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摘要 _TbvQY LKg9{0Y: 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 [f]:hJi ;b 'L2
lN*"?%<x> .+5;AtN 建模任务 {]O.?Yru? 3o#K8EL
Y0ACJ?| SOluTFxUw 1阶的参数优化 ceae~ &Zo+F]3d
P8 R^46 zRB LkrC 结果-容差分析 g+-^6UG '^tC |)
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b[MKo7 0RN 7hpf&` 在VirtualLab Fusion中查看 Kn}Y7B{ ?&POVf> DKG;up0 Sb`SJ):x VirtualLab Fusion的工作流程 `*cJc6 )ZpMB •构造光栅结构 F`.W 9H3 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] CH $*=3M - 倾斜光栅的高级配置[用例] kE1k@h#/ •分析光栅衍射效率 (i-L: - 光栅级次分析器[用例] wYh]3 •使用参数优化优化光栅参数 Kj:'Ei7 •使用参数运行进行容差分析 iN2591S - 参数运行文档的用法[用例] kWgrsN+Z jK2gc^"t
\# 1p
hAD gi^ VirtualLab Fusion技术 UFeQ%oRa8 rWJKK
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