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摘要 (>0d+ KT hBE}?J> 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 l:HO|Mq
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U)p2PTfB oqDW}>. 建模任务 J&a887 3Uag[ms
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(Z,,H1L D}"GrY5 在VirtualLab Fusion中查看 ~hvhT}lE yJp&A <O>Q;}>gfc L8j,?u#
VirtualLab Fusion的工作流程 >uuX<\cW )%tf,3 •构造光栅结构 -~(0:@o ; - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] x:2[E- - 倾斜光栅的高级配置[用例] AN~1E@" •分析光栅衍射效率 E?XA/z ! - 光栅级次分析器[用例] e2*^;&|% •使用参数优化优化光栅参数 ,OasT!Sr •使用参数运行进行容差分析 Dea;9O - 参数运行文档的用法[用例] +Zr03B zWY6D4
vl*RRoJ W;-Qze\D VirtualLab Fusion技术 T]vD ,I+ )nJ>kbO~8
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