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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 HVCe;eI
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k •构造光栅结构 \)N9 aV
−通过使用界面来配置光栅结构 Qh3YJ=X&
[用例] B $ PP&/
•分析光栅衍射效率 K~{$oD7!
−光栅级次分析器[用例] `Bp.RXsd*
•使用参数运行搜索初始解决方案 5"@*?X K^
−参数运行文档的使用[用例] Ad8n<zt|
•通过参数优化找到最终设计 =F~S ?y S>6 ~lb8G VirtualLab Fusion技术 }Yzco 52 * [Tz Q5`*3 h6p= Y|f[bw 文件信息 @7] yl&LZ 5E;qM|Ns c
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