摘要 2E Y"[xK| I-7LT?r 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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H?5 ]]x Kc5CT 在VirtualLab Fusion中查看 8$Q`wRt(% HN47/]"* 
WSThhI 4.6$m VirtualLab Fusion的工作流程 !Jg;%%E3:i )!y>2$20 r •构造光栅结构
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使用特殊介质配置光栅结构[用例]
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倾斜光栅的高级配置[用例]
3 f|}p{3 •分析光栅衍射效率
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[ - 光栅级次分析器[用例]
6*8W tq •使用参数优化优化光栅参数
LvG.ocCG •使用参数运行进行容差分析
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参数运行文档的用法[用例]
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U}v`~' K 337.' |ZE VirtualLab Fusion技术 N'^>pSc4W|
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M,Gy.ivz 软件咨询QQ：939912426
