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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 #Rj&PzBe  
    zHg1K,t:  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 G.B~n>}JU,  
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    建模任务 6");NHE  
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    仿真干涉条纹 Qw@_.I  
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    走进VirtualLab Fusion VX+:C(m~  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 M\!z='Fi  
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    •设置输入场 qi]"`\  
    −基本光源模型[教程视频] )r`F}_CEL  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 y7@q]~%  
    •定义元件的位置和方向 wticA#mb  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] )d =8)9B  
    •正确设置通道以进行非序列追迹  C4.g}q  
    −非序列追迹的通道设置[用例] 6xT" j)h  
    •使用参数运行检查影响/变化 &~&nJr  
    −参数运行文档的使用[用例] RbN# dI'  
     .?NraydwV  
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    VirtualLab Fusion技术 %1UdG6&J_  
    ZGgM- O1  
    文件信息 Y| 2Gj(*8  
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    -8%[ 7Z]  
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