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    [讨论]微晶玻璃镀膜AF，摩擦测试NG! [复制链接]

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    离线chenenlin
    助理工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-15
    此帖悬赏结束
    最佳答案：15 光币，最佳答案获得者：ouyuu
    关键词： 玻璃镀膜
    有谁有相关经验，欢迎大家讨论，同锅镀膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/蓝宝石，测试结果都OK  a1t4Dd  
    设备试过溅射设备（新克隆/光驰）/蒸镀（光驰/新克隆/联合真空）  @Z\,q's  
    AF克药试用很多种类，没有改善效果。 AP7Yuv`  
    初步分析是摩擦后打底层脱落，打底材料试过P药/AL203/SIO2。 smRE!f*q  
    玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI T"E6y"D  
    现怀疑是清洗导致表面附着--硅酸锂和硅酸钠（希望大家给些清洗建议），验证不清洗比清洗后效果要好。 =u2l. CX  
    有没有谁有相关经验的，欢迎探讨! d4>Z8FF|1B  
    aTqd@},?  
    本帖提到的人: @ouyuu
     
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-03-19
    最佳答案奖励：+15 光币
    如果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。 i|w81p^o  
    这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。 /%}*Xh  
    Gb#Cm]  
    而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度。
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    离线tony肖
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-06-22
    热心助人奖励：+1 光币
    再加一槽清洗剂去除硅酸
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    离线chenenlin
    助理工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2021-03-20
    感谢回答！ ,0*&OXt  
    以上方案试过了，附着物估计是微米级别的，离子源没有办法清理干净。
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    离线chenenlin
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2021-06-25
    请问一下，使用什么清洗剂？
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    离线伤城vs雾都
    技术员
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    只看该作者 5楼 发表于: 2021-06-28
    镀膜后超洗使用的洗剂PH值很关键，有没有试过氧化钛打底。
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    离线聂光辉
    实习生
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    只看该作者 6楼 发表于: 2022-03-05
    果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。 :`-,Lbg  
    这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。 4{hps.$?~  
    YVYu:}e3)  
    而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度
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