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摘要 <lwkjt=RV fP:g}Z
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 RgT|^|ZA
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 jRP9e N3J;_=<4 在VirtualLab Fusion中查看 5J4'\M kq kj.# u  .` 3O4]N[ 89 [5a VirtualLab Fusion的工作流程 i7 /I8y C .[abpc •构造光栅结构 D-tm'AP q - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] %`[O z[V - 倾斜光栅的高级配置[用例] 9zKrFqhNo •分析光栅衍射效率 [Q2"OG@Q - 光栅级次分析器[用例] "ebm3t@C •使用参数优化优化光栅参数 V94eUmx>?+ •使用参数运行进行容差分析 j:;[Y `2 - 参数运行文档的用法[用例] xQ=sZv ^M
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