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摘要 @"q~AY /.pa
??u 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 nG&w0de<> FiV^n6-F`
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[# H8= @F""wKnV 在VirtualLab Fusion中查看 B}TInI%H !5g)3St ql%]$`IV6 i9#`F.7F VirtualLab Fusion的工作流程 oHP>v_X 7|{%CckN
•构造光栅结构 ie$fMBIq - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] %k1q4qOG]^ - 倾斜光栅的高级配置[用例] p ] $ •分析光栅衍射效率 9M-NItFos - 光栅级次分析器[用例] NO0[`jy( •使用参数优化优化光栅参数 37ri b •使用参数运行进行容差分析 d-A%ZAkE] - 参数运行文档的用法[用例] 0qaG#&! -\sKSY5{R
^{6UAT~!R &CPe$'FYI VirtualLab Fusion技术 ]R2Z -2 #!<+:y'S?
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