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摘要 [9+M/O|Vs )0d3sJ8 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 $V\xN(Ed 3{$cb"5
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^rxXAc[ 6SidH_&C 在VirtualLab Fusion中查看 2&Efqy8}DZ a!>AhOk. HWs?,AJNxB 4QDF%#~q^ VirtualLab Fusion的工作流程 XVI+Y 0Z@u6{Z9R •构造光栅结构 ZsV'-gu - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 8`*`4m - 倾斜光栅的高级配置[用例] %Y!lEzB5 •分析光栅衍射效率 "dkvk7zCP - 光栅级次分析器[用例] kU#$ •使用参数优化优化光栅参数 &i!.6M2 •使用参数运行进行容差分析 AalyEn&> - 参数运行文档的用法[用例] I/'jRM KD#ip3
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| fC81(5 VirtualLab Fusion技术 :/1WJG:! 4ci
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46$5f?Z ,':?3| $c 文件信息 UDxfS4yI 2p'qp/
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