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摘要 Q&%gpa).W <Nc9F[' 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 IF//bgk- 99]s/KD2yb
CUjRz5L ,'l.u?SKyd 光栅详细说明 U~c9PqjZ L ]BTX]
!y!s/i&P% -~lrv#5Q •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 _n4`mL8>kH •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 ,5K&f\ =FFs8&PKys 光栅阶次分析器设置 V2tA!II-s ilQ\+xR{b •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ]x3 )OjH •可以指定各种输出选项。 ,pkzNe`F •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 09G]t1!, Z vyF"4QN
HJ!)&xT I9U
8@e!X 常规设置 dPgA~~ g K dNgU
Gt !Hm( =Q|s[F •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 i@<w"yNd_ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 W>P :EI1 pBQ[lPCY/ 单个阶次设置 k<"N^+GSz WCp[6g&%O
~n/:a (ijO|%? •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 y92<(ziaX) •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 u/\Ipk/ g)MLgjj 单个阶次设置 /`O'eH j{zVVT Vr&v:8:wb =)]RD%Oq
-OfAl~ 4 O9{A)b!HB 探测器标签页中的输出 xz,M>Ua 0upZ4eN
}yCgd 5+_ i{J[;rV9 •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 8mX:*$qm: •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 /J,&G:
Er W*4!A\K 极坐标图中的输出 (Pt*|@i2c zH@+\#M {Z[kvXf"mZ 23q2u6.F` •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 L+)mZb& •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 MpJx>0j/J U(:t$SBKy 极坐标图设置 +,9Muf h +Pn`AV1
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