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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 Q$8K-5U%  
     _!E)a  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 s> JWNP  
    #GOL%2X  
    IRIYj(J  
     UpS7>c7s  
    建模任务 r"&VG2c0K  
    Q8^g WBc  
    Wph@LRB]  
    概述 N~+ e\K6  
    }$Z0v`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 -;j ' =?  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 @=dwvl' W  
    ' oS= d  
     wAF<_NG#  
    ]h?p3T$h  
    光线追迹仿真 Zk> #T:{h  
    kn&>4/')  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4}Dfi5:   
    •单击go！ 2JL\1=k;  
    •获得了3D光线追迹结果。 o e,yCdPs  
    +MyXIWmD  
     IM=3n%6  
    ]4eIhj?  
    光线追迹仿真 ]? % *3I  
    =H;F{J "  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 % 9} ?*U  
    •单击go！ >o )v  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [(*?  
    tO+Lf2Ni+  
     36UUt!}p  
    \^x`GsVy  
    场追迹仿真 raJv$P  
    9y?)Ga  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,f}u|D 3@  
    •单击go！ #D-Ttla  
    pB'{_{8aA  
    |OBh:d_B]  
     ;S+]Z!5LT  
    场追迹仿真（相机探测器） ,vB~9^~  
    hj,yl&  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1"f)\FPGe  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {'z(  
    q!AcM d\  
     +d=w%r)  
    2Z+:^5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jJyS^*.X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d8.A8<wUr  
    0+Z?9$a1  
    M`p[ Zq  
     _B7+n"t\r  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2:G/Oj h&]  
     q aG8:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p(. z#o#  
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    更多阅读 t6Nkv;)>@  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ',]^Qu`a  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     [r^WS;9n  
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    QQ：2987619807 Q!{,^Qb  
     
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