|
|
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 BDarJY
XfD
z
#
 L#83f ]vG FSI]k: 建模任务 1\M"` L/ + MOe{:/ 6  <lg"M;&Ht 光栅特性与参数的严格分析 eG[umv.9b N3S,33
8s 不同光栅周期下的衍射效率 , }xpYq_/ XL"v21X
 A?6{
,6cbD 关于光栅周期选择的考虑 F3H:I"4
rFt ,36 #
 6T}
CPDRq :$X4#k< 偏振相关的衍射特性 A ~yw8v5UF xv(xweV+d
 5VoOJ_hq
[Ls2k &) 0
 utFcFd X
#%} u8\q
 ctwhfS|Y0 7 ~ % 通过参数优化进行光栅设计 r(?'Y y Fw_bY/WN{ 固定周期的2D参数优化 /
%U~lr @wAr[. lZ
 x]my e 2D参数优化–设计1 q~:'R
N('S2yfDR
 RT_Pd\(qD O>o}<t7 2D参数优化–设计2 &EbD.>Ci
!X v2PdP
 6\S$I5 !lt\2Ae 制造公差分析–设计2 (x@i,Ba@
FRJ:y m=E
 X'3`Q S:! dWq/) %@t 变化光栅周期的3D参数优化 k_|v)\4B
P*"AtZuY]
 ^S; RX* _sf0{/< ) 制造公差分析 ]%Q]C
8[C
kgbr+Yw2X
 {pQ@0 b ~gLEh tW 走进VirtualLab Fusion "DcueU#!
_QOOx+%*5
 0u&?Zy9& G+QNg .pH VirtualLab Fusion中的工作流程 1l `s1C
;]#4p8lh+
 p *W ZY=Q Gad2EEZ%0 •构造光栅结构 nm:let7GB
−通过使用界面来配置光栅结构 ~"<VUJ=Ly:
[用例] Ppo^qb
•分析光栅衍射效率 Pu\DYP: (
−光栅级次分析器[用例] (82\&dfy
•使用参数运行搜索初始解决方案 fE7a]R EK
−参数运行文档的使用[用例] )z c8bS
•通过参数优化找到最终设计 MF`k~)bDV p tc H>wM! VirtualLab Fusion技术 (a)@<RF`Q} *O}'2Ht6\
 HV .|Eh_7 N mjBJ_ G 文件信息 _ry En vdFQf ^l E.Q}
\E  p ra-8z- 试用：QQ939912426 j C1^>D
4U y>#IL
|
