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摘要 'LO^< 0sfr d 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 *U
P@9D F;7dt@5; v%iof1 T'
傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) w tiny,6 ~wkj&yVT 建模任务 Aj+2;]M TX&Jt% @tZ&2RY1 d~JKH&x< 单次FMM仿真结果 XYZ4TeW\1 \E*d\hrl{ g.zEn/SM Jc|6& 参数扫描(1D) Vv.|br`;} Is{KN!Hw d ysC4DS hKT 参数扫描(2D) !U'QqnT G"Sd@%W( <7j87 (K)] qNH 文件信息 oaoU _V ,Qe?8En[ enSXP~9w
ng_^ |ayVjqJ* QQ:2987619807 Ipq"E
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