @S_CB47 k%BU&%?1 •构造光栅结构 t{s*,X\b - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] "}V_.I*+ - 倾斜光栅的高级配置[用例] 4*&k~0#t •分析光栅衍射效率 XO+rg&Pu - 光栅级次分析器[用例] +Qf}&D_ •使用参数优化优化光栅参数 U*b7 Pxq; •使用参数运行进行容差分析 jD${ZIv - 参数运行文档的用法[用例] \<ysJgqUG |kP utB
P?S]Q19Q4 C]p@7"l VirtualLab Fusion技术 axpZ`BUc oC-v>&bW
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