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摘要 }BJR/r zT ; +akq 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 p\ _& 3u~V&jl
)6:1`&6 8;"HM5+ 建模任务 ID8u&: ) S,f I @"O|[%7e S)=3%toS> 倾斜平面下的观测条纹 GVld]ioycG pMLTXqL \<W/Z.}/ !6*m<#Qm 圆柱面下的观测条纹 H_d^Xk QZ 9|qzFmE# /#g
P#Z% k8E{pc6; 球面下的观测条纹 hK 1 H'~c HJt@m
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