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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 fU)hn  
    KD Qux  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 eX_}KH-Q  
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    建模任务 L1rov  
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    仿真干涉条纹 um3 M4>K  
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    走进VirtualLab Fusion X:62 )^~'  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 1Kc* MS  
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    •设置输入场 %&gx@ \v  
    −基本光源模型[教程视频] uft~+w P  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 Vs07d,@w>  
    •定义元件的位置和方向 WUa-hm2:  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] `RmB{qgB  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 ~}ewna/2  
    −非序列追迹的通道设置[用例] MQG$J!N  
    •使用参数运行检查影响/变化 uN`ACc)ESi  
    −参数运行文档的使用[用例] ,cC4d`  
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    VirtualLab Fusion技术 ^`dp!1.+  
    8u+ (+25  
    文件信息 Y_)04dmr@[  
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    v<2+yZ M  
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