摘要 x#o?>5Qg? 49y *xMn 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
yr{5Rp05= *?b@>_1K 
toN s9:%s*$u 建模任务 L kp &;+
wV
%8v\
:D^ Y? johmJLC 1阶的参数优化 |3"NwM>
1[[ TB .xF
7n
[12: lSs^A@ s 结果-容差分析 ?V6 %>RU
j$%yw4dsj
ylT6h_z1[Y S]. Ft/+H 结果-容差分析 F42TKPN^uu
6BR \iZ
1 uY3[Z9S <Q\H 在VirtualLab Fusion中查看 zv|M*Wu Bd.Z+#%l" 
s?~8O|Mu' @>gD1Q7v b VirtualLab Fusion的工作流程 wi dI
s[
) T:dX4=z •构造光栅结构
0K`ZX&K?W -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
hq]xmM?& -
倾斜光栅的高级配置[用例]
i)GeX: •分析光栅衍射效率
p5D5%B/ - 光栅级次分析器[用例]
rSzQUn< •使用参数优化优化光栅参数
CF,8f$:2 •使用参数运行进行容差分析
s&Z35IM8| -
参数运行文档的用法[用例]
x$*E\/zi<! y`\mQ48V 
(v|ixa BQ 5_s,VM VirtualLab Fusion技术 LAizx^F
;K>{_ k f
\}U[}5Pk& 3"f)*w7d 文件信息 rL.<Z@ - HDa ~7wE 
3j]UEA^ 软件咨询QQ：939912426
