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摘要 OjN]mp-q AOe~VW 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 4v>V7T. _KFKx3<m!
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073(xAkL{ ^tah4QmUA 结果-容差分析 3
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+ '/j`j>'!^ 在VirtualLab Fusion中查看 p})&Zl)V $\bH5|Hk] oI>;O# !hq7R]TC+ VirtualLab Fusion的工作流程 sJr$[? H.9 J}k1S •构造光栅结构 Cpj_mMtu - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] x!< C0N>?z - 倾斜光栅的高级配置[用例] 4MM#\ •分析光栅衍射效率 z+4R[+[ - 光栅级次分析器[用例] b &JPLUr •使用参数优化优化光栅参数 p;@PfhEz) •使用参数运行进行容差分析 h*d,AJz &. - 参数运行文档的用法[用例] Xm*Dh#H WV8<gx`Q
.Ybm27Dk ^I0SfZ'Y VirtualLab Fusion技术 >$?Z&7Lv rdK.*oT
[J^,_iN[. {>z.y1 文件信息 {*|yU" %:??QD*
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