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摘要 `mfN3Q *[c [,1\>z|& 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 b jq1",
kj4t u3>D vl@ `vijd(a?v 建模任务 qAF.i^ Z}
8 m]I  ZTwCFn 光栅特性与参数的严格分析 %+y92'GqG/ ?H.7
WtTC 不同光栅周期下的衍射效率 YdI&OzaroE w u
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j cT 关于光栅周期选择的考虑 )G">7cg;t
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 MJ )a Y2 9mT;> mE 通过参数优化进行光栅设计 /4 R|QD ua^gG3n0 固定周期的2D参数优化 )^C w -Xw i}/OX
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 gX}(6RP_! BtyB Z8P;e •构造光栅结构 kO]], Vy`
−通过使用界面来配置光栅结构 ,~!rn}MI<
[用例] FE)L?
•分析光栅衍射效率 +=5D t7/|
−光栅级次分析器[用例] gC MwmanX
•使用参数运行搜索初始解决方案 eQ}o;vJN
−参数运行文档的使用[用例] A& $oiLc
•通过参数优化找到最终设计 f2sv$#' JVzU'd;1! VirtualLab Fusion技术 {jOCz1J PTu~PVbp4
 f$lf(brQ: USKa6 <:{W 文件信息 ;_yp@.,\T 9` /\|t|V t\hvhcbL  PQmgv&!DP
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