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摘要 %lL^[`AR ts2;?`~ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Q~/TqG
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.r~!d| I`%\ "bF@ 在VirtualLab Fusion中查看 igNZe."V 'jv[Gcss3L vRm.#+Td Aj`zT' VirtualLab Fusion的工作流程 E\U6n ""] l V[d`%( •构造光栅结构 _c}@Fi+E - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 2t h\% - 倾斜光栅的高级配置[用例] !f~ =p •分析光栅衍射效率 chjXsq#Q^ - 光栅级次分析器[用例] %vPs38Fks •使用参数优化优化光栅参数 3JuWG\r)l •使用参数运行进行容差分析 ~GL"s6C$`; - 参数运行文档的用法[用例] PZn[Yb: ?`+46U%
N 3IF j RhM]OJd' VirtualLab Fusion技术 `I$'Lp#5 )+]8T6~
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