摘要 ar$*a>'? VEs5;]#<2D 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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P@0Y./Ds ~OypE4./1 在VirtualLab Fusion中查看 M%`\P\A )D/ 6%]O
nidr\oFUIn {mTytT VirtualLab Fusion的工作流程 X`JVR"=4 O !&,5 Dy •构造光栅结构
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使用特殊介质配置光栅结构[用例]
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倾斜光栅的高级配置[用例]
_O]xey^r •分析光栅衍射效率
Q5a)}6-5 - 光栅级次分析器[用例]
nwmW.(R4 •使用参数优化优化光栅参数
[[+ pMI •使用参数运行进行容差分析
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参数运行文档的用法[用例]
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#hw>tA6 (gXN%rsY VirtualLab Fusion技术 #FH[hRo=6
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