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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8|?LN8rp
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 \ o-&f: -F"Q EL# •构造光栅结构 yV3^Qtb!
−通过使用界面来配置光栅结构 (R~]|?:wt
[用例] 9mc!bj^811
•分析光栅衍射效率 am_gH
−光栅级次分析器[用例] vzel#
•使用参数运行搜索初始解决方案 CBQhIvq.d
−参数运行文档的使用[用例] ;Yfv!\^ |
•通过参数优化找到最终设计 C9DJO:f.2y _qqr5NU VirtualLab Fusion技术 [+ *$\ . #Z+Z
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