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摘要 ?R|fS*e2EB =giM@MV 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 yf
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,^MW)Gf< <.PPs:{8# 在VirtualLab Fusion中查看 w5dIk]T 09}f\/ R$!;J?SS K#9(|2J% VirtualLab Fusion的工作流程 `-72>F ;T &=s| •构造光栅结构 E1Ru)k{B - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] XEf&Yd - 倾斜光栅的高级配置[用例] 4b3 F9 •分析光栅衍射效率 s
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:tFK\ - 光栅级次分析器[用例] :$SRG^7md •使用参数优化优化光栅参数 %nDPM? aO •使用参数运行进行容差分析 H6%!v1 u - 参数运行文档的用法[用例] F:*[ RE`J"&
j61BP8E ps!5HZ2: VirtualLab Fusion技术 rZ8Y=) e 3<zTkI
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