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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @KWb+?_H{< VvvRRP^q
UR%/MV !9u|fnC9 建模任务 E=jNi @XgKYm
E[2m&3& 光栅特性与参数的严格分析 OP~HdocB I3=%h 不同光栅周期下的衍射效率 ~T ]m>A! SFB~
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g+DzscIT F|F]970 走进VirtualLab Fusion cmBB[pk\ w ihH?~]
~Cl){8o 'Hc-~l>D VirtualLab Fusion中的工作流程 2]I4M[|&z Cnnh7`
,%n\= i#7DR>XF/ •构造光栅结构
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uZ8:f −通过使用界面来配置光栅结构 -c(F 1l [用例] 2uG0/7 •分析光栅衍射效率 ?bPRxR −光栅级次分析器[用例] $>*3/H •使用参数运行搜索初始解决方案 MJ7 Y#<u −参数运行文档的使用[用例] 6Ca(U' •通过参数优化找到最终设计 &Q+Ln,(&L =2Bg9!zW> VirtualLab Fusion技术 F4It/ M>DaQ`b
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