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摘要 X:/7#fcG8 cCuK?3V4K 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 NY
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z.~jqxA9 关于光栅周期选择的考虑 <2 e[; $
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QQt4pDir> •构造光栅结构 e|q~t
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−通过使用界面来配置光栅结构 K'y|_XsBB)
[用例] 8~F?%!X
•分析光栅衍射效率 I]%Kd('
−光栅级次分析器[用例] OlgM7Vrl
•使用参数运行搜索初始解决方案 Z)f?X
−参数运行文档的使用[用例] UjMWSPEBy
•通过参数优化找到最终设计 7 .]H9 cdN =HM~I VirtualLab Fusion技术 = ui3I_*)
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/.~zk(-&h 更多阅览 '2UQN7@d
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