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摘要 NV91{o(-7 f,-|"_5; 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 -s)2b
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Bdg*XfXXk }3*h`(Bv7 建模任务 M\<!m^~ Sx ~_p3_5U
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(Q4_3<G+ p/5!a~1'xN 结果-容差分析 B>]5/!_4 QbNv+Eu5
ps[6)d)o M!hby31 结果-容差分析
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w zo5.}mr+ 在VirtualLab Fusion中查看 mQvKreo~ |{jAMC0# EGDE4n5>I :aqh8bv VirtualLab Fusion的工作流程 ?rOb?cu- 6P~"7k •构造光栅结构 [!q&r(-K - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] qB39\j - 倾斜光栅的高级配置[用例] b
mm@oi •分析光栅衍射效率 X|QCa@Foe - 光栅级次分析器[用例] G9a%N •使用参数优化优化光栅参数 M+E5PZ|_
•使用参数运行进行容差分析 StDmJ] - 参数运行文档的用法[用例] 2%qn!+. 'f}S,i +q
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)f!dG(\ VirtualLab Fusion技术 _%2Umy| pjCWg4ya
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