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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 !WXSrICX[ ;7}*Xr|
he@swE& l"/O s_4O 建模任务 sKtH4d5) qI9 BAs1~} D@e:Fu1\R 光栅特性与参数的严格分析 KMa?2cJH# 3;AAC (X 不同光栅周期下的衍射效率 "PPwJ/L( `fXcW)
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\\_Qv *+5AN306 •构造光栅结构 bx1' −通过使用界面来配置光栅结构 mhL,:UE [用例] 6:Ra3!V"v •分析光栅衍射效率 VK8 5A −光栅级次分析器[用例] e(sQgtM6 •使用参数运行搜索初始解决方案 zUeS7\(l −参数运行文档的使用[用例] N]gdS]pP2{ •通过参数优化找到最终设计 dAR):ZKq? 2s~X VirtualLab Fusion技术 mjfU[2 6#v"+V
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