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摘要 Gq Ma|8j H .*:+
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 gqV66xmJ3
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 XJg8-)T# NwAvxN<R(f 在VirtualLab Fusion中查看 o>WB,i^ G = og>& K  nhV\ < <A |X4; VirtualLab Fusion的工作流程 eS#kDa/ % mm}y/dO~} •构造光栅结构 kY>jp@w V - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] v. iHgh - 倾斜光栅的高级配置[用例] qt_ocOr •分析光栅衍射效率 )/HbmtX qI - 光栅级次分析器[用例]
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>Tb •使用参数优化优化光栅参数 5OEo(& •使用参数运行进行容差分析 }9:( l - 参数运行文档的用法[用例] =MR.*m {
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