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摘要 YR#1[fe*_ M"
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 "FD~XSRL Ps-d#~4U; =~*u(0sJa ovVU%2o1b 设计任务 yU`IyaazZ c3mlO[( $o^}<)DW |mX8fRh 纯相位传输的设计 >?xVr pYQs|5d 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 <VPtbM@(m ;^]F~x} 81g0oVv Fv
B2y8&W 结构设计 9bvd1bKEW 3M`J.> 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 %J'_c|EQM ABf#!G ],m-,K tL|Q{+i
yE 使用TEA进行性能评估 u[@*}|uXM `WL*Jb 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 ?Ci\3)u,P To95WG7G SuSZ,> Bf'(JJ7&N 使用傅里叶模态法进行性能评估 N11am Pr"ESd>Y 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 g;1
UZE; 8iB}a\]B >@o*v*25 1OKJE(T 进一步优化–零阶调整 MvA_tRO rCYn YA 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 Urr1K) "~6BC Ar_/9@n |ipppE= 进一步优化–零阶调整 ?T&D@Ohsx NgQl;$ 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 #;)7~69 -_dgd:or Lj#6K@u@Z c1f6RCu$b VirtualLab Fusion一瞥 SE1 tlP 62q-7nV ' =kX rv[\2@} VirtualLab Fusion中的工作流程 R_&>iu'[ 3`y:W9!u • 使用IFTA设计纯相位传输 &+sN=J.x •在多运行模式下执行IFTA 9cQSS'`F •设计源于传输的DOE结构 }\ F>z −结构设计[用例] $}829<gh7 •使用采样表面定义光栅 V l%k: −使用接口配置光栅结构[用例] c}lgWu~ •参数运行的配置 s?G@k} { −参数运行文档的使用[用例] -llujB%;,e "#()4.9 Jq->DzSmj/ ,^(T^ - VirtualLab Fusion技术 *HVO fHiCuF d0,I] " "T'!cy 文件信息 Zo`^pQS h(fh |R< JmK+#o hf'3yEm 更多阅读 mMR[( - Grating Order Analyzer !dGgLU_ - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces +RM3EvglDQ - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern Ldu!uihx - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark S'WmPv F-nt7l J]%P
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