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摘要 Y6jyU1> 0@ `]m 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 h[
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37U8< 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) `0d0T~ V*p[6{U0 建模任务 7H7
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uJ% <+I iM]O 单次FMM仿真结果 Y 6a`{' Kr}RFJ"d
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|Xso}Y{ 参数扫描(1D) q*hn5 K* W5|{A])N
t~+M>Fjm?d =M\yh,s! 参数扫描(2D) L!Jx`zM^ pzF_g-B Aiq Kf= (m/:B=K 文件信息 ]iV]7g8: Hv/C40uM-
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N*IroT3 1c$pz:$vX QQ:2987619807 E?w#$HS
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