摘要 y.'5*08S0 .G|9:b 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
|X$O'Gf#n )FnJLd
^dF?MQA<@ 0j)D[K 建模任务 chr^>%Q_
vw/L|b7G
& NO:S xJ18M@"j 1阶的参数优化 AvS<b3EoN
N4JJA+
m$X0O_*A lQSKY}h 结果-容差分析 k;bdzcMkQ
{!`0i
zJ2dPp~u Rt^~db 结果-容差分析 !^:)zORYR
@d]a#ypU
7"c^$fj [aF^ D;o 在VirtualLab Fusion中查看 ~jDG&L [h
GS*
^+m6lsuA 7;T6hKWV[ VirtualLab Fusion的工作流程 L(bYG0ZI5C G(~
s(r{%I •构造光栅结构
cU^Z=B -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
/Dl{I7W -
倾斜光栅的高级配置[用例]
~RRp5x _ •分析光栅衍射效率
?'dsiA[ - 光栅级次分析器[用例]
9J0JSy •使用参数优化优化光栅参数
Y%B:IeF} •使用参数运行进行容差分析
AD , -
参数运行文档的用法[用例]
y)B>g/Hoh ?Thh7#7LM
mjwh40x.o 6/Pw'4H9$ VirtualLab Fusion技术 iksd^\]f
lLb"><8a
G{ 9p.Q tTzPT< 文件信息 sKvz<7pag k_^|%xJ
srbU}u3VZ 软件咨询QQ:939912426