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摘要 IKo;9|2U A*R n<{U 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 R2CQXhiJ <&6u]uKrW
VjY<\WqbS 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ljuNs@q l^
Rm0t_ 建模任务 UP]1(S? e$32
~o i)Lf1 LJj=]_ 单次FMM仿真结果 +v!v[qn 4T%cTH:.9N
obj!I7 McP~}"!^ 参数扫描(1D) 0 7\02f Co[n--@C
x~z_,': fx]eDA|$e 参数扫描(2D) jWSb5#Pw yjFe' S+iP^*L,c M7vj^mt? 文件信息 {\L|s5=yr rw]yKH
P:^=m*d u1N1n;# ?&xlT+JM QQ:2987619807 V~[:*WOX
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