MEMS技术发展史

MEMS技术发展史 "?r_A*U  
MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 (Y:?qy  
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? 'wd&O03&  
1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) LyNLz m5  
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) ?*dt JL  
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) "U o~fJ  
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) .)[0yW&  
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) 2kW*Z7@D  
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) K(75)/  
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) :e!3-#H  
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) ,ocAB;K  
1971年，发明微处理器 6`V~cVu  
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 9*;OHoDh  
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) ihBIE  
1982年，LIGA进程(德国KfK) s_4y^w]aX  
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) J|.n bSE  
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) 5h@5.-}  
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 L.Tu7+M4  
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) Kw87 0n<  
1985年，发现"Buckyball" >eucQ]  
1986年，发明原子力显微镜 ?G<.W
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1986年，硅片键合(M.Shimbo) {vox x&UX  
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) G^2%F5@  
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) "a=dx| Z  
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 LtVIvZie  
1991年，发现碳纳米管 3F?_{A  
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) |"i"8~/@<  
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) JL!:`#\  
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) QQ\\:]iM  
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 UoOxGo  
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) }II)<g'  
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 BXa.XZ<n(  
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 &h'NC%
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1999年，光网络交换机(朗讯) V(P 1{g  
2000年代，光学MEMS热潮 o@uZU4MM  
2000年代，BioMEMS激增 d]+2rt}]hL  
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 > K s.  
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# @YHt[>*S  

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