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摘要 'y3!fN =h ~O &:C{9=
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 %n: k#
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 6.nCV 0xA j yUCH*@ 在VirtualLab Fusion中查看 <s<n ~<F8ug #  ^N{h3b8 ~;{; ,8!) VirtualLab Fusion的工作流程 %.-4! vj iN8zo:&Z •构造光栅结构 *VhL\IjN] - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] qm8B8&- - 倾斜光栅的高级配置[用例] 7/@TF/V •分析光栅衍射效率 /zVOK4BqN+ - 光栅级次分析器[用例] P%&0]FCx •使用参数优化优化光栅参数
qwgPk9l •使用参数运行进行容差分析 N.{H,oO ` - 参数运行文档的用法[用例] ;LSANr&
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