[讨论]微晶玻璃镀膜AF，摩擦测试NG! [复制链接]

有谁有相关经验，欢迎大家讨论，同锅镀膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/蓝宝石，测试结果都OK Y~Ifj,\  
设备试过溅射设备（新克隆/光驰）/蒸镀（光驰/新克隆/联合真空） 2Hdu:"j  
AF克药试用很多种类，没有改善效果。 DJ%PWlK5  
初步分析是摩擦后打底层脱落，打底材料试过P药/AL203/SIO2。 ]{kPrey  
玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI kl,3IKHa  
现怀疑是清洗导致表面附着--硅酸锂和硅酸钠（希望大家给些清洗建议），验证不清洗比清洗后效果要好。 6Iw\c  
有没有谁有相关经验的，欢迎探讨! .KC++\{HE  
V,9cl,z+  

如果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。 %bfZn9_m  
这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。 *'X3z@R  
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而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度。

再加一槽清洗剂去除硅酸

感谢回答！ 7yba04D)
 
以上方案试过了，附着物估计是微米级别的，离子源没有办法清理干净。

请问一下，使用什么清洗剂？

镀膜后超洗使用的洗剂PH值很关键，有没有试过氧化钛打底。

果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。 - CWywuD  
这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。 2T TdH)  
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而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度