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摘要 c^^[~YWj Z i-)PK^ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 $JKR, Uj!3H]d
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uJD p4m9@\gn 建模任务 Rv9oK-S #{973~uj
*ea%KE": I@dS/ 1阶的参数优化 uyr56 md`PRZzj@
asT*Z"/Q! J7q]|9Hus| 结果-容差分析 lq2P10j@ .PyPU]w
FJ}RT*7_C sFNB rL 结果-容差分析 *b+ef 1EvAV,v"
L"Y_:l3"7 N(<4nAE 在VirtualLab Fusion中查看 "S6'<~s ]^HlI4 z ]MjQr0&M
<^j,jX VirtualLab Fusion的工作流程 ${"+bWG2G! [}s nKogp •构造光栅结构 X}?`G?' - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] Hm=!;xAFX - 倾斜光栅的高级配置[用例] 3nVdws •分析光栅衍射效率 =]r<xON%S - 光栅级次分析器[用例] ;q:.&dak1 •使用参数优化优化光栅参数 9I0}:J;7 •使用参数运行进行容差分析 bYT,f.,5{ - 参数运行文档的用法[用例] 0eQwi l@ <u\j4<p
s53Pw>f KCR6@{@ VirtualLab Fusion技术 o"F=3b~:n <uXZ*E
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