摘要 `z` `d*_ e^Xij Id. 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Ip4NkUI3T qW7"qw=
4&ea*w HxY,R^ 建模任务 L''0`a. +S
qqzQKN
a
LmVOL{ mZ;yk( 1阶的参数优化 I9F[b#'Pn
:GK{JP
N0vd>b Xp} vJl 结果-容差分析 {sm={q
Y[~6f,?^
RaU.yCYyu 5h:SH]tn8] 结果-容差分析 Yn<0D|S;X
<Z m ,q}
uAvs =|U2 }U; 在VirtualLab Fusion中查看 Ve8! k@8#By l|
mzT} C&hfP k9Sqp:l, VirtualLab Fusion的工作流程 uPF yRWK D`t e|K5 •构造光栅结构
_).'SU)> -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Oq[E\8Wn -
倾斜光栅的高级配置[用例]
jujx3rnK? •分析光栅衍射效率
=` i 7? - 光栅级次分析器[用例]
S-rqrbr|AT •使用参数优化优化光栅参数
34oLl#q* •使用参数运行进行容差分析
ZM#WdP -
参数运行文档的用法[用例]
r0X2cc QhGg^h%6
HQ
s)T *(vq-IE\$ VirtualLab Fusion技术 `>sqP aD
9#iDrZW
42wcpSp hL`zV 文件信息 ]Qu12Wg}P H*\[:tPa
i52R,hz 软件咨询QQ:939912426