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摘要 -0lpsF N/]TZu~k z 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 i9w xP i ,X+071.(
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Ci=c"JdB [JsQ/|=z 在VirtualLab Fusion中查看 =OTwP ^25$=0 4d[:{/+Q H#G'q_uHH VirtualLab Fusion的工作流程 ^hTq~ " *(s)CWf •构造光栅结构 7RTp+FC] - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] *m2J$9q - 倾斜光栅的高级配置[用例] B3e{'14 •分析光栅衍射效率 r!#NFek} - 光栅级次分析器[用例] bQEQHqY5 •使用参数优化优化光栅参数 7_n@iUG2n •使用参数运行进行容差分析 Uo5l
=\ - 参数运行文档的用法[用例] X2T)]`@ ppfBfMX
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