摘要 MWhwMj!:m Rf:<-C0T 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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YLmjEs% 6g|#ho1Bbs VirtualLab Fusion的工作流程 C
Oa .xyp Z8fJ{uOIL •构造光栅结构
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使用特殊介质配置光栅结构[用例]
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倾斜光栅的高级配置[用例]
)7w@E$l" •分析光栅衍射效率
uOFnCy 4 - 光栅级次分析器[用例]
R=Ymo.zs6 •使用参数优化优化光栅参数
C d|W#.6 •使用参数运行进行容差分析
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参数运行文档的用法[用例]
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(Xj.iP =1/q)b ,p) VirtualLab Fusion技术 }1F6?do3&
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,02w@we5 P{Lg{I_w.B 文件信息 X\mz+al>[ KqK9X 
*(p7NYf1 软件咨询QQ：939912426
