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摘要 nCB[4 W^ClHQ"Iy 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 x9\J1\ D'?]yyrf
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`t \n 建模任务 0hZxN2r ws().IZ
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*p"O*zj {"\q(R0 结果-容差分析 &}|0CR.( <mn-=#)
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MS 在VirtualLab Fusion中查看 9OhR41B 1+FYjh!2t T*p|'Q` L<"k7)k VirtualLab Fusion的工作流程 7~lB}$L v6KL93 •构造光栅结构 0 c,bet{m - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] &(WE]ziuO - 倾斜光栅的高级配置[用例] $TFTIk*uU •分析光栅衍射效率 pV_}Or_ - 光栅级次分析器[用例] |M]sk?"^ •使用参数优化优化光栅参数 {Wr\DVp •使用参数运行进行容差分析 KdS
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)ZviS. [6tR&D#K VirtualLab Fusion技术 S q.9-h%5 ^CO#QnB @
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