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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^| F Vc48{
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 Up /eV}C v2Qc}o 建模任务 ReHd~G9 v)C:E 9!|  RF,=bOr19 光栅特性与参数的严格分析 "a0u-}/D 7{kpx$ :_ 不同光栅周期下的衍射效率 bgzT 3KZ lH,]ZA./
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−通过使用界面来配置光栅结构
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[用例] ^ %*{:0'
•分析光栅衍射效率 0 .Ol@fO
−光栅级次分析器[用例] *(SBl}f4l
•使用参数运行搜索初始解决方案 .IAHy)li"
−参数运行文档的使用[用例] ://|f
•通过参数优化找到最终设计 RoM*Qjw V Y&9kN VirtualLab Fusion技术 E Pd.at A 7jg(j~tQ
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