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摘要 !uhh_3RH !{XVaQ?x 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 z*WQ=l2 ]F4|@+\9
<4*)J9V^s= Xnxb.{C 建模任务 RY~mQ 'L2[^iF9
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Bacmrf B`|H}KU 结果-容差分析 jo"zdb =]-D_$S~
}nWW`:t kx ?DC;Hk< 在VirtualLab Fusion中查看 cB7'>L (E \lLlN 'l._00yu (?z"_\^n/ VirtualLab Fusion的工作流程 YF13&E2`\ 7/FF}d •构造光栅结构 &DWSu`z - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] z_87;y;= - 倾斜光栅的高级配置[用例] 0y=lf+xA* •分析光栅衍射效率 z?(QM: - 光栅级次分析器[用例] D__*?frWpW •使用参数优化优化光栅参数 Xl/2-'4 •使用参数运行进行容差分析 tZA%^Y - 参数运行文档的用法[用例] -nk0Q_7N
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zG~nRt{4 kDWvjT VirtualLab Fusion技术 <nF1f(ky qZX\riR
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