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摘要 C/ENJ& s
>7(S%#N 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 -] `OaL! Vi>`g{\
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sh;>6xB L+Q.y~ 在VirtualLab Fusion中查看 THmmf_w@ V%JG :'6L gUrXaD# '\R/-. VirtualLab Fusion的工作流程 1{?5/F \ + 5^Ps(8VbS •构造光栅结构 tB<|7 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] nZ/pi$7 - 倾斜光栅的高级配置[用例] qHE( p+]E •分析光栅衍射效率 DwIX\9 - 光栅级次分析器[用例] 5?-@}PL!Y •使用参数优化优化光栅参数 Mcqym8,q|3 •使用参数运行进行容差分析 qx`)M3Mu|< - 参数运行文档的用法[用例] 0l2@3}e 2Z7r ZjXW
2-_d~~O1N ,Kwtp)EX VirtualLab Fusion技术 >.r> aH ab^>_xD<
9_lWB6 ':DLv{R 文件信息 Y1 *8&xT X*e<g=
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