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摘要 6G:7r [ "MDy0Tj8EN 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 1r<'&f5 R".*dC,0'B
L7N>p4h]Xj )SfM `W)Y 光栅详细说明 =!=DISPo *s!T$oc
9)'wgI# BWzo|isv •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 !
;R}= •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 M2M&L,/O l'?(4N 光栅阶次分析器设置 ki]i[cdk
(!T\[6 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 F "-GhjK •可以指定各种输出选项。 MYUL y2) •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 Cil1wFBb ZU5; w
n0w0]dJ&lc nDXy$f8 常规设置 WU6F-{M"? 8e_9u@p+w
}5y]kn D}?JX5. •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 RYM[{]4b5F •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 bJL ,pe+u sl*&.F,v= 单个阶次设置 2~@Cj@P] xUIH,Fp-9
CMYkxU jo"zdb •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 =]-D_$S~ •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 }nWW`:t kx {Yv5Z.L&( 单个阶次设置 cB7'>L (E \lLlN a7e.Z9k! !3Q^oR
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`* 探测器标签页中的输出 ,>3|\4/Q 'e7;^s
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