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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 q2rUbU_A(  
    ]aryV?!6  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 TBrGA E  
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     %wptZ"2M  
    建模任务 4Kwh?8.  
    ^!8P<y  
    US [dkbKo  
    概述  '1^B +m  
    LPYbHo3fq  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )~6zYJ2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。  Ez~'^s@  
    X[gn+6WB%  
     6x)$Dl  
    J[~5U~F  
    光线追迹仿真 R9rj/Co  
    2F#q I1  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %M|,b!eF  
    •单击go！ Em 6Qe  
    •获得了3D光线追迹结果。 KOz(TZ?u  
    !HeSOzN  
     "1`Oh<={b  
    >gwz,{  
    光线追迹仿真 dC\ZjZZ  
    9+s.w25R  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 73#x|lY  
    •单击go！ E{^XlY  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )}vNOE?X~  
    Vm}%ttTC  
     :j')E`#   
    <GHYt#GIZ+  
    场追迹仿真 `Q3s4VEC  
    -<v~snq'  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =0;}K@(J  
    •单击go！ 7@lS.w\#-  
    G0u LmW70  
    $N :Vo(*  
     :1XtvH  
    场追迹仿真（相机探测器） ")O`mXg-  
    Y HSYu  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7QKr_  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 8d*/HF)h  
    5zFR7/p{  
     "H -"  
    wn_b[tdxq  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #P]#9Ty:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >9RD_QG7  
    Q+b D}emd  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） OO?]qZa1  
     M?&h~V1OI~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2C{H$ A,pW  
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    更多阅读 AU-n&uX  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 8-y{a.,u.  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     kJW N.  
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    QQ：2987619807 "#(T  
     
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