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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 ?a]mDx>xh  
    $*m-R*kt  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 qH_Dc=~la  
    \i &<s;  
    Tlr v={  
     1o>xEWt:0K  
    建模任务 6Kz,{F@  
    ~g t@P  
    u ^RxD^=L  
    概述 9lE_nc  
     %;!.n{X  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 TA~{1_l  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 FpU>^'2]  
    DtnEi4h,  
     xgtR6E^k  
    /Z4et'Lo  
    光线追迹仿真 3Zh)]^  
    ;dhQN }7  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 L}NSR  
    •单击go！ cB&:z)i4  
    •获得了3D光线追迹结果。 1h5 Akq  
    ybUaTD@?}b  
     u]@['7  
    &cTU sK  
    光线追迹仿真 kG*~ |ma  
    A+{VGP^  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2J;g{95z  
    •单击go！ =vhm}  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 bZV/l4TU  
    Kc(FX%3LU  
     >LuYHr  
    Tm?#M&'  
    场追迹仿真 TS5Q1+hWHV  
    u#SWj,X  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 T[A 69O]v  
    •单击go！ Rlirs-WQ  
    rVsJ`+L  
    jZ; =so  
     "zy7C*)>r  
    场追迹仿真（相机探测器） gZ1?G-Q  
    @=kSo -SX  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BsJC0I(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1-QS~)+  
    nFs(?Rv*  
     g=o4Q< #^y  
    p D+k*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Q NVa?'0"Y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Sa5G.^ XI  
    @\I#^X5lv  
    ^Zp>G{QL{  
     5/z/>D;  
    场追迹仿真（电磁场探测器） TuqH*{NNy9  
     #R RRu2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?G&ikxl  
    8HdAFRw  
     5*D/%]YsD  
    sn>~O4"  
    文件信息 6S\8$  
    tklH@'q  
     HUOj0T  
    4v|W-h"K  
    更多阅读 M& CqSd  
    yR.Ong  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer RzusNS  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     2dgd~   
    n?K  
     o%*xvH*A  
    QQ：2987619807 tFl"n;~T  
     
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