MEMS技术发展史

MEMS技术发展史 yCav;ZS_  
MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。  WZY+c
 
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? )$bF*  
1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) i?;#ZNh  
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) MP)Prl>  
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) x,.=VB  
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) #v<`|_  
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) 7QNx*8p  
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) Q;w[o
 
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) \Ta5c31S+  
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) Z,e|L4&  
1971年，发明微处理器 m*A b<$y  
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 Mms|jFoQ  
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) _uLpU4# ?  
1982年，LIGA进程(德国KfK) c:u*-lYmK%  
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) 6V%}2YE?X  
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) t(6]j#5   
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 E+qLj|IU  
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) \<*F#3U1  
1985年，发现"Buckyball" 't&1y6Uu  
1986年，发明原子力显微镜 5WJ ~%"O  
1986年，硅片键合(M.Shimbo) _.Hj:nFHz  
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) 6XF Ufi+  
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) 3qf#NJN}  
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 G3io!XM)D  
1991年，发现碳纳米管 "Zh,;)hS  
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) SsTBjIX  
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) nPdkvs   
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) ,v K%e>e&  
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 cZ|*Zpk  
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) $cHU,  
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 oI/_
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1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 ''@Tke3IG6  
1999年，光网络交换机(朗讯) w01[oU$
x=  
2000年代，光学MEMS热潮 [0y,K{8t  
2000年代，BioMEMS激增 Zf3(! a[  
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 *3`R W<Z  
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# :_6o|9J\t  

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