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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <F#/wU^9
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 [>xGynU0 [X=J]e^D 建模任务 |C_sP,W :^ *9E b  h& Q 9 光栅特性与参数的严格分析 $kCXp.#k@~ (14J~MDB 不同光栅周期下的衍射效率 uU#7SX(uu 9<Kc 9Z
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[用例] B0^0d*8t|@
•分析光栅衍射效率 'b*
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−光栅级次分析器[用例] HZ1e~IIw
•使用参数运行搜索初始解决方案 P*# H]Pv
−参数运行文档的使用[用例] 3PEv.h Gx
•通过参数优化找到最终设计 [8VB"{{& d2x|PpmH VirtualLab Fusion技术 n~#%>C7 l(T CF
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