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摘要 fgF@ x _c:th{* 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 :w4N*lV- #8BI`.t)j
p`52 CEzdH!nP 建模任务 [;:ocy FBzsM7]j
mGmZ}H'{ {FILt3f; 1阶的参数优化 V;Ln|._/t f3.oc9G
2<'ol65/c K05T`+N, 结果-容差分析 N\?__WlBK7 OKu~Nb*
$d.Dk4.ed N{M25ucAHl 结果-容差分析 iVmy|ewd qc3,/JO1
?Ho> 66_=bd(9 在VirtualLab Fusion中查看 I@#IXH?6 XV)ctF4 [W3sveqj& G"6XJYoI VirtualLab Fusion的工作流程 34_
V&8 fZnq5rTk" •构造光栅结构 `ah"Q;d$ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] t23W=U - 倾斜光栅的高级配置[用例] [l<&eI&ln •分析光栅衍射效率 g-m,n=qu - 光栅级次分析器[用例] p^ OHLT •使用参数优化优化光栅参数 5rQu^6& •使用参数运行进行容差分析 VT#`l0I} - 参数运行文档的用法[用例] xv%]g=Q TDy$Mv=y
2zX9c<S=5 Ufor> VirtualLab Fusion技术 ^B7Ls{ w:R#F(
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w:=:D=xH2 ETdN<}m 文件信息 r{Mn{1:O 'cc{sjG
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