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摘要 Tz1^"tx9 &J3QO% 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 L-|l$Ti" xO|r<R7d7
hU$aZ )ce 6~ 光栅详细说明 I[?\Or ]$/oSa/
j4/[Z'5ny p#$/{;yy •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 .~i|kc]Ue •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 Da-Lf2qT9 YY;<y%:8Z 光栅阶次分析器设置 6ld4'oM phy}Hk/ •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 mi=mwN%UB •可以指定各种输出选项。 _wKwiJs •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 w5>[hQR\ EJn]C=_(
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