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楼主
发表于: 2021-03-15
摘要
~Ltr.ci
-(IC~
7petHi
>F3.c%VU]w
干涉
测量法是一项用于
光学
测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、
机械
和热变形的高
精度
测量。作为一个典型示例,在非
序列
场追迹技术的帮助下,于
VirtualLab
Fusion中建立了具有相干
激光
源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了
光学元件
的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。
vM`~)rO@!
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建模任务
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SRL-Z&M
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Qhy#r
由于组件倾斜引起的干涉条纹
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由于偏移倾斜引起的干涉条纹
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