摘要 RJy=pNztm \o\nr!=k 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Fkf97Oi m~lpyAw 在VirtualLab Fusion中查看 T6pLoaKu `z0{S!
# wc \T 9S[XTU VirtualLab Fusion的工作流程 eZr&x~]
-w 4t/&. •构造光栅结构
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使用特殊介质配置光栅结构[用例]
AF43$6KZP$ -
倾斜光栅的高级配置[用例]
+3i7D •分析光栅衍射效率
`VQb-V - 光栅级次分析器[用例]
BZb]SoAL •使用参数优化优化光栅参数
83cW=?UgA •使用参数运行进行容差分析
"xAWG$b -
参数运行文档的用法[用例]
[ BT)l] 577:u<Yt
WZ!WxX>zO 4f~["[*ea VirtualLab Fusion技术 $T<}y_nHl
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