摘要 "E/UNE6P4 qsTB)RdjP% 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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=SqI#v ;\[el<Y)s 在VirtualLab Fusion中查看 U6M3,"? y%4G[Dz
NL76 jF nm.~~h+8M VirtualLab Fusion的工作流程 3duWk sERC 9u&q{I •构造光栅结构
Q $5U5hb -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Fs|aH-9\ -
倾斜光栅的高级配置[用例]
Ebk_(Py\ •分析光栅衍射效率
X'W8 mqk - 光栅级次分析器[用例]
*6b$l.Vs •使用参数优化优化光栅参数
Rz_fNlA •使用参数运行进行容差分析
eYD|`)-f<^ -
参数运行文档的用法[用例]
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