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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 N&x WHFn]C  
    rKy-u  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 V'Z&>6Z  
    I4o =6ts  
    MKVfy:g%So  
     F; MF:;mM  
    建模任务 Xew1LPI  
    Hlt8al3  
    !0!U01SWa  
    概述 MR?*GI's  
    'Ffy8z{&3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 m<FWv2)^  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 } :RT,<  
    nI`f_sp  
     !e:iB7<  
    &sZ9$s:(^  
    光线追迹仿真 OD?y  
    eC+"mhB  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 EI=Naq  
    •单击go！ tL={y*  
    •获得了3D光线追迹结果。 't0+:o">:  
    f.aB?\"f6  
     Z#OhYm+y  
    z_:eM7]jv  
    光线追迹仿真 }XGMa?WR  
    {uaZ<4N.  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Yo~LckFF  
    •单击go！ rP^TN^bd|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 G%P>A g  
    VxkCK02k  
     PcHSm/d0e  
    u0bfX,e2U  
    场追迹仿真 BR& Aq  
    X$7Oo^1;  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 N|!MO{sB  
    •单击go！ v"P&` 1=T  
    W_[|X}lWP  
    KGV.S  
     @uI?  
    场追迹仿真（相机探测器） w(76H^e  
    Q0zW ]a  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Jv_.itc  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 fm(mO%  
    DA<F{n.Z:  
     Zg -]sp]  
    b]!9eV$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） q"gqO%Wb|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EMVk:Vt]  
    _GVE^yW~z  
    R)0N0gH  
     A6Ghj{~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Nls83 W  
     :J^qjAV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Bk?8 zYp  
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     2v0!` &?M{  
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    文件信息  !M  
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    更多阅读 &&[zT/]P  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ~9Z h,p ;  
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