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摘要 A???s,F_ 0g4cyK~n] 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 i%w'Cs0y 4HAfTQ 1G 4+:u2&I c2"OpI 建模任务 OYy8u{@U: rtz(Jt{< "p\KePc;@ 光栅特性与参数的严格分析 J(60eTwQ dtm@G|Ij 不同光栅周期下的衍射效率 [MG:Ym).2` n2~rrQ
\/p /qG?(3 F{Hy@7 关于光栅周期选择的考虑 3{z }[@N akoI LX~u mi?Fy0\ bfgLU.1I 偏振相关的衍射特性 1>1!oml1E ?jnEHn 0)#I5tEre HAXx`r< 2J$Uz,@ RIlPH~
z`CIgSR 1Cthi[B 通过参数优化进行光栅设计 "]%
L{aP Im=E?t 固定周期的2D参数优化 z$A5p4=B'^ -xXM/3g1u #0tM88Wi 2D参数优化–设计1 #PGExN3e EP
@=i <JlKtR&nSo >:Ec 2D参数优化–设计2 &q+ %OPV Cv3H%g+as :iJ= 9 4CqZvdC 制造公差分析–设计2 _IGQ<U <z quR':=S5f {k>m5L #~Q0s)Ze 变化光栅周期的3D参数优化 KMv|;yXYj4 yl*S|= 8;k tfsG
P]9$ qe0@tKim 制造公差分析 t}K?.To$ SU1,+7" HV>W f"1 /lUb9&yV 走进VirtualLab Fusion [Gu]p& GlaWBF# }'3V(;9 #nnP.t m VirtualLab Fusion中的工作流程 =
hpX2/] -?ip ?[Z (mycUU% ~k&b3-A} •构造光栅结构 A%Ao yy4E −通过使用界面来配置光栅结构 y 8sI @y6 [用例] n'&WIf3 •分析光栅衍射效率 {It4=I)M −光栅级次分析器[用例] StE4n0V •使用参数运行搜索初始解决方案 *`\>J.
−参数运行文档的使用[用例] ms~ mg: •通过参数优化找到最终设计 7oUYRqd PR Y)hb;1 VirtualLab Fusion技术 *Owq_)_(| OUD<+i, .NabK !j- 7, 文件信息 _M7AQ5 qsJo)SA fO9e ; t4nAy)I)P K }r%OOn0 更多阅览 q4VOK
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