摘要 {`'b+0[;@ ns3k{l# 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
^~0r+w61 y|aWUX/a
%[0"[ <1a ^ey\ c1K 建模任务 OV[-m;h|
M;E&@[5
x\=h^r#w *n47.(a2i 1阶的参数优化 YcI]_[
m4iR
'~L}
IoX(Pa gp}S 1 结果-容差分析 OJ 2M_q)e
WRgz]=W3w
}N[sydL {hl_/
aG 结果-容差分析 * n[6H
ex['{|a{
RsbrD8*AD 1ID!rxE 在VirtualLab Fusion中查看 czp5MU_^ ZGrV? @o,6
<D=%55 V;z?m)ur VirtualLab Fusion的工作流程 Ze~\=X" " >3ODqRu •构造光栅结构
[:o#d`^ -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
C?|gf?1p -
倾斜光栅的高级配置[用例]
o%dtf5}(, •分析光栅衍射效率
Pg:Nz@CQ - 光栅级次分析器[用例]
7yc:=^ ) •使用参数优化优化光栅参数
NZ_45/(dx •使用参数运行进行容差分析
+vQyHo -
参数运行文档的用法[用例]
Q=dR[t>^ u66w('2
h$k(|/+ E>ev /6ox VirtualLab Fusion技术 f ZISwr
W=DQ6.
!=-l760 # WxH 文件信息 l})uYae/ FrVD~;
:\>UZ9h # 软件咨询QQ:939912426