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    [分享]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-15
    摘要 j|&DP-@g/  
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    对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 t*a*v;iz  
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    建模任务 <4Q12:  
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    结果-容差分析 *^D@l%av;  
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    结果-容差分析 {xv?wenE  
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    VirtualLab Fusion中查看 JY2/YDJ  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 fVDDYo2\  
    (T|TEt  
    •构造光栅结构 ym|NT0_0  
    - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] +}^|dkc  
    - 倾斜光栅的高级配置[用例] 4mN].X[,  
    •分析光栅衍射效率 Zk=*7?!!  
    - 光栅级次分析器[用例] ?< cM^$lI>  
    •使用参数优化优化光栅参数 %kh#{*q$  
    •使用参数运行进行容差分析 ]cm6 |`pz  
    - 参数运行文档的用法[用例] V#0 dGP-Z  
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    VirtualLab Fusion技术 SyK9Is{8  
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