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摘要 wtIXZUx ]uG9WT6l 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 r3{Cu z M9M~[[
{f<2VeJ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) <$qe2FtUq ?45bvkCT 建模任务 H0LEK(K ,l1A]Wx
ko2 ?q zU}Ru&T9 单次FMM仿真结果
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33:{IV;k _H}8eU 参数扫描(1D) 8{^zXJi]m )7f;FWI
#R-l2OO^] wxS.!9K 参数扫描(2D) PFq1Zai}n| /m"O.17N $pr\"!|z .!/w[Z] 文件信息 !Z]#1"A8 bvzNur_
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